본 논문에서는 모폴로지 기법을 이용한 TFT-LCD 셀의 라인 결함과 픽셀 결함을 검사할 수 있는 알고리즘을 개발하였다. 이때 LCD 셀의 브라이트 라인 결함, 다크 라인 결함, 브라이트 픽셀 결함, 다크 픽셀 결함들을 검출하기 위하여, 셀의 크기 특성을 고려한 모폴로지 연산자의 모양을 결정하고, 팽창 연산, 침식 연산 및 차분 기법을 이용하여 결함 정보를 추출하였다. 이후 다양한 실험을 통하여 결정된 적절한 임계값을 이용한 최적의 이진화 알고리즘을 적용하였다. 마지막으로 결함정보의 인식을 위한 라벨링 과정을 통하여, 결함들을 검출하였다. TFT-LCD 판넬의 다양한 검사 실험을 통하여, 본 논문에서 제안하는 알고리즘의 결함정보 검출 성능이 매우 우수함을 확인하였다.
In this paper, we propose a novel defects inspection algorithm for TFT-LCD panels. We first compensate the distorted image caused by the camera distortion and the uneven illumination environment using the least squares method and the bezier surface. We find a starting point of each pattern for restricting each pattern. A clean image is compared to each pattern to find defects using modified PCSR-G algorithm. The simulation example shows that our algorithm not only inspects the defects well, but also is robust to the 1-pixel error.
Large-sized flat-panel displays are widely used for PC monitors and TV displays. In this paper, frequency domain pre-filter algorithms are presented for detection of defects in large-sized Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display(TFT-LCD) panel surfaces. Frequency analysis with 1-D, 2-D FFT methods for extract the periodic patterns of lattice structures in TFT-LCD is performed. To remove this patterns, frequency domain band-stop filters were used for eliminating specific frequency components. In order to acquire only defected images, 2-D inverse FFT methods to inverse transform of frequency domain images were used.
TFT-LCD 영상은 불균일한 휘도 분포와 노이즈 신호, 그리고 결함 신호로 구성되어 있다. 결함 신호는 주변 정상 영역의 화소값 분포에 비해 일정한 변화를 가지는 영역으로서 육안 검출이 어려운 수준의 한도성 결함을 포함한다. 본 논문에서는 다단계 임계화를 통해 신뢰할 수 있는 수준까지 결함과 결함 유사 영역을 모두 검출하는 과검출(過檢出)을 수행하고, Parzen Window를 이용한 확률 밀도 함수를 통해 실제 결함이 아닌 유사 영역을 제거하는 알고리즘을 제안하였다. 제안한 알고리즘의 유효성을 확인하기 위해 다양한 실험 영상에 대한 실험 결과를 살펴보고 실제 TFT-LCD 영상에 적용하여 봄으로써 신뢰성 있는 결함 검출에 적합함을 입증하였다.
In design stage of high precision manufacture/inspection FAB building, it is necessary to investigate the vibration allowable limits of high precision equipment and to study a structure dynamic characteristics of C/R and Sub-structure in order to provide a structure vibration environment to satisfy thess allowable limits. The aim of this study is to investigate the dynamic characteristics of PC-Type mock-up structures designed for next TFT LCD FAB through vibration measurement and analysis procedure, therefore, to provide a proper dynamic structure design for high precision manufacture/inspection work process, which satisfy thess allowable limits.
In this paper, we propose a novel defects inspection algorithm for TFT-LCD panels. We first compensate the distorted image caused by the camera distortion and the uneven illumination environment using the least squares method and the bezier surface. We find a starting point of each pattern. The reference frame, made by subtract method using several clean patterns, is compared to each pattern to find defects. The simulation example shows that our algorithm not only inspects the defects well, but also is robust to the 1-pixel error.
