• 한국조리학회지
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• 제21권4호
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• pp.284-293
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• 2015

본 연구에서는 대학생 시기의 올바른 건강관리가 성인기의 건강과 신체기능을 최적으로 유지하는 기초가 되고, 앞으로 임신, 분만, 수유 등을 대비해야 하는 가임기일 뿐만 아니라, 장차 가정과 사회의 식생활 관리자의 역할을 담당해야 하는 여대생을 대상으로 식습관과 운동습관 및 건강관련인식을 조사하고 이러한 지표가 영양섭취수준에 미치는 영향에 대해 분석하였다. 여대생 155명을 대상으로 연령, 신장, 체중 등 일반적 특성과 식습관, 운동습관, 건강상태 인식에 관련된 문항으로 구성된 설문지를 이용하였고, 24시간 회상법을 이용하여 식이섭취 조사를 실시한 후 영양소 섭취량을 분석하였다. 대상자들의 일주일간 식사시간이 규칙적인 날의 횟수는 '5~6일'이 27.74%, '3~4일'이 59.35%, '1~2일'이 12.9%로 나타났고, 아침결식률에서는 거의 '매일 결식'하는 비율이 46.74%, '때때로 결식'하는 비율이 36.13%, '거의 결식을 하지 않는' 비율이 16.13%로 나타나 결식률이 높게 나타났다. 야식횟수는 '일주일에 2~3회'가 43.23%로 가장 높았고, '1회 미만'이 40.65%, '4회 이상'이 16.13%로 나타났고, 식사 소요시간은 '20분 미만'이 42.58%, '20~30분 사이'가 38.06%, '31분 이상'이 19.35%로 나타났다. 운동습관의 규칙성에서는 '규칙적으로 운동을 한다'가 29.7%이고, '운동을 전혀 안한다'가 70.32%로 나타났고, 건강상태에 대한 인식 조사에서는 '건강상태가 좋다'가 47.74%, '그저 그렇다'가 24.52%, '나쁘다'가 27.74%로 나타나 비교적 건강상태가 좋다고 인식하는 대상자가 비교적 높게 나타났다. 식습관에 따른 영양소 섭취량의 차이에서는 일주일에 식사 시간이 규칙적인 날이 많을수록 에너지, 단백질, 지방, 식이섬유소, 칼슘, 인, 철분, 나트륨, 칼륨, 비타민 $B_6$, 나이아신, 비타민C, 엽산, 비타민 E, 콜레스테롤을 유의적으로 많이 섭취하는 것으로 나타났고, 아침 결식 여부에 따른 영양소 섭취량의 차이는 일주일에 아침을 결식하는 날이 많을수록 아침식사를 거의 매일 하는 대상자보다 에너지, 단백질, 지방, 탄수화물, 식이섬유소, 칼슘, 인, 철, 나트륨, 칼륨, 아연, 비타민 A, 비타민 $B_6$, 비타민 C, 엽산, 비타민 E를 유의적으로 더 적게 섭취하는 것으로 나타났다. 일주일간 야식을 먹는 횟수에 대한 영양소 섭취량의 차이에서는 야식을 먹는 횟수가 많을수록 에너지, 단백질, 지방, 식이섬유소, 칼슘, 인, 철분, 칼륨, 비타민 $B_2$, 비타민 $B_6$, 비타민 C, 엽산, 비타민 E, 콜레스테롤을 유의적으로 많이 섭취하였으나 식사 속도에 따른 차이는 나타나지 않았다. 규칙적인 운동습관을 가진 대상자는 그렇지 않은 대상자보다 영양소 섭취량이 약간 높게 나타났으나 유의적인 차이는 나타나지 않았고, 건강상태 인식에 따른 영양소 섭취량의 차이는 나타나지 않았다. 본 조사 대상자의 대부분은 19~29세 여성의 영양권장량에 못 미치는 수준으로 영양소를 섭취하고 있었고, 특히 불규칙적인 식사, 결식, 야식 등의 불규칙적인 식습관을 가진 여대생들의 경우, 그 경우 칼슘, 철분, 아연, 여러 비타민 C 등에서 영양권장량에 70%에도 못 미치는 수준을 나타내어 올바른 식습관을 가질 수 있도록 구체적인 영양교육이 필요할 것이다.

