• 제목/요약/키워드: Soft vacuum

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소프트 식각법을 이용한 효율적 제작방식의 마찰전기 에너지 수확소자 개발 (Cost Effective Fabrication of a Triboelectric Energy Harvester Using Soft Lithography)

  • 이준영;성태훈;여종석
    • 한국진공학회지
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    • 제22권4호
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    • pp.198-203
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    • 2013
  • 에너지 수확은 우리주변에 존재하는 버려지는 에너지를 유용한 전기에너지로 변환하는 기술이다. 마찰전기 소자는 접촉을 통한 정전기를 유도하는 원리로 동력학적 에너지를 전기에너지로 전환하는 소자이다. 본 연구에서는 소프트 식각 기술을 활용하여 제작 단계를 최소화한 마찰전기 에너지 수확소자를 개발하고, 그 전기적 특성을 측정하였다. 마찰전기를 통한 발전은 마이크로패턴을 통해 마이크로 거칠기를 가진 알루미늄 층과 PDMS 층 사이에서 발생한다. 이때 PDMS 층의 마이크로 패턴은 마스크리스 식각을 통해 만들어진 알루미늄 층의 마이크로 패턴을 소프트 식각법으로 바로 본뜨는 방식으로 제작되었다. 본 소자는 2 V와 20 nA의 발전 성능을 나타낸다.

Soft Lithography of Graphene Sheets Via Surface Energy Modification

  • Kim, Hansun;Jung, Min Wook;Myung, Sung;Jung, Daesung;Lee, Sun Sook;Kong, Ki-Jeong;Lim, Jongsun;Lee, Jong-Heun;Park, Chong Yun;An, Ki-Seok
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.144.2-144.2
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    • 2013
  • With the synthesis of graphene sheets as large-scale and high quality, it is essentially important to develop suitable graphene patterning process for future industrial applications. Especially, transfer or patterning method of CVD-grown graphene has been studied. We report simple soft lithographic process to develop easily applicable patterning method of large-scale graphene sheets by using chemically functionalized polymer stamp. Also important applications, the prototype capacitors with graphene electrode and commercial polymer dielectrics for the electrostatic-type touch panel are fabricated using the developed soft lithographic patterning and transfer process.

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Long-term Air Stability of Small Molecules passivated-Graphene Field Effect Transistors

  • Shin, Dong Heon;Kim, Yoon Jeong;Kim, Sang Jin;Moon, Byung Joon;Oh, Yelin;Ahn, Seokhoon;Bae, Sukang
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.237.1-237.1
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    • 2016
  • Electrical properties of graphene-based field effect transistors (G-FETs) can be degraded in ambient conditions owing to physisorbed oxygen or water molecules on the graphene surface. Passivation technique is one of a fascinating strategy for fabrication of G-FETs, which allows to sustain electrical properties of graphene in the long term without disrupting its inherent properties: transparency, flexibility and thinness. Ironically, despite its importance in producing high performance graphene devices, this method has been much less studied compared to patterning or device fabrication processes. Here we report a novel surface passivation method by using atomically thin self-assembled alkane layers such as C18- NH2, C18-Br and C36 to prevent unintentional doping effects that can suppress the degradation of electrical properties. In each passivated device, we observe a shift in charge neutral point to near zero gate voltage and it maintains the device performance for 1 year. In addition, the fabricated PG-FETs on a plastic substrate with ion-gel gate dielectrics exhibit not only mechanical flexibility but also long-term stability in ambient conditions. Therefore, we believe that these highly transparent and ultra-thin passivation layers can become a promising candidate in a wide range of graphene based electronic applications.

