Aerial image analysis of replicated linewidths patterned by synchrontron X-ray proximity lithography (싱크로트론 X선 근접 리소그래피에 의하여 전사되어진 라인의 폭에 대한 에어리얼 이미지 시뮬레이션)
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- Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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- v.35D no.2
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- pp.70-77
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- 1998