• 제목/요약/키워드: Surface Mat

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$SF_6$$SF_6-N_2$ 가스를 이용한 텅스텐 박막의 플라즈마 식각에 관한 연구 (A Study on Plasma Etching of Tungsten Thin Films using $SF_6$ and $SF_6-N_2$ gases)

  • 고용득;정광진;최성호;구경완;조동율;천희곤
    • 센서학회지
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    • 제8권3호
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    • pp.291-297
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    • 1999
  • 텅스텐 박막의 RIE 플라즈마 에칭공정에서 에칭속도는 $SF_6$$N_2$ 가스와의 상대적인 비와 공정 변수들에 매우 민감하게 의존함을 알았다. 질소 첨가효과와 텅스텐 박막/PR과의 에칭 선택비에 관련된 애칭 profile 결과를 SEM 사진으로 나타내었다. $SF_6-N_2$ 가스 에칭 후 텅스텐 막 표면에 잔존하는 화합물을 XPS를 이용하여 그 종류와 화학적 결합상태를 조사하고, 남아있는 F 이온들은 플라즈마가 켜져 있는 상태에서 OES를 이용하여 측정함으로써 정확한 에칭 메커니즘을 규명하고자 하였다.

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운영중인 철도비탈면 보호를 위한 초속경 복합매트 보강 효과 (Reinforcement Effect of Rapid Hardening Composite Mat for Protect Railway Slope in Operation)

  • 강태희;정혁상;김진환;백인철
    • 한국지반신소재학회논문집
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    • 제20권4호
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    • pp.151-163
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    • 2021
  • 본 논문에서는 초속경 복합매트를 이용하여 비탈면 보강 시 비탈면 안정해석에 대한 내용을 다루었다. 최근 지구온난화에 따른 기상이변으로 태풍, 집중호우 등에 의해 철도 성토 노반 비탈면 유실로 열차 운행이 제한되고 있다. 또한 복구 비용보다 피해액이 증가하고 있으며 유실로 인한 작업환경 저하로 작업자들의 안전이 우려되고 있다. 이를 위해 기존에 다양한 비탈면 보호공법이 개발되었지만 철도 현장 특성상 중장비의 투입이 곤란하여 적용이 곤란한 실정이다. 따라서 본 연구에서는 시공기면 확보가 용이하여 시공성 및 작업 안정성을 증대시키며 집중호우 시 재유실 방지 및 식생생장을 원천적으로 차단하여 유지보수 비용을 절감할 수 있는 초속경 복합매트를 적용한 비탈면 안정해석을 실시하였다. 해석 결과 초속경 복합매트의 적용시 안전율 증가가 확인되었지만 초속경 복합매트의 두께에 따른 안전율 증가는 미미한 것으로 확인되었다.

지오텍스타일 매트의 설치에 의한 개착식 터널 라이닝에 작용하는 토압의 변화 (Variation of Earth Pressure Acting on the Cut-and-Cover Tunnel Lining due to Geotextile Mat Reinforcement)

  • 펄디난드 이 바우티스타;박이근;임종철;주인곤
    • 한국지반공학회논문집
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    • 제23권3호
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    • pp.25-40
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    • 2007
  • 얕은 터널의 개착식 터널 라이닝에 발생하는 과잉토압은 라이닝의 변형과 손상을 유발하는 역학적 주요인자들 중의 하나이며(Kim, 2000), 과잉토압은 되메움토의 다짐불량, 자중에 의한 압밀, 강우의 침투에 의한 다짐, 차량에 의한 진동 등에 의해 발생할 수 있다(Komiya et al., 2000; Taylor et al., 1984; Yoo, 1997). 터널 라이닝에 발생하는 토압을 구하기 위한 많은 시험이 행해졌지만, 부등침하와 과잉토압을 줄일 수 있는 보강대책을 수립하기 위한 사례는 없다. 본 연구는 모래 지반에 $1.0D\sim1.5D$ 깊이에 개착식으로 시공하는 원형의 강성 터널에 작용하는 토압에 관한 것으로 진동다짐의 영향을 모형실험에서 충분히 반영하기 위하여 100Hz의 진동주파수를 사용하였다. 본 연구에서는 개착식 터널 라이링에 작용하는 부등침하와 과잉토압을 줄이기 위해서 지오텍스타일 매트를 설치하였다. 지오텍스타일 매트의 보강에 의한 부등침하와 토압의 감소효과를 확인하기 위해 실내모형실험을 수행하였다. 실내모형실험에서 토피, 매트 보강형태, 절취면의 거칠기 등을 달리하여 가장효과적인 방법을 구하였다. 절취면의 거칠기 달리하기 위해 사면에 사포#100, 사포#400과 acetate 부착하였습니다. 무보강과 매트 보강에 대한 모형실험을 실시하여 구한 토압을 비교하여 매트 보강효과를 살펴보았으며, 사진분석법(Park, 2003)을 이용하여 지반의 변형을 분석하였다.