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Effect of Phenol Formaldehyde Impregnation on The Physical and Mechanical Properties of Soft-Inner Part of Oil Palm Trunk

  • Hartono, Rudi;Hidayat, Wahyu;Wahyudi, Imam;Febrianto, Fauzi;Dwianto, Wahyu;Jang, Jae-Hyuk;Kim, Nam-Hun
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • 제44권6호
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    • pp.842-851
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    • 2016
  • The objective of this study was to improve physical and mechanical properties of soft-inner part of oil palm trunk (S-OPT) after impregnation with phenol formaldehyde (PF) resin and densification by close system compression (CSC) method. Effect of different methods of PF resin impregnation (i.e., no vacuum-pressure, vacuum, and vacuum-pressure) was evaluated. The results showed that PF resin impregnation and CSC significantly improved the physical and mechanical properties of S-OPT up to: (1) 176% in density; (2) 309% in modulus of rupture (MOR); (3) 287% modulus of elasticity (MOE); and (4) 191% in the compressive strength. Physical and mechanical properties of S-OPT showed their best performances when PF resin impregnated with vacuum-pressure method as shown by higher weight gain, density, MOR, MOE, compressive strength, and lower recovery of set due to better penetration of PF resin into S-OPT. Combining PF resin impregnation and densification by CSC method could be a good method to improve physical and mechanical properties of S-OPT.

소프트 리소그라피를 이용한 마이크로유체 채널 내의 단백질 및 세포 패터닝 (Soft lithographic patterning of proteins and cells inside a microfluidic channel)

  • 서갑양
    • 한국진공학회지
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    • 제16권1호
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    • pp.65-73
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    • 2007
  • 마이크로유체 채널 내에서 표면 성질과 기능성 분자들의 공간적인 위치를 제어하는 것은 진단소자, 마이크로 반응기, 또는 세포와 마이크로 유체역학의 기본적인 연구를 일해 매우 중요하다. 이 논문에서는 소프트 리소그라피 방법을 이용하여 채널 안에 패턴된 구조물을 포함하는 안정적인 마이크로 채널을 제작하는 방법을 소개하려 한다. 먼저 패턴된 영역을 폴리디메틸실록세인(PDMS) 몰드의 치수와 제작 과정을 적당히 조절함으로써 산소 플라즈마로부터 보호한다. 마이크로 구조물은 대표적인 생물오손(biofouling) 억제 물질인 폴리에틸렌 글리콜(PEG)계 공중합 고분자 혹은 다당류인 히알루산(HA)을 패턴하여 얻었으며 이러한 패턴을 이용하여 피브로넥틴(FN), 소의 혈장 알부민(BSA) 등의 단백질과 동물 세포의 어레이를 제작하였다.

Soft Lithographic Patterning Method for Flexible Graphene-based Chemical Sensors with Heaters

  • Kang, Min-a;Jung, Min Wook;Myung, Sung;Song, Wooseok;Lee, Sun Suk;Lim, Jongsun;Park, Chong-Yun;An, Ki-Seok
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.176.2-176.2
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    • 2014
  • In this work, we demonstrated that the fabrication of flexible graphene-based chemical sensor with heaters by soft lithographic patterning method [1]. First, monolayer and multilayer graphene were prepared by thermal chemical vapor deposition transferred onto SiO2 / Si substrate in order to fabrication of patterned-sensor and -heater. Second, patterned-monolayer and multilayer graphene were detached through soft lithography process, which was transferred on top and bottom sides of PET film. Third, Au / Ti (Thickness : 100/30 nm) electrodes were deposited end of the patterned-graphene line by sputtering system. Finally, we measured sensor properties through injection of NO2 and CO2 gas on different temperature with voltage change of graphene heater.