TFT-LCD 패널을 저해상도로 획득한 영상은 불균일한 휘도 분포와 노이즈 신호, 그리고 결함 신호로 구성되어 있다. 불균일한 휘도 분포와 노이즈로 인해 결함 신호를 분할하기 어려우며 이를 위해 다양한 분할 방법이 개발되고 있다. 본 논문에서는 공간영역 상에서 Eikvil et al.'s에 의해 제안되어진 크기가 다른 두 개의 창을 두고 각 창의 평균을 계산하고 그 값의 차이를 이용하는 방법을 이용하여 TFT-LCD 패널 이미지 상에 존재하는 결함의 영역을 분할하는 방법을 제안한다. 하지만 이 방법은 창의 크기에 의해 검출 가능한 결함영역의 크기가 제한되어 큰 결함영역을 분할하기 위해서는 창을 키워야 하므로 효율적이지 못한 문제점을 가지고 있다. 이 문제를 해결하기위해 멀티스케일(Multi-scale)을 이용하고, 각 스케일에서 검출 가능한 결함 크기를 제한함으로써 다양한 크기의 결함 영역을 분할 할 수 있는 알고리즘을 제안한다. 알고리즘의 성능을 검증하기위해 다양한 크기의 결함 영역을 만들어 분할되어진 결과와 실제 결함이 존재하는 TFT-LCD 패널 이미지의 분할 결과들을 통해 실제 적용 가능한 알고리즘임을 보인다.
TFT-LCD process has two advantages as compared with the semiconductor-process. It is that cycle time is short and number of the final products are small. But it needs complicated inspection / assembly line to be treated manually and much higher labor costs in the TFT-LCD process. Also, It is necessary to build PICS(Production Information and Control System) which is automated and intelligent. In this paper, an automated process of LCD module assembly line that can increase productivity and reduce the cost of production to strengthen the competitiveness corresponding with global market is planned in comparison with its manual/semi-auto. It is noted that The automated line for COG$\sim$FOG process replacing with the existing facilities had the following effects; the productivity is increased to about 1.5 times and labor cost reduced 85%. In addition, whole assembly line can be short and simple.
TFT-LCD 생산 과정에서 발생하는 결함을 정확하게 분류하여 결함 유형에 따라 폐기, 사용가능 등의 의사결정을 적절하게 내리는 것은 수율 증가 및 생산성 향상에 필수적인 요소이다. 본 논문에서는 TFT-LCD 생산 라인에서 획득한 결함 영상에 대하여 명암도 분포(intensity distribution) 및 결함 영상의 형태 특징(shape feature)을 분석하여 효과적으로 필름 결함 유형을 분류하는 기법을 제시한다. 본 연구에서는 먼저 필름 결함 영상을 결함 영역과 결함이 아닌 배경 영역으로 이진화하고, 결함 영역에서 결함의 선형성(linearity), 명암도 분포를 고려한 형태 특징 등의 여러 가지 특징을 분석하여 기준 영상(referential image) 데이터베이스를 구축하였으며, 분류하고자 하는 결함 영상과 데이터베이스에 저장된 기준 영상과의 매칭 비용 함수(matching cost function)를 정의하여 적절히 매칭시킴으로써 결함의 유형을 결정하였다. 제시한 기법의 성능을 검증하기 위하여 실제 TFT-LCD 생산 라인에서 획득한 결함 영상들을 대상으로 분류 실험을 수행하였으며, 실험 결과 생산 라인에서 이용할 수 있을 정도의 상당한 수준의 분류 정확도를 달성하였음을 보여주었다.
복잡한 전극 구조를 갖는 TFT-LCD 패널의 픽셀 사이의 간섭효과를 고려하여 액정에서의 공간 전기장 분포를 정밀하게 예측할 수 있는 멀티 픽셀 기반의 3차원 유한요소 수치해석 모델을 구축하였다. 이를 토대로 패널 내 다양한 전극 불량 조건에 대한 액정에서의 공간 전기장 분포 특성을 정상 상태와 비교 분석 하였다. 이러한 수치모사 결과와 기존 광학적 패널 검사장비의 불량검출 결과를 간접 비교함으로써 제안한 3차원 유한요소 수치모델의 타당성을 검증하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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