필라테스 슈퍼맨 동작 시 탄성밴드 사용유무와 지면의 종류에 따른 근활성도 분석 (The Analysis of EMG According to Surface Type and Elastic Band Usage During the Pilates Superman Movement)

  • 손남정;이경옥
    • 한국운동역학회지
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    • 제25권2호
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    • pp.219-229
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    • 2015
  • Objective : The purpose of this study was to analyze EMG according to surface type and elastic band usage during the pilates Superman movement. Method : The subjects were 10 female university students with a mean age of 27. The independent variables were surface type (yoga mat, air filled equipment, elastic mat) and elastic band usage. In order to measure muscle activity, the Noraxon(USA) was used. Eight muscles (upper trapezius, lower trapezius, thoracic spine, lumbar spine, gluteus maximus, gluteus medius, biceps femoris, semitendinosus) activation were analyzed. For the statistical analysis, MANOVA, independent t-test and Scheffe test for the post-hoc via SPSS 20.0 was used. Results : The left and right upper trapezius muscle activities were significantly reduced when using the elastic bands. In addition gluteus medius muscle activities significantly increased with the elastic band as well. Conclusion : According to the usage of the elastic band and the different types of surfaces, different muscle groups were recruited. Elastic bands were found to have more activation on the gluteus medius muscle meanwhile there was less activation on the upper trapezius during the pilates Superman movement.

메탈화이버 버너에서 매트 두께와 연료 종류에 따른 복사 효율 및 연소 특성에 관한 실험적 연구 (Experimental Study on the Radiation Efficiency and Combustion Characteristics with Respective to the Mat Thickness and the Fuel Kinds in Metal-Fiber Burner)

  • 김재현;이기만
    • 한국수소및신에너지학회논문집
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    • 제29권5호
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    • pp.512-522
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    • 2018
  • This study was conducted to investigate on the combustion characteristic with the effects of mat thickness and fuel kinds in a metal-fiber burner. The mode transition point is confirmed by the K value, which was defined as the rate of flow velocity and laminar burning velocity. The ($T^4_{sur}-T^4_{\infty}$) is highest at methane flame with 3 T thickness. Through the measurement of the unburned mixture temperature, the possibility of submerged flame in surface combustion burner was confirmed. The rapid emission of CO occurs nearby limit blow out (LBO) because of the increase of flow velocity. In case of NOx, the trend is similar with surface temperature. However, it also considered that the NOx emission is affected by residence time with flame position.

답압(踏壓)으로 훼손(毁損)된 임간나지(林間裸地)의 임상식생복원(林床植生復元)에 관한 연구(硏究)(I) -임상식생복원(林床植生復元)에 미치는 파종(播種), 시비(施肥) 및 표토처리효과 (表土處理效果)- (Studies on Restoration of Forest-Floor Vegetation Devastated by Recreational Trampling (I) -Seeding, Fertilizing and Soil Surface Treatment Effect on Restoration of Forest-Floor Vegetation-)

