스퍼터링법에 의해 형성된 $(Zr,Sn)TiO_4$ 박막의 전기적 특성에 관한 연구
(Electrical Properties of $(Zr,Sn)TiO_4$ Thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering Method)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1998년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.128-128
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- 1998