The double-layered Ti/Si barrier metal is demonstrated for the source/drain Cu interconnections in oxide semiconductor thin-film transistors (TFTs). The transmission electromicroscopy and ion mass spectroscopy analyses revealed that the double-layered barrier structure suppresses the interfacial reaction and the interdiffusion at the interface after thermal annealing at $350^{\circ}C$. The underlying Si layer was found to be very useful for the etch stopper during wet etching for the Cu/Ti layers. The oxide TFTs with a double-layered Ti/Si barrier metal possess excellent TFT characteristics. It is concluded that the present barrier structure facilitates the back-channel-etch-type TFT process in the mass production line, where the four- or five-mask process is used.
Journal of the Korean institute of surface engineering
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v.46
no.6
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pp.264-270
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2013
Effects of preoxidation on high temperature wear of piercing plug tool steel sliding against SA210C steel used for production of seamless tube have been studied using a pin-on-disc CETR tribometer, under applied normal load of 20 N at $900^{\circ}C$ in air. It was found in the preoxidized pin specimens of piercing plug tool steel that the coefficient of friction decreased to about 0.4 at an initial stage followed by showing nearly constant value of about 0.4 during high temperature wear testing. On the other hand, it was also found in the pin specimens without preoxidation that the coefficient of friction increased and fluctuated, ranging from about 0.3 to 0.6 during the tests until the running period of about 800 sec. The compact and continuous Fe-oxide layer was formed on the contact surface of the preoxidized pin specimens after high temperature wear testing followed by penetrating along the grain boundaries of coarse ferrite in the decarburized region beneath the oxide layer due to the lower hardness of the region.
Proceedings of the Korean Society of Tribologists and Lubrication Engineers Conference
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2001.06a
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pp.401-405
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2001
The effects of oxide layer formed on TiN coated ball and counter-body have been investigated from the frictional point of view during sliding tests. AISI52100 steel ball was used for the substrate of coated specimens. Two types of coated specimens were prepared by depositing TiN coating with 1 and 4$\mu\textrm{m}$ in coating thickness. AISI1045 steel was used for the disk type counter-body. To investigate the effect of oxide layer on the contact parts of two materials, the tests were performed both in ambient for forming oxide layer on the contact parts and in nitrogen environment to avoid oxidation.
Transactions of the Korean Society of Pressure Vessels and Piping
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v.19
no.2
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pp.171-178
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2023
For the phase boundary crack found in the gasket made of cast austenitic stainless steel in the nuclear power plant, the oxide layers were analyzed through SEM and TEM. The results showed that cracks initiated and propagated along the austenite/δ-ferrite phase boundary, the propagation path was changed to penetrate the inside of the phase. The oxide layer located at the periphery of the crack along the phase boundary was identified as a complex multi-layered spinel structure, and Cr-rich carbides were also detected in the oxide. The cracks that propagated inside the austenite matrix were attributed to the presence of high external stresses and impurities.
Plasma nitrocarburising and post oxidation were performed on SCM435 steel by a pulsed plasma ion nitriding system. Plasma oxidation resulted in the formation of a very thin ferritic oxide layer 1-2 $\mu\textrm{m}$ thick on top of a 15~25 $\mu\textrm{m}$$\varepsilon$-F $e_{2-3}$(N,C) nitrocarburized compound layer. The growth rate of oxide layer increased with the treatment temperature and time. However, the oxide layer was easily spalled from the compound layer either for both oxidation temperatures above $450^{\circ}C$, or for oxidation time more than 2 hrs at oxidation temperature $400^{\circ}C$. It was confirmed that the relative amount of $Fe_2$$O_3$, compared with $e_3$$O_4$, increased rapidly with the oxidation temperature. The amounts of ${\gamma}$'-$Fe_4$(N,C) and $\theta$-$Fe_3$C, generated from dissociation from $\varepsilon$-$Fe_{2-3}$ /(N,C) phase during $O_2$ plasma sputtering, were also increased with the oxidation temperature.e.
