This work presents a detailed study of several parameters on the spray coating method for fabricating a flexible cantilever. Conventionally, spin coating method have been widely used in the microelectromechanical system (MEMS) fabrication process. However, the major drawback of this method is the difficulties in protecting various topography with photoresist film, particularly when the device is manufactured in high aspect ratio. It is also a challenging process to form a small pattern in the etched area. On the other hand, the commercial spray coating systems are not advantageous from an economic perspective and the technique is also providing less efficient. In order to solve these issues, we have developed a manual spray coating system which can be efficiently used by combining the accessories available in the laboratory. The developed spray coating system consists of a spin-coater, motorized stage, a spray gun with the capable of controlling centrifugal force, injection amount, injection angle, and spray range. The major advantage of the proposed spray coating system is its reasonable fabrication cost. Secondly, the system can be easily disassembled after finishing the coating experiment. Owing to the mentioned advantages, we sincerely believe that the proposed spray coating system can be effectively used in many related applications.
Ni-5%Al alloy powder is widely used as the bond coating powder to improve the adhesive strength between the substrate and coating. The important properties in the bond coating are the deposition efficiency and surface roughness. In this study, it was tried to optimize the plasma spray parameters to maximize the deposition efficiency and surface roughness. In the first step, spray current and hydrogen gas flow rate were optimized in order to increase the deposition efficiency. In the next step, the seven plasma spray variables were selected and optimized to improve both the deposition efficiency and surface roughness using the Taguchi experimental method. By these optimization, the deposition efficiency was improved from about 10 % at the frist time to 51.2 % by the optimization of spray current and hydrogen gas flow rate and finally to 65.2 % by the Taguchi experimental method. The average surface roughness was increased from about $12.9\mu\textrm{m}$ to $15.4\mu\textrm{m}$.
Park, Tae-Gyu;Kim, Jun-Tae;Kim, Kook-Jin;Suk, Chang-Gil
Proceedings of the KIEE Conference
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2003.10a
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pp.42-44
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2003
The paper presents the method and apparatus for conformal photoresist spray coating on the 3D structured substrate. The system consists of a high-temperature-rotational chuck, ultrasonic spray nozzle module, angle control module and nozzle moving module. The coating uniformity is acquired by controlling the moving speed of the ultrasonic spray nozzle across the substrate which is rotated constantly. To coat the photoresist conformally the spray angle of the nozzle and the temperature of the substrate are controlled during spray coating. The rotational chuck can be heated up by hot air or $N_2$. The photoresist (AZ1512) has been coated on the 3D structured wafer by spray coating system and the characteristics have been evaluated.
This paper was to investigate of a adhesiveness for the plasma sprayed coating materials did salt spray by acoustic emission method in tensile loadings. The powders used for the coating were nickel aluminum composite powder Ni-4.5wt.%Al and titanium dioxide powder $TiO_2$. These powders were coated on a carbon steel S45C by plasma spray method. The result solution was a 5% NaCl and the slat spray times were 2, 5 and 10 hours respectively. The salt solution penetrated into the surface of the substrate through pore of the coating layer built in the process of plasma spay. Corrosion productions formed on the surface of substrate. The adhesiveness between the substrate and the coating layer is weaken by corrosion and the exfoliation initiated chiefly at the corrosion surface of the substrate. The AE events and energy of the corroded coating specimens decreased as the salt spray times increased.
Proceedings of the Korea Committee for Ocean Resources and Engineering Conference
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2001.05a
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pp.344-349
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2001
This paper was to investigate of a adhesiveness for the plasma sprayed coating materials did salt spray by acoustic emission method in tensile loadings. The powders used for the coating were nickel aluminum composite powder Ni-4,5wt.%Al and titanium dioxide powder Ti02. These powders were coated on a carbon steel S45C by plasma spray method. The salt solution was a 5% NaCl and the salt spray times were 2, 5 and 10 hours respectively. The salt solution penetrated into the surface of the substrate through pore of the coating layer built in the process of plasma spay. Corrosion productions formed on the surface of substrate. The adhesiveness between the substrate and the coating layer is weaken by corrosion and the exfoliation initiated chiefly at the corrosion surface of the substrate. The AE events and energy of the corroded coating specimens decreased as the salt spray times increased.
