• 제목/요약/키워드: SiCN

검색결과 76건 처리시간 0.023초

Electrical Properties of MIM and MIS Structure using Carbon Nitride Films

  • Lee, Hyo-Ung;Lee, Sung-Pil
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
    • /
    • 제7권5호
    • /
    • pp.257-261
    • /
    • 2006
  • Nano-structured carbon nitride $(CN_x)$ films were prepared by reactive RF magnetron sputtering with a DC bias at various deposition conditions, and the physical and electrical properties were investigated. FTIR spectrum indicated an ${alpha}C_3N_4$ peak in the films. The carbon nitride film deposited on Si substrate had a nano-structured surface morphology. The grain size was about 20 nm and the deposition rate was $1.7{\mu}m/hr$. When the $N_2/Ar$ ratio was 3/7, the level of nitrogen incorporation was 34.3 at%. The film had a low dielectric constant. The metal-insulator-semiconductor (MIS) capacitors that the carbon nitride was deposited as insulators, exhibited a typical C-V characteristics.

시스템 진단 평가 체계 구축을 통한 품질 혁신 사례 연구 (A Study on the Case of Quality Innovation with Building Evaluation Method for System Diagnosis)

  • 유인호;신현종;윤광동
    • 한국IT서비스학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국IT서비스학회 2007년도 춘계학술대회
    • /
    • pp.431-438
    • /
    • 2007
  • SI 프로젝트에서 품질을 혁신하기 위해서는 시스템 생명 주기 각 단계에서 품질 관리 활동을 강화해야 할 뿐만 아니라 통합된 시스템 관점에서 각 계층(Layer)별, 요소(Component)별 특성을 고려하여 체계적인 시스템 진단 평가 활동을 수행할 필요성이 있다. 시스템 진단 평가 활동은 품질 이슈를 찾아내는 작업과 품질 이슈를 해결하는 작업이 톱니바퀴처럼 맞물려 수행되어야 한다. LG CNS는 프로젝트의 품질 이슈를 적기 진단하기 위해서 시스템 진단 평가 체계를 구축했으며, 프로젝트 현장에서 이를 적용하여 품질 혁신에 기여하고 있다.

  • PDF

공개SW를 활용한 해외 IT서비스 경쟁력 강화 (Using open source software to increase competency in overseas IT services)

  • 양재영;김경남
    • 한국IT서비스학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국IT서비스학회 2006년도 추계학술대회
    • /
    • pp.118-125
    • /
    • 2006
  • 최근 공개SW를 활용한 IT서비스가 활성화되고 있으며, 대표적인 서비스 유형으로는 소프트웨어 개발, 소프트웨어 유지보수, SI 및 SM, 리포지토리 서비스가 있다. 공개SW의 대표적인 장점 및 기대효과로는 가격 경쟁력 향상과 개발 생산성 향상을 꼽을수 있다. 하지만 IT 서비스 업체에서 공개SW를 활용할 경우 라이센스, 유지보수, 품질 및 호환성 이슈에 대해 정확히 파악하고 사전에 준비해야 한다. LG CNS에서는 최근 해외시장에 공개SW를 적극적으로 활용하여 IT 서비스를 제공한 사례가 있으며, 해당 사례를 분석한 결과 공개SW를 IT 서비스에서 활용할 경우 실제로 소프트웨어 비용 절감을 통한 가격 경쟁력 제고 및 개발생산성 향상의 효과를 확인할 수 있다. 국내 IT서비스 업체가 상대적으로 공개SW에 대한 인식이 잘 형성되어 있는 해외 IT 서비스 시장에서 공개SW에 대한 이해를 바탕으로 주요 이슈에 대해 미리 준비하고 이를 적절히 활용한다면 경쟁력을 확보하는데 도움이 될 것이다.

