• 제목/요약/키워드: Silicon Carbide (SiC) Functionally Gradient Materials (FGM)

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CVD법을 이용한 SiC/C경사기능재료 증착공정의 열역학적 해석 (Thermodynamic analysis of the deposition process of SiC/C functionally gradient materials by CVD technique)

  • 박진호;이준호;신희섭;김유택
    • 한국결정성장학회지
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    • 제12권2호
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    • pp.101-109
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    • 2002

  • Hot-wall CVD법으로 SiC/C 경사기능재료를 증착시키는 공정을 열역학적으로 해석하였다. Si-C-H-Cl계에 대한 열역학적 계산을 통해 공정변수(증착온도, 반응기 압력 원료 기체의 C/[Si+C]비와 H/[Si+C]비)가 증착층의 조성과 증착 수율에 미치는 영향을 조사하였고, 이를 통해 SiC/C 경사기능재료 증착에 있어서의 CVD 상평형도와 최적 공정 조건의 범위를 예측할 수 있었다.

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