A study on the improvement of crystallinity and surface roughness of polycrystalline diamond films deposited by MPCVD method (MPCVD 방법에 의해 증착된 다결정 다이아몬드 박막의 결정성 및 표면 거칠기 향상에 관한 연구)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2001.07c
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- pp.1349-1351
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- 2001