  • PDF

무기고분자의 나노임프린트법에 의한 세라믹 선형 패턴의 제조 (Fabrication of Ceramic Line Pattern by UV-Nanoimprint Lithography of Inorganic Polymers)

  • 박준홍;팜안뚜앙;이재종;김동표
    • 폴리머
    • /
    • 제30권5호
    • /
    • pp.407-411
    • /
    • 2006
  • 액상의 고분자 전구체 polyvinylsilazane (PVS) 혹은 allylhydridopolycarbosilane(AHPCS)를 실리콘 기판 위에 스핀 코팅한 다음, DVD 마스터로부터 제조된 polydimethylsiloxane(PDMS) 몰드를 이용한 자외선 나노임프린트법으로 나노 크기의 고분자 패턴을 제조하였다. 나아가 질소 분위기하에서 $800^{\circ}C$ 열처리함으로써 각각 SiCN, SiC 세라믹 패턴도 제조하였다. 가교된 고분자와 세라믹 패턴의 폭과 넓이를 원자힘현미경(AFM)과 주사전자현미경(SEM)으로 관측한 결과 PVS와 AHPCS의 패턴 높이는 각각 38.5%와 24.1%, 패턴 폭은 18.8%와 16.7%의 수축률을 나타내었다. 즉 전구체의 세라믹 수율이 높을수록 세라믹 패턴 수축률은 낮아졌고, 패턴과 기판과의 접착에 의한 수축억제로 이방성 수축현상도 관찰되었다. 본 연구결과는 새로운 세라믹 MEMS 소자제작공정으로서 나노임프린트법의 가능성과 수축률 제어 연구가 필요함을 제시하고 있다.

몇가지 형태(形態)의 질소비료시비(窒素肥料施肥)가 수도(水稻)의 생육(生育) 및 수량(收量)에 미치는 영향(影響) (Application Effects of Some Nitrogen Fertilizers Forms for the Growth and Yield of Rice Plant)

  • 박창규;육창수;조광동
    • 한국토양비료학회지
    • /
    • 제18권1호
    • /
    • pp.78-88
    • /
    • 1985
  • 질소(窒素)의 형태(形態)가 상이(相異)한 몇가지 비종(肥種)이 수도(水稻)의 생육(生育) 및 수량(收量)에 미치는 영향(影響)을 구명(究明)코자 진주(眞珠)벼를 공시품종(供試品種)로 하여 4가지 질소형태(窒素形態)와 7종(種)의 비종(肥種)으로 질소(窒素) 시비량(施肥量)을 달리하여 Pot시험(試驗)한 결과(結果)를 요약(要約)하면 다음과 같다. 1. 토양중(土壤中) pH는 $NH_4-N$인 Ammonium Sulfate의 시용량(施用量)이 증대(增大)할수록 낮아졌으며 $NO_3-N$의 경우 부성분(副成分)이 없는 Nitric Acid구(區)는 시간이 경과함에 따라 pH가 높아졌으나 부성분(副成分)이 있는 $NO_3-N$ 비료(肥料)는 변화(變化)가 적었다. 2. 토양중(土壤中) $NH_4{^+}$ 함량(含量)은 N 15kg/10a구(區)에서는 비료형태(肥料形態)나 비종(肥種)에 관계없이 이앙후(移秧後) 14일(日)에 가장 낮았다. N 30kg/10a구(區)에서는 $NH_4-N$, Urea-N 등(等)은 17~24일(日)에 함량(含量)이 가장 낮았으나 $NO_3-N$는 31일(日)까지 계속 감소(減少)하였다. 3. 생육상황(生育狀況)은 질소시용량간(窒素施用量間)에 다소(多少) 차이(差異)가 있지만 간장(稈長), 고중(藁重) 등(等) 지상부(地上部)의 생육(生育)은 질소형태별(窒素形態別)로는 $NH_4-N$인 인산(燐酸)을 함유(含有)한 Ammonium Phosphate구(區)와 유황(硫黃)을 함유(含有)한 Ammonium Sulfate구(區), 그리고 Urea-N인 Urea구(區)에서 양호(良好)하였고 지하부(地下部) 뿌리의 생육(生育)은 $NO_3-N$인 질산구(窒酸區), Potassium Nitrate구(區) 및 Calcium Nitrate구(區)에서 양호(良好)하였다. 4. 수도(水稻)의 수량(收量)은 질소형태별(窒素形態別)로는 질소시용량간(窒素施用量間)에 다소(多少) 차이(差異)가 있으나 $NH_4-N$인 Ammonium Sulfate구(區), Ammonium Phosphates구(區)가 수량(收量)이 많았으며 $NO_3-N$인 Calcium Nitrate구(區) Potassium Nitrate구(區), Nitric Acid구(區)는 수량(收量)이 낮았다. 5. 식물체(植物體) 경엽중(莖葉中)에 N, P, Mg 및 Mn등(等) 무기성분(無機成分) 함량(含量)은 $NH_4-N$비료(肥料)에서 많았으며 Urea-N $NH_4-N+NO_3-N$의 순(順)로 적었다. 또한 $NO_3-N$ 비료(肥料)는 대체로 K, Ca 및 $SiO_2$ 등(等)의 무기성분(無機成分) 함량(含量)이 많았으나 N, P와 Mg, Mn, Fe 및 Mn등(等)의 함량(含量)이 적었다. 6. 식물체(植物體) 경엽중(莖葉中) 질소흡수(窒素吸收)의 증가(增加)는 인산흡수(燐酸吸收)를 증진(增進)시키는 상조작용(相助作用)이 있어 생육(生育) 및 수량증가(收量增加)에 기여하는 것으로 보였다. 반면(反面)에 $NO_3-N$ 비료(肥料) 중(中) K가 첨가(添加)된 비료구(肥料區)에서는 N, P, Ca 및 Mg, 그리고 Ca가 첨가(添加)된 비료구(肥料區)는 P, K 및 Mg 또한 $NO_3$-시용구(施用區)는 N, P, Mg흡수(吸收)를 감소(減少)시켰으며 N, P, Mg 및 Ca등(等)은 생육(生育) 및 수량증가(水量增加)에 크게 기여하는 것으로 보였다. 7. 수확기(收穫期) 벼 뿌리중 $SiO_2$, Zn, Fe 함량(含量)은 경엽(莖葉)에 비하여 많았고 N, P, Mg, Mn, Zn 및 Fe함량(含量)는 $NH_4-N$, Urea-N시용구(施用區)에서 많았고 K, Ca, $SiO_2$함량(含量)는 $NO_3-N$시용구(施用區)에서 많았다.

