We fabricated thermaly evaporated 10 nmNi/(poly)Si films to investigate the energy saving property of silicides formed by rapid thermal annealing (RTA) at the temperature of $300{\sim}1200^{\circ}C$ for 40 seconds. Moreover, we fabricated $10{\sim}50$ nm-thick ITO/Si films with a rf-sputter as reference films. A four-point tester was used to investigate the sheet resistance. A transmission electron microscope (TEM) and an X-ray diffractometer were used for the determination of cross sectional microstructure and phase changes. A UV-VISNIR and FT-IR (Fourier transform infrared rays spectroscopy) were employed for near-IR and middle-IR absorbance. Through TEM analysis, we confirmed $20{\sim}70nm-thick$ silicide layers formed on the single and polycrystalline silicon substrates. Nickel silicides and ITO films on the single silicon substrates showed almost similar absorbance in near-IR region, while nickel silicides on polycrystalline silicon substrate showed superior absorbance above 850 nm near-IR region to ITO films. Nickel silicide on polycrystalline substrate also showed better absorbance in middle IR region than ITO. Our result implies that nano-thick nickel silicides may have exellent absorbing capacity in near-IR and middle-IR region.
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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v.26
no.2
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pp.74-79
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2016
The lanthanum oxide nano-rods were grown on the surface of 3 mol% Yttria Partially Stabilized Zirconia ceramic composite which containing Lanthanum-Strontium Manganate, $La_xSr_yMn_zO_3$ for the purpose of endorsing the antistatic property. The diameter and the aspect ratio of the nano-rods were greatly changed according to the growing condition. With the optical microscope observation, the nano-rods shining brightly. It was confirmed that the major components of nano-rods is La, and Sr, Mn, Si are minor components by SEM and TEM analyses.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.8
no.2
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pp.1-7
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2001
In order to form a uniform oxidation layer of spinel phase on Kovar which helps the strong bonding in Kovar-to-glass sealing, the humidified $N_2/H_2$ was used as an oxidation atmosphere. The oxidation of Kovar was controlled by diffusion mechanism and the activation energy was 31.61 kacl/mol at 500~$800^{\circ}C$. After oxidation at $600^{\circ}C$, the external oxidation layer was below 0.5 $\mu \textrm{m}$ thick. According to TEM analysis, oxidized Kovar was spinel its lattice parameter of 7.9 $\AA$. Oxidation of under $600^{\circ}C$ and in a humidified $N_2/H_2$ atmosphere, Kovar was found to be appropriate for the Kovar-to-glass sealing.
The microstructure of bulk electrolytic MnO₂ (EMD) was studied using x-ray diffraction and transmission electron microscopy (TEM). The bulk sample showed a typical powder x-ray diffraction pattern of EMD materials. TEM study showed that the structure of EMD is present at two length scales;grains, ∼0.2 ㎛ in diameter, and ∼10 nm crystallites within the grain. The electron beam microdiffraction study revealed that each grain is an assemblage of multiphase with a common crystallographic orientation, and_that ∼50% of the crystallites are Ramsdellite, ∼30% are ε-MnO₂, and ∼15% are Pyrolusite. The {1120}peak located at about 67° in powder XRD pattern as well as a high-resolution electron microscope (HREM) image of (0001) plane support the existence of ε-MnO₂ phase.
Mullite precursors were synthesized with aluminosilicate gels from mixture of aluminum nitrate and sodium orthosilicate by the geopolymer technique at ambient temperature. Then, the gel was heat-treated in air up to $1200^{\circ}C$ at intervals of $100^{\circ}C$. Raw and heat-treated gels were characterized by TG-DTA, XRD, FTIR, $^{29}Si$ MAS-NMR, TEM. The result to examine the crystallization of behavior though DTA, the synthesized precursors were crystallized in the temperature range from $950^{\circ}C$ to $1050^{\circ}C$. The XRD results showed that the gel compositions were begun to crystallize at various temperature. Also, it was found that the precursors of M-4 begun to crystallize at about $950^{\circ}C$. The M-4 XRD peaks were characterized better than $M-1{\sim}M-3$ at $1000^{\circ}C$. The formation temperature of mullite in this study is much lower than that of previous sol-gel methods, which crystallized at up of $1200^{\circ}C$. TEM investigations revealed that the sample with 10 nm particle size was obtained via heat-treated at $1000^{\circ}C$ for M-4.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.5
no.1
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pp.19-30
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1998
Aluminium secondary butoxide(ASB)를 출발물질로 하여 졸-겔방법에 의해 소결거 동에 미치는 $\alpha$-Al2O3 seed의 첨가효과에 따른 알루미나의 저온소결 가능성과 알루미나의 상전이에 대하여 TEM, DTA, XRD, FT-IR등으로 고찰을 하였다. TEM 분석결과 초기 생 성물인 boehmite가 비정질에서 단결정질로 진행되어 가고 있음을 확인하였다. 그리고 DTA 분석결과 $\alpha$-Al2O3 seed의 첨가한 경우 seed의 함량이 증가함에 따라 상전이 온도는 점차 낮아졌으며 약 0.4wt%일 때 seed를 첨가하지 않은 시료의 전이온도(약 1126$^{\circ}C$)에 비하여 약 7$0^{\circ}C$ 저하된 약 1056$^{\circ}C$로나타났으며 그 이상의 seedcja가에 있어서는 전이온도에 크게 영향을 나타내지 않았다. 또한 XRD분석결과 $\alpha$-Al2O3 seed를 첨가하지 않은 경우 110$0^{\circ}C$이 상의 온도에서 $\alpha$상이 생성되었음을 알수 있었다. 또한 100$0^{\circ}C$이상의 온도에서 $\alpha$상이 생성 되었음을 나타내는 Al-O 흡수특성 피크가 400~1000cm-1 범위에서 나타내고 있는 것을 FT-IR 분석결과에서도 확인할수 있었다. 그리고 $\alpha$-Al2O3 seed를 약 0.4wt% 첨가시 900~ 95$0^{\circ}C$에서 $\alpha$상이 형성됨을 관찰할 수 있었다.
Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics A
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v.32A
no.9
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pp.121-127
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1995
We have analyzed the double insulating layer consisting of anodic oxide and ZnS through TEM experiments. The use of double insulating layer for HgCdTe surface passivation is one of the promising passivation method which has been recently studied deeply and the double insulating layer is formed by the evaporation of ZnS on the top of anodic oxide layer grown in H$_{2}$O$_{2}$ electrolyte. The structure of anodic oxide layer on HgCdTe is amorphous but the structure of oxide layer after the evaporation of ZnS has been changed to micro-crystalline. The interface layer of 150.angs. thickness has been found between ZnS and anodic oxide layer and is estimated to be ZnO layer. The results of analysis on the chemical components of ZnS, the interface layer and anodic oxide layer have showed that Zn has diffused into the anodic oxide layer deeply while Hg has been significantly decreased from HgCdTe bulk to the top of oxide layer. The formation of ZnO interface layer and the change of structure of anodic oxide layer after the evaporation of ZnS are estimated to be defects or to induce the defects which might possibly affect the increase of the positive fixed charges shown in C-V measurements of HgCdTe MIS.
The tin (IV) oxide nanoparticles are prepared by controlled precipitation method and calcined at temperatures of $200-600^{\circ}C$. The prepared $SnO_2$ nanoparticles characterized by XRD patterns, TEM image, IR and UV-Vis spectra. The XRD patterns and TEM image show the tetragonal structure and spherical morphology for $SnO_2$ nanoparticles, respectively. The photocatalytic activity of the prepared $SnO_2$ nanoparticles studied in degradation reaction of methylene blue (MB). The results show the size of nanoparticles, band-gap energy and photocatalytic activity of $SnO_2$ depends on the calcinations temperature. The $SnO_2$ nanoparticles calcined at $500^{\circ}C$ indicated the highest photoreactivity. Also, the zero-valent tin (ZVT) nanoparticles with tetragonal structure are prepared by a reducing agent and used as a catalyst in degradation of MB. In basic pH of 11, the degradation >95% of MB at time 150 min obtained at presence of ZVT nanoparticles.
Acicular Fe-Co alloy particles are one of the candidates for high-density magnetic recording media. We examined the effects of Co additions on the magnetic properties of Fe-Co alloy particles by using M$\'{o}$ssbauer spectroscopy, TEM, and X-ray diffraction. Acicular $Fe_n$Co (n=5, 4, 3, 2) alloy particles coated with silica, were prepared by a chemical coprecipitation method and subsequent H $_2$ reduction. The crystal structure was found to be cubic in all n ranges. The lattice constant $a_0$ decreases with increasing Co contents. Analysis of $^{57}Fe$ M\'{o}$ssbauer effect data in terms of the local configurations of Co atoms has permitted the influence of magnetic hyperfine interactions to be monitored.
In this research, dilute colloidal suspension alumina nanofluids were prepared by dispersing alumina nanoparticles in DI water and ethylene glycol as base fluids. Particle size analyzer and TEM test results revealed that the size of the alumina nanofluids(3wt% and 5wt%) with dispersion time 3hrs were 46nm and 60nm respectively. Thermal conductivity of these alumina nanofluids was measured by means of hot wire technique using a LAMBDA system. For water based alumina nanofluids, thermal conductivity enhancement was from 2.29% to 3.06% with 5wt% alumina at temperatures ranging from 15 to $40^{\circ}C$. Whereas in case of ethylene glycol based alumina nanofluids under the same temperature range, thermal conductivity enhancement was from 9.6% to 10% with 5wt% alumina. An enhancement of 37% average convective heat transfer was achieved with 5wt% alumina nanofluids at Re of 1,100.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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