• 한국식품과학회지
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• 제42권1호
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• pp.103-108
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• 2010

본 연구에서는 기존 주정추출 방법에 의하여 인위적으로 카테킨 함량을 높인 녹차추출물의 효능이 아니라 음용시 사용되는 녹차가 지닌 일반적인 카테킨 함량에 의한 항비만 효능을 검토하기 위해, 열수 분무건조 방법을 적용하여 제조된 국내산 제주 열수 녹차추출물(aq-GTE)을 C57BL/6J 생쥐에 고지방 식이를 통한 비만을 유도시키며 동시에 농도를 달리하여 8주간 섭취시킨 뒤, 체중과 체내 지방함량 및 혈중 지질함량에 대한 분석을 실시하여 항비만 효능을 확인하였다. 그 결과, aq-GTE 첨가시 HFD 군간 식이 섭취량에는 차이가 없었으나 체중 증가량에 있어서는 aq-GTE에 농도 의존적으로 체중 증가량이 감소됨을 확인하였다. 또한 부고환 지방의 무게는 aq-GTE의 섭취 농도에 따라 유의하게 감소하였고, 체중 변화에 따른 비교에서도 통계적으로 유의하게 부고환 지방 무게의 감소가 확인되었다. 비만을 식이로 유도한 실험군에 나타나는 steatosis 증가 현상이 aq-GTE를 처리시 농도의존적으로 억제되어 감소하는 현상이 발생함을 관찰할 수 있었으며, 그 외에 혈액 분석을 통하여 확인할 수 있는 이상증상은 없는 것으로 확인되었다. 결론적으로 본 시험에서 사용한 aq-GTE는 C57BL/6J 생쥐에서 체중 증가와 체지방 축적 감소 및 지질대사 개선 효과를 나타내었으며, 이는 기존의 주정추출 방식으로 카테킨 함량을 높인 녹차 추출물뿐만 아니라 일반 녹차의 카테킨 함량도 충분히 그 효과를 볼 수 있다는 결과를 검증한 것이고, 향후 aq-GTE의 인체에 미치는 효과에 대한 연구가 수행되어야 할 것으로 사료된다.

• 한국식품과학회지
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• 제20권4호
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• pp.576-584
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• 1988