  • PDF

공주 무령왕릉과 왕릉원 내부에 사용한 석회 및 점토의 재료학적 동질성과 조달체계 검토 (Consideration of Procurement System and Material Homogeneity for Lime and Clay using the Tombs within the King Muryeong and the Royal Tombs in Gongju, Korea)

  • 최일규;양혜리;이찬희
    • 자원환경지질
    • /
    • 제55권5호
    • /
    • pp.447-463
    • /
    • 2022
  • 공주 무령왕릉과 왕릉원의 축조에 사용한 석회와 점토는 부재료로서 벽체의 줄눈재와 미장재로 활용되어 구조적인 보조 역할을 수행하고 있다. 이 연구에서는 석회와 점토에 대한 정량분석을 통해 재료학적 특성과 고분 간의 동질성을 해석하였다. 석회와 점토에 대한 미세조직과 조성분석 결과, 그룹별로 모든 시료에서 거의 동일한 광물이 동정되었으며, 열분석에서도 유사한 열적 특성이 나타났다. 조성으로 볼 때, 고분에 관계없이 지구화학적 거동특성도 매우 유사하였다. 이들의 조성은 CaO-MgO-SiO2 성분계, RO2-(RO+R2O) 상관도, A-CN-K 및 A-CNK-FM 삼각도에서도 높은 동질성이 나타났다. 따라서 왕릉원 축조에 사용한 점토는 인근에서 수급한 것으로 해석되며, 석회의 원료물질은 주로 방해석으로 구성된 굴과의 패각을 활용한 것으로 판단된다. 석회의 원료는 금강 하류의 서해안 일대 패총에서 수급한 것으로 추정할 수 있으나, 공급지 검토는 안정동위원소 분석 및 탄산 염암의 사용과 재현실험을 통해 검증할 필요가 있다.