In this study, WC-l7wt% Co composite powder for thermal spray was fabricated by spray drying method. The agglomerated composite powder had spheroidal morphology and the particle size distribution was 20~60${\mu}{\textrm}{m}$. WC and Co were distributed homogeneously. However, the strength of the spray-dried agglomerate was low due to the pores within the agglomerate. Therefore, the spray-dried agglomerate was broken down during HVOF thermal spray and the microstructure was inhomogeneous with many pores within the coating layer. And the decomposition of WC to W and $W_{6}$$C_{2.54}$ was accelerated. The strength and flowability of the agglomerate were greatly improved by sintering heat treatment(110$0^{\circ}C$, 1 hour, hi atmosphere), and then the coating layer showed dense and homogeneous microstructure with well-developed splats. The hardness of the coating layer was H $v_{300}$ = 1072.2.2.
Kim, Min-Seok;Oh, Sea-Hwa;Park, Yong-Gul;Lee, Jong-Woo
The Transactions of The Korean Institute of Electrical Engineers
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v.60
no.3
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pp.552-559
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2011
There is a method for offering continuous information by AF track circuits. Magnetic fields are formed by current through rails in the AF track circuit systems. So, the continuous information is received by the magnetic fields on a on-board antenna. Coating materials of spray on rails are researched to decrease defects such as head check, shelling, corrugation, squats and so on in Germany. Currently, a coating method of rail construction is proposed by using the ceramics in Korea. When deciding physical characteristic of the coating material of spray, researches are required about variation of flux density and resistivity by using the coating material of spray. In case that the flux density is much lower than existing value, the information for train control is not transmitted to the on-board antenna. In this paper, inductance on rails is calculated and a model is presented about variation of the magnetic field intensity and resistivity in the AF track circuit. Standard permeability of the coating material of spray is proposed. Also, standard resistivity of the coating material of spray is presented by analyzing short current.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.26
no.7
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pp.550-554
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2013
Carbon nanotubes (CNT) / polyvinylidene fluoride (PVDF) piezoelectric composite films for nanogenerator devices were fabricated by spray coating method. When the CNT/PVDF mixture solution passes through the spray nozzle with small diameter by the compressed nitrogen gas, electric charges are generated in the liquid by a triboelectric effect. Then randomly distributed ${\beta}$ phase PVDF film could be re-oriented by the electric field resulting from the accumulated electrical charges, and might be resulted in extremely one-directionally aligned ${\beta}$ phase PVDF film without additional electric field for poling. X-ray diffraction patterns were used to investigate crystal structure of the CNT/PVDF composite films. It was confirmed that they revealed extremely large portion of the ${\beta}$ phase PVDF crystalline in the film. Therefore we could obtain the poled CNT/PVDF piezoelectric composite films by the spray coating method without additional poling process.
Journal of the Korean institute of surface engineering
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v.27
no.3
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pp.149-157
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1994
The formation of spangles on a hot dip galvanized sheet steel by spray cooling the molten zinc coating with air, water and 2.0wt% $NH_4H_2PO_4$ solution has been studied performing laboratory experiments, and their coating properties have been evaluated. Minimized spangles were easily formed by mist spraying the solution for 1 second at the low nozzle spray pressure onto the molten zinc at 420~$422^{\circ}C$ because the solute $NH_4H_2PO_4$ in the sprayed solution imparted a highly rapid cooling effect to the coating through its endothermic de-composition reactions and because the decomposed products acted as numerous nucleation sites for the mini-mized spangles on the coating. Good surface appearances sand sound coating properties were obtained on this coating. Only regular spangles were formed on the coating by the forced convective air cooling. At the high nozzle spray pressure, zero spangles were formed on the coating by the pure water spray cooling. However, the coating had a dull and rough surface with craters sand cracks.
Thermal spray technology has been used in many industrial application. Especially, thermal spray coating have been employed with the purposes of achieving better resistances in abrasion, heat and corrosion. In the previous studies on the thermal spray coating, thermal spray characteristics from the perspective of combustion engineering have not been investigated sufficiently, while the material characteristics of the coated substrates have been investigated widely. In this study, the effect of spray particles on the flame behavior was experimentally investigated. The amount of the injected particles was measured using the light scattering method and the temperature of the particles was estimated using a two-color method. Various flame-spray interactions were observed and it was found that the high temperature zone near the flame is elongated by particles density. Based on these results, the applicability of the light scattering method and the two-color method was discussed.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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