다수계 품종인 남풍, 밀양 23호와 일반계 품종인 화성, 진홍을 현미, 백미 그리고 겨로 구분한 12가지 시료에 대하며 불용성 식이섬유와 용해성 식이섬유로 구분하여 측정하였고 이를 합하여 총 식이섬유로 하였다. 한편 남풍, 밀양 23호, 화성 그러고 진흥 현미를 정백률 92%로 도정하는 과정에서 얻어진 겨로부터 neutral detergent fiber(NDF)를 분리하였다. 이 식이섬유의 특성을 측정하고자 수분 결합력(water-binding capacity, WBC), pH 변화에 따른 철분과의 결함정도. 담즙염과의 결합 정도를 측정 하였다. 이상의 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 현미, 백미 그리고 겨의 총 식이섬유 함량은 각각 6.44%, 3.22%그리고 22.24%였으며, 현미는 백미에 비해 2배 정도의 식이섬유를 공급할 수 있다. 2. Neutral detergent fiber(NDF)의 특성 실험에서 수분 결합력 (WBC)은 평균 $5.60{\pm}0.87g\;H_2O/g$ NDF로 수분 결합력이 커서 장관에서 물이나 작은 분자들을 흡수하여 팽창하며 궁극적으로 bulk flow에 영향을 미치게 된다. 3. 철분과의 결합력은 pH 5.0에서는 평균 24.63%, pH 6.0에서 19.64%, pH 7.0에서 48.98%로 pH에 따른 결합정도의 차이가 켰으며, 이러한 성질로 인해서 무기질의 흡수를 저해하므로 음식물 증에 식이섬유 함량이 높을 때 무기질의 흡수문제를 고려하여야 한다. 4. 식이섬유와 담즙염과의 결합정도는 $100{\mu}M$ sodium taurocholate의 농도에서 평균 $31.02{\pm}2.15%$가 결합 되었다. 식이성유의 이러한 기능으로 콜레스테롤의 재 흡수와 배설에 영향을 미쳐 혈장 콜레스테롤 농도를 낮추는 효과가 있는 것으로 추정된다. 의한 보호효과를 보면 전분과 자당을 동시첨가한 자당첨가동시보호구가 무보호 갈변경우에 비하여 20.5%정도 증가하였다. Fructosyl-lysine의 함량은 전분 첨가에 관계없이 갈변에 의하여 10배 이상 증가하였고 전분 첨가에 의한 보호효과를 보면 보호 방법에 관계없이 보호구가 무보호 갈변구에 비하여 $12.6{\sim}15.8%$ 정도 감소하였다. 진공포장함으로서 저장중 지질산패, 갈변 등 품질저하를 억제시킬 수 있었다.>가 20mM, $Na_2SO_3{\cdot}7H_2O$가 15mM 그리고 $NaHSO_3$가 25mM로 나타났다., 수원(水原)19호(號)와 제천옥(堤川玉)에서는 linoleic acid가 가장 높게 나타났다. 8) 당지질(糖脂質)의 구성지질성분(構成脂質成分)은 MGS, MGC 그리고 MGDG를 함유(含有)하며, MGS와 MGC는 진주옥(晋州玉)에서 가장 높은 반면에, 횡성옥(橫城玉)과 제천옥(堤川玉)에서는 가장 낮게 나타났다. 9) 총지질(脂質)의 지방산조성(脂肪酸組成)은 oleic, palmitic, linoleic그리고 heptadecanoic acid가 주성분(主成分)을이루고, 진주옥(晋州玉)에서 oleic acid가 가장 높은 반면에 heptadecanoic acid는 가장 낮게 나타났고, 제천옥(堤川玉)에서는 이와 반대(反對) 경향(傾向)을 보였다. 10) 순지질(燐脂質)의 구성지질성분(構成脂質成分)은 PI 및 PC를 함유(舍有)하며, 횡성옥(橫城玉)과 황옥(黃玉) 3호(號)에서 PI가 가장 낮게 나타났다. 11) 순지질(燐脂質)의 지방산조성(脂肪酸組成)은 palmitic, heptadecanoic 그리고 oleic acid가 주성분(主成分)을 이루고, 횡성옥(橫城玉)에서 oleic acid가 가장 높은 반면에, heptadecanoic acid는 가장 낮게

• Radiation Oncology Journal
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• 제26권4호
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• pp.257-262
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• 2008

목 적: 두경부 영역에 대한 방사선치료 시 발생하는 구강점막염은 방사선치료로 유발되는 급성 합병증 중에서 가장 심각하고 해결해야 할 문제점이다. 따라서 본 저자들은 마우스를 이용하여 방사선 구강점막염 모델을 확립하고자 본 연구를 진행하였다. 대상 및 방법: 본 실험에는 $7{\sim}8$주령의 20 g 내외의 웅성 BALB/c 마우스 55마리를 사용하였다. 1주일간 순화 후 대조군 5마리를 제외하고 체중에 따라 무작위로 3군으로 나누고 마우스의 두경부에 각각 16, 18, 20 Gy의 방사선을 조사하였다. 방사선조사 후 체중을 매일 측정하고 생존 유무를 관찰하였다. 방사선조사 후 1, 2, 3, 5, 7, 9, 14일째 마우스를 경추탈골사 한 후 설조직을 채취하고 hematoxylin & eosin (H&E) 염색으로 조직학적 변화를 확인하였다. 결 과: 방사선조사군의 경우 5일 이후 급격한 체중감소를 나타내었고 18 Gy와 20 Gy군에서 마우스가 사망하였다. 16 Gy군에서는 5일부터 9일까지는 평균 체중이 감소하였으나 이후 회복되었다. 조직학적 변화를 관찰한 결과 방사선조사 후 시간경과에 따라 상피층의 두께가 얇아지면서 편평해지는 경향을 나타내었으며 7일과 9일째에 가장 심각한 상태를 나타내었다. 대조군에서 평균 $113.50{\pm}2.41{\mu}m$이던 상피층 두께가 방사선조사 후 시간이 지남에 따라 유의하게 그 두께가 감소하였으며 7일째에는 43.9% 감소한 $63.70{\pm}3.28{\mu}m$로 최저치를 나타내었다(p<0.0001). 14일째에는 $121.00{\pm}2.82{\mu}m$로 대조군과 유의한 차이가 없어 정상적으로 회복되는 것으로 나타났다. 결 론: BALB/c 마우스에서 방사선조사 후 마우스의 체중변화를 관찰 할 수 있는 적절한 방사선 선량은 16 Gy였다. 또한 구강 내 상피조직의 현저한 손상은 방사선조사 후 7일과 9일째 관찰할 수 있었고 9일째에는 심각한 궤양화가 나타났다. 18 Gy와 20 Gy 조사 후 9일과 10일째에 모든 마우스가 사망하였지만 16 Gy 조사군에서는 14일째 조직이 정상적으로 회복되었다.

