In this study, based on the saturation magnetic flux density experimental values (Bs) of 622 Fe-based bulk metallic glasses (BMGs), regression models were applied to predict Bs using artificial neural networks (ANN), and prediction performance was evaluated. Model performance evaluation was investigated by using the F1 score together with the coefficient of determination (R2 score), which is mainly used in regression models. The coefficient of determination can be used as a performance indicator, since it shows the predicted results of the saturation magnetic flux density of full material datasets in a balanced way. However, the BMG alloy contains iron and requires a high saturation magnetic flux density to have excellent applicability as a soft magnetic material, and in this study F1 score was used as a performance indicator to better predict Bs above the threshold value of Bs (1.4 T). After obtaining two ANN models optimized for the R2 and F1 score conditions, respectively, their prediction performance was compared for the test data. As a case study to evaluate the prediction performance, new Fe-based BMG datasets that were not included in the training and test datasets were predicted using the two ANN models. The results showed that the model with an excellent F1 score achieved a more accurate prediction for a material with a high saturation magnetic flux density.
Magnetic properties of FeMoN, FeMoTaN, FeTaN and FeTaC films deposited by DC magnetron reactive sputter were investigated, and correlated with their microstructure. FeMoN films were not showen the soft magnetic prop¬erties, because of generated $Fe_{2}Mo$, $Fe_{3-2}N$ and $Fe_{4}N$ phases. Ta added films, however, effectivly retarded the $\alpha$-Fe grain growth and suppressed the generation of Fe nitrides or carbides during heat treatement. The soft magnetic properties of $B_{s}:15\;kG,\;H_{e}:0.25\;Oe,\;\mu':4000(at\;5\;MHz),\;and\;B_s:14.5\;kG,\;He:0.25\;Oe,\;\mu':2700(5MHz)$ were observed in $Fe_{78.8} Ta_{8.5}N_{12.7}\;and\;Fe{75.6}Ta_{8.1}C_{16.3}$ films, respectively.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2010.02a
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pp.448-448
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2010
Magnetic random access memory (MRAM) has made a prominent progress in memory performance and has brought a bright prospect for the next generation nonvolatile memory technologies due to its excellent advantages. Dry etching process of magnetic thin films is one of the important issues for the magnetic devices such as magnetic tunneling junctions (MTJs) based MRAM. CoFeB is a well-known soft ferromagnetic material, of particular interest for magnetic tunnel junctions (MTJs) and other devices based on tunneling magneto-resistance (TMR), such as spin-transfer-torque MRAM. One particular example is the CoFeB - MgO - CoFeB system, which has already been integrated in MRAM. In all of these applications, knowledge of control over the etching properties of CoFeB is crucial. Recently, transferring the pattern by using milling is a commonly used, although the redeposition of back-sputtered etch products on the sidewalls and the low etch rate of this method are main disadvantages. So the other method which has reported about much higher etch rates of >$50{\AA}/s$ for magnetic multi-layer structures using $Cl_2$/Ar plasmas is proposed. However, the chlorinated etch residues on the sidewalls of the etched features tend to severely corrode the magnetic material. Besides avoiding corrosion, during etching facets format the sidewalls of the mask due to physical sputtering of the mask material. Therefore, in this work, magnetic material such as CoFeB was etched in an ICP etching system using the gases which can be expected to form volatile metallo-organic compounds. As the gases, carbon monoxide (CO) and ammonia ($NH_3$) were used as etching gases to form carbonyl volatiles, and the etched features of CoFeB thin films under by Ta masking material were observed with electron microscopy to confirm etched resolution. And the etch conditions such as bias power, gas combination flow, process pressure, and source power were varied to find out and control the properties of magnetic layer during the process.
Lee Sang-Ho;Lee Ji-Young;Nam Hyuk;Hong Jung-Pyo;Hur Jin;Sung Ha-Kyung
Proceedings of the KIEE Conference
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summer
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pp.1043-1045
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2004
This paper deals with the core loss calculation of a BLDC motor made of Soft Magnetic Composite material. Since the teeth of motor partially have overhang in axial direction, 3 - dimensional equivalent magnetic circuit network (3D-EMCN) is used as an analytical method to get flux density of each element. The total core loss is calculated with the magnetic flux density and core loss curves of the SMC material. The calculated result is compared with core loss of the motor without overhang in stator teeth.
