RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Li$_2$ O-B$_2$ O$_3$ -SiO$_2$ 계 비정질 박막 고체전해질의 증착변수에 따른 이온전도 특성에 관한 연구
(Effect of Deposition Parameter on Ionic Conductivity of RF Magnetron Sputtered Li$_2$ O-B$_2$ O$_3$ -SiO$_2$ Solid Electroiyte Films)
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- 한국표면공학회지
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- 제27권2호
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- pp.65-73
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- 1994