• Journal of Chest Surgery
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• 제38권7호
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• pp.483-488
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• 2005

대동맥판막을 치환하지 않고 보존하면서 대동맥근부 및 상행대동맥을 치환하는 경우 장기적으로 인공판막과 관련된 합병증을 줄여줄 수 있지만, 수술과 관련된 위험도를 증가시킬 수 있어 일반적으로 잘 시행되지는 않는다. 이에 본 병원의 이 수술과 관련된 위험도를 중심으로 단기성적을 알아보고자 하였다. 대상 및 방법: 1996년 5월부터 2003년 7월까지 26명의 환자에서 시행되었으며 남녀비는 17:9, 평균연령은 $37.9\pm19.2$세(범위: 6개월$\~74$세)로 말판증후군환자는 15명, 베체트 질환자가 1명이었다. 상행대동맥 박리가 있었던 환자는 10명이었으며, 중등도(moderate) 이상의 대동맥판막 역류가 있었던 환자가 18명이었다. 판막보존방법으로 재이식수술(reimplantation) 및 재형성수술(remodeling) 방법이 각각 14명과 12명에서 시행되었다. 동반된 수술로 대동맥판막 성형술이 6명, 승모판막 성형술이 5명, 부분대동맥궁치환술(hemiarch replacement)이 4명, 전대동맥궁치환술(total arch replacement)이 2명, 관상동맥우회술과 Maze수술이 각각 1명 등에서 시행되었다. 결과: 4명의 환자에서 수술 중 벤탈수술 등으로 전환하였으나, 모든 환자에서 수술 및 재원기간 내 사망은 없었고, 출혈에 의한 재수술이 3명, 박동기 삽입이 필요한 경우가 1명에서 있었다. 모든 환자의 중환자실 체류시간의 중간 값은 45.5시간이었으며, 재원기간의 중간 값은 10.5일이었다. 수술 중 전환한 환자를 제외한 22명 중, 수술장에서 시행한 경식도 심초음파를 시행한 모든 환자에서 경도(mild) 이하의 대동맥판막 역류를 보였으며, 수술장에서 경식도초음파를 시행하지 못했던 초기 한명의 환자에서 퇴원시 중등도(moderate)의 판막 역류가 있었다. 평균 추적관찰기간은 $21.2\pm27.4$개월로 타과 수술 중 사망한 1명의 환자를 제외한 모든 환자에서 생존을 확인하였으며, 3명의 환자에서 중등도 이상의 대동맥판막 역류가 재발하였으나 재수술은 없었다. 결론. 대동맥륜대동맥확장 환자에서 대동맥판막을 보존하면서 대동맥근부 및 상행대동맥을 치환하는 수술이 선별된 환자에서 비교적 안전하게 시행될 수 있는 방법으로 사료된다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제54권1호
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• pp.71-79
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• 2003