  • 오구균;우보명
    • 한국산림과학회지
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    • 제81권1호
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    • pp.53-65
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    • 1992
  • 본(本) 연구(硏究)는 자연성(自然性)을 유지(維持)하고 자연생태계(自然生態系)를 보전(保全)하면서 동시에 산림휴양(山林休養)에 이용(利用)하려는 산림지역(山林地域)에서 이용객(利用客)들의 답압(踏壓)에 의하여 훼손(毁損)된 임상식생(林床植生)을 복원(復元)할 수 있는 방법을 구명(究明)하기 위하여 파종(播種), 시비(施肥) 및 표토처리(表土處理)의 요인실험(要因實驗)을 임간나지(林間裸地)에서 4년 동안 (1987~1990) 실시하였다. 경기도(京畿道) 안양시(安養市) 관악산(冠岳山) 수목원(樹木園)에서 임상식생복원실험(林床植生復元實驗)을 위하여 분할구배치법(分割區配置法)(주구(主區): 시비(施肥), 세구(細區): 표토처리(表土處理)${\times}$파종(播種)), 난괴법(亂塊法)(시비(施肥)${\times}$파종(播種))에 의한 요인실험(要因實驗)을 3반복(反復)으로 실시한 바 다음과 같은 연구결과(硏究結果)를 얻었다. 표토(表土)의 연화(軟化)를 위한 굴혈처리후(堀穴處理後) 70% 피복도(被覆度)를 나타내는 볏짚거적 피복처리(被覆處理)가 임간나지(林間裸地)에서 파종(播種)한 종자(種子)의 발아(發芽), 활착(活着) 및 생장(生長)에 미치는 효과(效果)가 가장 크게 나타났으며, 특히 볏짚거적 피복처리(被覆處理)는 표토침식지(表土浸蝕地)의 표토안정(表土安定) 및 치수활착(稚樹活着)에 미치는 효과가 양호하였고, 삽으로 파서 뒤엎은 완전표토연화처리(完全表土軟化處理)는 식생천이계열상(植生遷移系列上) 후기(後期)에 속하는 수종(樹種)들의 발아(發芽), 활착(活着) 및 초기생장(初期生長)에 특히 효과적(效果的)인 것으로 나타났다. 다년간(多年間) 계속적인 답압(踏壓)으로 임상표토(林床表土)의 토괴경도(土壞硬度)가 높아지고, 또 자생식물(自生植物)들의 종자(種子)가 잔류(殘留)할 수 있는 표토(表土)가 유실(流失)된 임간나지(林間裸地)에서 조기(早期)에 임상식생(林床植生)을 복원(復元)할 때에는 식생천이계열상(植生遷移系列上) 초기(初期)에서 중기계열(中期系列)에 속하는 자생수종(自生樹種)들을 파종(播種)하는 것이 효과적(效果的)인 것으로 나타났다. 자생식물(自生植物)들의 종자(種子)가 잔류(殘留)할 수 있는 표토(表土)가 유실(流失)된 임간나지(林間裸地)에서 임상식생복원(林床植生復元)(착생개체수(着生個體數)와 수관면적(樹冠面積))에는 파종(播種), 표토굴혈연화(表土掘穴軟化) 및 볏짚거적피복처리시(被覆處理時)에 약 3년이 소요되었다. 표사연화처리(表士軟化處理)는 처리 후 약 2년 동안 표토연화효과(表土軟化效果)가 지속되었으며 또 파종(播種) 및 표토처리(表土處理)는 활착개체수(活着個體數) 증대(增大)를 통해 표토연화(表土軟化), 낙엽퇴고정(落葉堆固定) 등 표토환경개선(表土環境改善)에 영향(影響)을 미치었다. 실험지표토(實驗地表土)의 열악(劣惡)한 물리적조건(物理的條件) 즉, 낮은 보수능(保水能)과 과건피해(過乾被害), 표토침식(表土浸蝕)으로 인한 치수(稚樹)들의 뿌리 노출과 고사(枯死) 및 양료유실(養料流失) 등으로 임상시비효과(林床施肥效果)는 대체적으로 나타나지 않았다. 그러나, 질소(窒素)와 인산시비(燐酸施肥)는 식생천이계열(植生遷移系列) 후기수종(後期樹種)들의 치수활착율(稚樹活着率)을 증진(增進)시키는 데는 효과적(效果的)이었다.

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여러 분위기에서의 저온 열처리와 폴리머 기판의 표면 morphology가 비정질 $Ta_2O_5$ 박막 커패시터의 특성에 미치는 영향 (Effects of Low Temperature Annealing at Various Atmospheres and Substrate Surface Morphology on the Characteristics of the Amorphous $Ta_2O_5$ Thin Film Capacitors)

  • 조성동;백경욱
    • 한국재료학회지
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    • 제9권5호
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    • pp.509-514
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    • 1999
  • Interest in the integrated capacitors, which make it possible to reduce the size of and to obtain improved electrical performance of an electronic system, is expanding. In this study, $Ta_2$O\ulcorner thin film capacitors for MCM integrated capacitors were fabricated on a Upilex-S polymer film by DC magnetron reactive sputtering and the effects of low temperature annealing at various atmospheres and substrate surface morphology on the capacitor characteristics were discussed. The low temperature($150^{\circ}C$) annealing produced improved capacitor yield irrespective of the annealing at mosphere. But the leakage current of the $O_2$-annealed film was larger than that of any other films. This is presumably mosphere. But the leakage current of the $O_2$-annealed film was larger than that of any other films. This is presumably due to the change of the $Ta_2$O\ulcorner film surface by oxygen, which was explained by conduction mechanism study. Leakage current and breakdown field strength of the capacitors fabricated on the Upilex-S film were 7.27$\times$10\ulcornerA/$\textrm{cm}^2$ and 1.0 MV/cm respectively. These capacitor characteristics were inferior to those of the capacitors fabricated on the Si substrate but enough to be used for decoupling capacitors in multilayer package. Roughness Analysis of each layer by AFM demonstrated that the properties of the capacitors fabricated on the polymer film were affected by the surface morphology of the substrate. This substrate effect could be classified into two factors. One is the surface morphology of the polymer film and the other is the surface morphology of the metal bottom electrode determined by the deposition process. Therefore, the control of the two factors is important to obtain improved electrical of capacitors deposited on a polymer film.