The Transactions of The Korean Institute of Electrical Engineers
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v.58
no.2
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pp.278-284
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2009
The global force and interaction body force density were evaluated in permanent magnets by using the virtual air-gap scheme incorporating the finite-element method. Until now, the virtual air-gap concept has been successfully applied to calculate a contact force and a body force density in soft magnetic materials. These force calculating methods have been called as generalized methods such as the generalized magnetic charge force density method, the generalized magnetizing current force density method, and the generalized Kelvin force density method. For permanent magnets, however, there have been few research works on a contact force and a force density field. Unlike the conventional force calculating methods resulting in surface force densities, the generalized methods are novel methods of evaluating body force density. These generalized methods yield the actual total force, but their distributions have an irregularity, which seems to be random distributions of body force density. Inside permanent magnets, however, a smooth pattern was obtained in the interaction body force density, which represents the interacting force field among magnetic materials. To evaluate the interaction body force density, the intrinsic force density should be withdrawn from the total force density. Several analysis models with permanent magnets were tested to verify the proposed methods evaluating the interaction body force density and the contact force, in which the permanent magnet contacts with a soft magnetic material.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.17
no.1
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pp.52-58
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2004
Magneto-Impedance(MI) sensor is a highly sensitive sensor, which was able to detect a weak geomagnetic field. It also has a merit to be able to build in the low power system. In this study, their magnetic permeability and anisotropy field(H$\sub$k/) as a function of some different thickness of sputtered amorphous CoZrNb films with zero-magnetostriction and soft magnetic property are investigated. In order to make a uniaxial anisotropy, film was subjected to the post annealing in a static magnetic field with 1KOe intensity at 250, 300, and 320$^{\circ}C$ respectively for 2 hours. Magnetic properties of films are measured by using a M-H loop tracer. Magnetic permeability of a film is measured over the frequency range from 1 ㎒ to 750㎒. By thickening a CoZrNb film relatively, magnetic permeability and impedance are examine to design the. MI sensor which drives at 50㎒, and thereof fabricated the MI sensor which drives at the 50㎒.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2001.07a
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pp.443-446
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2001
MI(Magneto-Impedance) sensor which is made by thin films has significantly high detecting sensitivity in weak magnetic field. It also has a merit to be able to build in low power system. Its structure is simple, which makes it easier to prepare a miniature. In this study, its magnetic permeability and anisotropy field(H$\sub$k/) as a function of a thickness of sputtered amorphous CoZrNb thin film with high saturation magnetostriction and excellent soft magnetic property are investigated. In order to make a uniaxial anisotropy, thin film was subjected to post annealing with a static magnetic field with 1KOe intensity at 250, 300, and 320$^{\circ}C$ for 2 hour. Anisotropy field(H$\sub$k/)of thin film is measured by using MH loop tracer. Its magnetic permeability of thin film is measured over the frequency range from 1 MHz to 750MHz. It has shown that the magnetic permeability of amorphous CoZrNb thin film is decreased due to the skin effect with increasing a thickness of CoZrNb thin film, and hence its driving frequency is lowered.
Hur, J.;Kim, Y.H.;Shin, K.H.;Park, K.I.;SaGong, G.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2002.07b
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pp.778-781
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2002
MI(Magneto-Impedance) sensor which is made by thin films has significantly high detecting sensitivity in weak magnetic field. It also has a merit to be able to build in the low power system. Its structure is simple, which makes it easier to prepare a miniature. In this study, its magnetic permeability and anisotropy field$(H_k)$ as a function of a thickness of sputtered amorphous CoZrNb films with zero-magnetostriction and excellent soft magnetic property are investigated. In order to make a uniaxial anisotropy, film was subjected to the post annealing in a static magnetic field with 1KOe intensity at 250, 300, and $320^{\circ}C}$ respectively for 2 hours. Anisotropy field$(H_k)$ of film is measured by using a MH loop tracer. Its magnetic permeability of a film is measured over the frequency range from 1 MHz to 750MHz. It has shown that the magnetic permeability of amorphous CoZrNb film is decreased due to the skin effect with increasing a thickness of the CoZrNb film, and hence its driving frequency is lowered. And, it was examined on the permeability and impedance to fabricate the MI sensor which acts at a low frequency by thickening a CoZrNb film relatively.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2002.11a
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pp.132-135
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2002
MI(Magneto-Impedance) sensor which is made by thin films has significantly high detecting sensitivity in weak magnetic field. It also has a merit to be able to build in the low power system. Its structure is simple, which makes it easier to prepare a miniature. In this study, its magnetic permeability and anisotropy field($H_{k}$) as a function of a thickness of sputtered amorphous CoZrNb films with zero-magnetostriction and soft magnetic property are investigated. In order to make a uniaxial anisotropy, film was subjected to the post annealing in a static magnetic field with 1KOe intensity at 250, 300, and $320^{\circ}C$ respectively for 2 hours. Magnetic properties of film are measured by using a MH loop tracer. Its magnetic permeability of a film is measured over the frequency range 1 MHz to 750MHz. And, it was examined on the permeability and impedance to design the MI sensor which acts at 50MHz by thickening a CoZrNb film relatively, and fabricated the MI sensor which acts at the 50MHz.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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