The Analytic Gradient with a Reduced Molecular Orbital Space for the Equation-of-Motion Coupled-Cluster Theory: Systematic Study of the Magnitudes and Trends in Simple Molecules

  • 백경기;전상일
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
    • /
    • 제21권7호
    • /
    • pp.720-726
    • /
    • 2000
  • The analytic gradient method for the equation-of-motion coupled-cluster singles and doubles (EOM-CCSD) energy has been extended to employ a reduced molecular orbital (MO) space. Not only the innermost core MOs but also some of the outermost virtua l MOs can be dropped in the reduced MO space, and a substantial amount of computation time can be reduced without deteriorating the results. In order to study the magnitudes and trends of the effects of the dropped MOs, the geometries and vibrational properties of the ground and excited states of BF, CO, CN, N2, AlCl, SiS, P2, BCl, AIF, CS, SiO, PN and GeSe are calculated with different sizes of molecular orbital space. The 6-31 G* and the aug-cc-pVTZ basis sets are employed for all molecules except GeSc for which the 6-311 G* and the TZV+f basis sets are used. It is shown that the magnitudes of the drop-MO effects are about $0.005\AA$ in bond lengths and about 1% on harmonic frequencies and IR intensities provided that the dropped MOs correspond to (1s), (1s,2s,2p), an (1s,2s,2p,3s,3p) atomic orbitals of the first, the second, and the third row atoms, respectively. The geometries and vibrational properties of the first and the second excited states of HCN and HNC are calculated by using a drastically reduced virtual MO space as well as with the well defined frozen core MO space. The results suggest the possibility of using a very smalI MO space for qualitative study of valence excited states.

우슬로부터 20-Hydroxyecdysone의 분리 및 함량분석 (Isolatin and Quantitative Determination of 20-Hydroxyecdysone from Achyranthis Radix)

  • 황지현;이승호;박정일;강신정;장승엽;이경순;손건호
    • 생약학회지
    • /
    • 제30권3호
    • /
    • pp.335-339
    • /
    • 1999
  • Separation and quantitative determination of 20-hydroxyecdysone from Achyranthis Radix has been conducted by using HPLC method. 20-hydroxyecdysone in a methanol extract from the raw drug was separated on a reverse phase column using a $CH_3CN-H_2O\;(18:82)$ solvent system and the average content is $0.0931{\pm}0.0048%$. For the preparation of authentic standard, we isolated 20-hydroxyecdysone from the roots of Achyranthes fauriei by $SiO_2$ and RP-18 column chromatography.

  • PDF

나노 실리카분말의 충진효과를 이용한 극미세 3차원 세라믹 구조물 정밀화 (Improvement of precision of three-dimensional ceramic microstructures employing silica nanoparticle-mixed precursor)

  • 임태우;박상후;양동열;;김동표
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문집
    • /
    • pp.157-158
    • /
    • 2006
  • A novel nanofabrication process has been developed using two-photon crosslinking (TPC) for the fabrication of three-dimensional (3D) SiCN ceramic microstructures applicable to high functional 3D devices, which can be used in harsh working environments requiring a high temperature, a resistance to chemical corrosion, as well as tribological properties. After sequential processes: TPC and pyrolysis, 3D ceramic microstructures are obtained. However, large shrinkage due to low-ceramic yield during the pyrolysis is a serious problem to be solved in the precise fabrication of 3D ceramic microstructures. In this work, silica nanoparticles were employed as a filler to reduce the amount of shrinkage. In particular, the ceramic microstructures containing 40 wt% silica nanoparticles exhibited relatively isotropic shrinkage owing to its sliding free from the substrate during pyrolysis.

  • PDF

무기 고분자인 폴리실라잔을 이용한 수소 분리막의 합성 및 기공특성 (The Synthesis and Pore Property of Hydrogen Membranes Derived from Polysilazane as Inorganic Polymer)

  • 권일민;송인혁;박영조;이재욱;윤희숙;김해두
    • 한국세라믹학회지
    • /
    • 제46권5호
    • /
    • pp.462-466
    • /
    • 2009
  • We investigated the pore properties of inorganic membranes applied for hydrogen separation industry. Inorganic membranes were derived from polysilazanes. The thermal reactions involved were studied using thermogravimetry(TG) and IR spectroscopy(FTIR) of the solids. To determine the thermal effect of pore properties, polysilazanes were pyrolysed in inert atmosphere. Pore volume and BET surface area showed the maximum value at a pyrolysis temperature of $500^{\circ}C$. For amorphous SiCN membrane derived from polysilazanes, selectivity of $H_2/N_2$ was 4.81 at $600^{\circ}C$.