Stduy on formation of W-silicide in the diped-phosphorus poly-Si/SiO$_{2}$ /Si-substrate
(인이 주입된 poly-Si/SiO$_{2}$ /Si 기판에서 텅스텐 실리사이드의 형성에 관한연구)
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- Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics A
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- v.33A no.3
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- pp.126-134
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- 1996