• Title/Summary/Keyword: Sin

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고정밀 밀도측정기 개발 연구

  • Yu, Sin-Jae;Kim, Jeong-Hyeong;Seong, Dae-Jin;Sin, Yong-Hyeon;Kim, Dae-Ung
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.353-353
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    • 2011
  • 본발표는 공정용 플라즈마 플라즈마 밀도측정에 있어 정확하기로 알려져 있는 컷오프 프로브의 작동원리 및 개발 현황에 대한 review를 함.

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