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W-target 투과 양극형 Soft x-ray tube의 개발 및 특성분석 (Development and Characteristics of the Soft x-ray transmission W-target tube)

  • 김성수;김도윤
    • 한국진공학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.305-310
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    • 2007
  • W-target 투과양극형 x-ray tube를 개발하고, 특성을 조사하였다. 관전압이 12kV이하에서는 연속 x-ray만 방출되었고, 12kV 이상에서부터 특성 x-ray가 관측되었다. 연속 x-ray와 특성 x-ray의 에너지 분포 및 선량 특성을 조사한 결과 알려진 결과와 잘 일치함을 알 수 있었다. 또한 상용화된 제품과의 비교에서, 기존 제품 이상의 성능을 가질 수 있음을 확인하였다. 따라서 본 연구에서 개발된 x-ray tube는 상용화할 수 있을 만큼 충분히 우수한 특성을 가지고 있음을 확인하였다.

Soft X-ray Nanoscopy for Nano- and Bio-materials at the Pohang Light Source

  • 김남동
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.86-86
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    • 2016
  • 최근 포항가속기연구소 10A 빔라인에 Scanning Transmission X-ray Microscopy (STXM)가 완성되어 운영 중이다. Soft x-ray imaging 장치로서 기술적으로 Sample scanning 기법이 활용된다. 이는 Zone plate를 통해 집속된 빔이 샘플에 조사되고 검출되는 방식이다. 이러한 Scanning 기법을 활용하고 있는 10A STXM은 기본적으로 흡수분광기법 (x-ray absorption spectroscopy)을 이용하고 있다. 특히, 10A 빔라인 STXM은 최고 20 nm까지 공간분해능이 가능하다는 장점이 있다. 따라서 수십에서 수백 나노미터 크기의 시료들 또는 나노구조에 대한 물리화학적 상태 분석이 쉽게 이루어지고 있다. 주로 시료를 투과하면서 흡수되는 X-선 세기 대비를 맵핑하는 형식의 이미지 데이터와 더불어 X-선의 에너지를 조정함으로써 각 에너지에 해당하는 이미지스택을 결과로 얻게 된다. 이러한 이미지 결과로부터 시료의 나노크기에서 오는 물리화학적 상태를 분석하고 물리에서 바이오까지 다양한 분야의 실험 활용이 가능한 상태다.

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연금속 박막이 코팅된 베어링의 구름 저항 거동에 미치는 분위기의 영향에 대한 실험적 고찰 (An Experimental Study of Environmental Effects on the Rolling Resistance of Bearings Coated by Soft Metallic Films)

  • 양승호;공호성;윤의성;김대은
    • Tribology and Lubricants
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    • 제14권3호
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    • pp.1-6
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    • 1998
  • An experimental study was performed to discover the effect of environmental conditions on the rolling resistance behavior of pure silver and lead coated 52100 bearing steel. Pure silver and lead coatings were produced by a thermal evaporation coating method. Experiments using a thrust ball bearing-typed rolling test-rig were performed under vacuum, dry air and controlled humidity conditions. Results showed that agglomeration of particles were suppressed in vacuum environment and resulted in low and stable rolling resistance by shakedown phenomena. Also, humidity related closely to the agglomeration of particles and the rolling resistance after the failure of coated layer.

연금속 박막이 코팅된 베어링 표면의 구름 저항 거동에 미치는 분위기의 영향에 대한 실험적 고찰 (An Experimental Study of Environmental Effects on the Rolling Resistance of Bearing Surfaces Coated by Soft Metallic Films)

  • 양승호;공호성;윤의성;김대은
    • 한국윤활학회:학술대회논문집
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    • 한국윤활학회 1998년도 제27회 춘계학술대회
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    • pp.47-54
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    • 1998
  • An experimental study was performed to discover the effect of environmental conditions on the rolling resistance behavior of pure silver and lead coated 52100 bearing steel. Pure silver and lead coating were produced by a thermal evaporation coating method. Experiments using a thrust ball bearing-typed rolling test-rig were performed under vacuum, dry air and controlled humidity conditions. Results showed that agglomeration of particles were prevented in vacuum environment and as it showed low and stable rolling resistance by shakedown phenomena. Also, humidity relates closely to the agglomeration of particles and increased the rolling resistance after the failure of coated layer.

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