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플라즈마질화 및 침질탄화처리한 탄소강의 경도와 내마모특성 (Characteristics of Hardness and Wear-Resistance of Plasma-Nitrided and Nitrocarburized Carbon Steels)

  • 김무길;정병호;박화순;이병찬;신성하;이재식
    • 열처리공학회지
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    • 제12권2호
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    • pp.166-173
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    • 1999
  • Commercial carbon steels containing 0.2~0.55 wt.----C were plasma-nitrided or plasma nitrocarburized at $550^{\circ}C$ for 21.6Ks using $H_2-N_2$ or $H_2-N_2$-CO mixed gas respectively. The characteristics of hardening and wear-resistance of each treatment were studied and compared. And also microstructure of nitrided layer and nitrides formed in compound layer near surface were studied. All plasma-nitrided steels investigated showed remarkable increase of surface hardness with the increase of carbon content. But nitrocarburized steels resulted in higher surface-hardness than plasma-nitrided steels, which means that nitrocarburized has higher surface-hardening effect. Plasma-nitrided steels showed hardness increase in through-thickness direction near surface. And also nitrocarburized steels showed similar hardness distribution in through-thickness direction to that of plasma-nitrided steel. However, nitrocarburized steels had higher cross-sectional maximum-hardness than plasma-nitrided steels as much as 100Hv. Wear test showed that the amount of specific wear was reduced by both plasma-nitriding and nitrocarburized, showing that the amount of specific wear was not related to the hardness. But non-treated specimen showed that the amount of specific wear was related to the hardness.

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회귀분석을 이용한 단순화된 연성법에 의한 전면기초의 설계 (Design of Mat Foundation by Simplified Flexible Method Using Regression Analysis)

  • 문경태;박상렬
    • 대한토목학회논문집
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    • 제35권1호
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    • pp.153-164
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    • 2015
  • 전면기초의 설계 방법은 사용되는 가정에 따라 강성법과 연성법으로 구분된다. 강성법에서는 전면기초가 무한 강체이며 기초저면의 접지압 분포를 평면형으로 가정한다. 그러나 실제 기초는 강체가 아니므로 접지압이 평면형이 아닌 곡면형인 경우가 대부분으로, 강성법를 적용하는 것은 정밀한 해석이 될 수 없으며 발생되는 오차를 감수해야 한다. 한편, 연성법에서는 전면기초를 탄성지반 위에 놓인 판으로 생각하는데, 이 탄성판이론은 탄성지반 위에 무한 폭을 가진 평판에 집중하중이 작용하는 경우에 해당한다. 그런데 연성법에 의해 구하려는 모멘트, 전단력, 처짐 함수식은 매우 복잡하여 설계자가 이용하는데 많은 어려움이 있다. 또한 구조물 기초설계기준에서 복잡한 수식대신 설계를 위해 제공되는 그래프는 최대모멘트나 최대전단력을 나타내는 위험단면에서 그 함수값을 포함하고 있지 않아 이를 활용할 수 없다. 따라서, 본 연구에서는 연성법을 설계자가 보다 쉽게 이용하기 위해 회귀분석을 통하여 모멘트와 전단력, 처짐의 단순화된 함수식을 제안하였으며, 제안된 함수식들은 매우 단순화되어 활용하기 쉽고 매우 정확한 값을 제공하고 있다.

Crystal growing of NaX type zeolite

  • Ha, Jong-Pil;Seo, Dong-Nam;Jung, Mi-Jeong;Moon, In-Ho;Cho, Sang-Joon;Park, Hyun-Min;Kim, Ik-Jin
    • 한국결정성장학회지
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    • 제9권4호
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    • pp.371-376
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    • 1999
  • A large NaX type zeolite crystal of a uniform particle size of 20$\mu\textrm{m}$ are grown with various {{{{{H}_{2}O}}}} content by hydrothermal reaction and added seed crystal (2~3$\mu\textrm{m}$) to reactant solution as a function of different adding seed levels from 3 to 15%. The result that increased purity of NaX zeolite above 95% and homogeneity of crystal size by increasing adding seed levels, also decreased crystallization time. It was explained that adding seed to synthesis solution leaded out increase of surface area for physical contact reaction and directed growth of seed crystal, so more rapid consumption of reaction gel as increase seeding levels.

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