In order to provide the mechanism of nozzle clogging, recovered nozzles for high strength steel grade were examined carefully after continuous casting. The thickness of clogged material in SEN is increased in the following order: from the bottom to the top of the nozzle, upper part of slag line, and the pouring hole. Nozzle clogging material begins to form due the adhesion of metal to nozzle wall, the decarburization, and reduction of oxide in the refractory by Al and Ti in the melt. The reduction of oxide in the refractory by Al and Ti improves the wettability of the melt on the refractory and forms a thin Al-Ti-O layer. Metal containing micro alumina inclusions is solidified on the Al-Ti-O layer, and the solid layer grows due to the heat evolution through the nozzle wall. Thermodynamic calculation has been made for the related reactions. The effect of superheat to the nozzle clogging is discussed on ultra low carbon steel and low carbon steel.
The performance of thin film pressure sensors with polyimide and silicon oxide as a insulating layer between the stainless steel diaphragm and the Cu-Ni strain gauges is presented. The polyimide was spun on the stainless steel diaphragm and cured in an oven. The silicon oxide was deposited by rf sputtering. The thin film pressure sensor with silicon oxide as a insulating layer showed a better nonlinearity and a lower hysteresis.
Ha, Dae Jin;Sung, Hyo Kyung;Lee, Sunghak;Lee, Jong Seog;Lee, Yong Deuk
Korean Journal of Metals and Materials
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v.46
no.11
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pp.737-746
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2008
Mechanisms of sticking phenomena occurring during hot rolling of a modified STS 430J1L ferritic stainless steel have been investigated in this study by using a pilot-plant-scale rolling machine. As the rolling pass proceeds, the Fe-Cr oxide layer formed in a reheating furnace is destroyed, and the destroyed oxides penetrate into the rolled steel to form a thin oxide layer on the surface region. The sticking does not occur on the surface region containing oxides, whereas it occurs on the surface region without oxides by the separation of the rolled steel at high temperatures. This indicates that the resistance to sticking increases by the increase in the surface hardness when a considerable amount of oxides are formed on the surface region, and that the sticking can be evaluated by the volume fraction and distribution of oxides formed on the surface region. The lubrication and the increase of the rolling speed and rolling temperature beneficially affect to the resistance to sticking because they accelerate the formation of oxides on the steel surface region. In order to prevent or minimize the sticking, thus, it is suggested to increase the thickness of the oxide layer formed in the reheating furnace and to homogeneously distribute oxides along the surface region by controlling the hot-rolling process.
Plasma nitrocarburising and post oxidation were performed on SM45C steel using a plasma nitriding unit. Nitrocarburising was carried out with various methane gas compositions with 4 torr gas pressure at $570^{\circ}C$ for 3 hours and post oxidation was carried out with 100% oxygen gas atmosphere with 4 torr at different temperatures for various times. It was found that the compound layer produced by plasma nitrocarburising consisted of predominantly ${\varepsilon}-Fe_{2-3}(N,C)$ and a small proportion of ${\gamma}-Fe_4(N,C)$. With increasing methane content in the gas mixture, ${\varepsilon}$ phase compound layer was favoured. In addition, when the methane content was further increased, cementite was observed in the compound layer. The very thin oxide layer on top of the compound layer was obtained by post oxidation. The formation of Oxide phase was initially started from the magnetite($Fe_3O_4$) and with increasing oxidation time, the oxide phase was increased. With increasing oxidation temperature, oxide phase was increased. However the oxide layer was split from the compound layer at high temperature. Corrosion resistance was slightly influenced by oxidation times and temperatures.
This study aimed to address the limitations of traditional plasma nitriding methods by implementing a short-term plasma oxy-nitriding treatment on the surface of AISI 420 martensitic stainless steel. This treatment involved the sequential formation of nitride and oxide layers, to enhance surface hardness and corrosion resistance, respectively. The process resulted in the formation of a 20 ㎛-thick nitride layer and a 3 ㎛-thick oxide layer on the steel surface. Initially, the hardness increased by 2.2 times after nitriding, followed by a subsequent decrease of approximately 31 % after oxidation. While the nitriding process reduced corrosion resistance, the subsequent oxidation process led to the formation of a passive oxide film, effectively resolving this issue. The pitting corrosion of the oxide passive film started at 82.6 mVssc, providing better corrosion resistance characteristics than the nitride layer. Consequently, the trade-off between surface hardness and corrosion resistance in plasma oxy-nitrided AISI 420 martensitic stainless steel is anticipated to be recognized as an innovative and comprehensive surface treatment process for biomedical components.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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