연구배경 : 원인 미상의 미만성 폐침윤이 있는 경우, 기관지폐포세척술(bronchoalveolar lavage; BAL)이 진단에 유용하나, 심한 저산소혈증이 있는 환자에서는 수기 중 저산소혈증의 악화에 대한 우려로 BAL을 시행하지 못하거나 기관내삽관 후 시행하는 경우가 많다. 이에 저자들은 심한 저산소혈증 환자에서 BAL 시행 시 안면마스크를 통한 지속성 기도양압(continuous positive airway pressure; CPAP)을 시행하여, 이 방법의 유용성 및 안정성을 평가하기 위해서 본 연구를 시행하였다. 방법 : 2001년 1월 2000년 8월까지 삼성서울병원에 입원한 환자 중, 진단적 BAL이 필요하면서 심한 저산소혈증(안면마스크로 산소 10 L/min 공급 시 $PaO_2/F_IO_2\;ratio{\leq}200$)이 있는 환자들을 대상으로 하였다. 기존의 인공호흡기와 안면마스크를 이용하여 흡입산소분율 1.0로 CPAP $5{\sim}6cmH_2O$를 BAL 시행 10분 전부터 BAL 종료 30분 후까지 적용하였다. 기관지내시경은 T-튜브를 통해 구강으로 삽입하여 통상적인 방법으로 BAL을 시행하였다. 수기 전, 직후, 수기 후 30분, 90분과 24시간에 여러 생리학적 지표와 가스교환지표들을 측정하였다. 결과 : (1) 총 7명(남:여=4:3)의 환자를 대상으로 하였으며 연령 중앙값은 56세였다. (2) CPAP 적용 전 $PaO_2$는 $78{\pm}16mmHg$였으며 CPAP 적용 후 $269{\pm}116mmHg$으로 유의하게 증가하였으며(p=0.018) BAL시행 후와 30분 후 $PaO_2$의 유의한 감소는 관찰되지 않았다. 수기 중 $SpO_2$가 90% 미만으로 감소한 환자는 한 명도 없었다. (3) 수기 직후 $PaCO_2$의 유의한 증가, pH의 유의한 감소가 관찰되었으나 수기 후 30분만에 회복되었다. (5) 시행 중 출혈, 기흉, 감염, 혈역학적 합병증은 발생하지 않았으며, 세명의 환자(43%)에서 수기와 무관하게 기저 질환의 진행으로 기관내삽관을 필요로 하였다. 결론 : 심한 저산소혈증 환자에서 안면마스크를 이용한 CPAP을 적용하여 BAL을 시행하면, 수기 시 저산소혈증의 위험 없이 안전하게 검사를 시행할 수 있을 것으로 사료된다.

• Journal of Hospice and Palliative Care
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• 제6권1호
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• pp.22-33
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• 2003

목적 : 본 연구는 국내 암성통증관리지침이 제시된 후 환자들의 통증관리에 대한 만족도, 만족 및 불만족 요인, 통증관리전략을 규명하여 앞으로의 통증관리에 있어 의료인이 지향해야할 세부적인 방향을 제시하기 위함이다. 방법 : 2002년 7월부터 11월까지 서울소재 2개 대학병원 혈액종양내과에 입원 또는 외래치료중인 암환자 59명을 대상으로 하였으며, 미국통증학회의 Patient Outcome Questionnaire(APS-POQ) 및 여러 선행연구를 참고로 연구자들이 구성한 설문지 및 의무기록 열람을 통해 자료를 수집하여 분석한 조사연구이다. 결과 : 1) 대상자의 특성 : 연구대상자의 24시간 동안 가장 심했을 때 통증 평균은 6.74점($0{\sim}10$점 범위), 24시간 평균 통증의 평균은 3.80점이었으며, 통증조절이 이루어진 후 느낀 통증의 정도는 평균 2.93점이었다. 일상 생활에 지장을 주는 정도 합계 평균은 $25.03{\pm}12.82$점($0{\sim}50$점 범위)으로 중등도의 지장을 느끼고 있었으며, 통증에 대한 환자의 염려 항목 중 3점 이상($0{\sim}5$점 범위)인 항목은 질병악화, 중독, 그리고 내성에 대한 항목이었다. 2) 암성통증관리현황 : 진통제를 적절히 복용하고 있는 대상자는 66.1%(39명)이었다. 대상자의 33.9%만 통증조절을 위해 약물이외의 간호중재방법을 사용한 적이 있었고, 의료진으로부터 통증관리에 대한 교육을 받아본 대상자도 35.6%로 나타났다. 3) 통증관리에 대한 환자의 만족도 및 그 이유 : 통증관리에 대한 평균 만족 정도는 $4.19{\pm}1.14$ ($1{\sim}6$점 범위)이었으며, 72.9%(43명)의 대상자가 만족한다고 응답했다. 불만족 하는 이유는 '통증조절 후에도 통증이 감소되지 않았다' '통증을 호소했을 때 빨리 혹은 시기적절하게 대처해주지 않았다', '환자가 통증을 호소할 때, 무관심하며 형식적으로 대했다', '약물 투여방법, 작용시간, 부작용 등 통증 관리에 대한 정보제공이 없었다' 이었으며, 만족하는 이유는 '통증조절 후 통증이 감소했다', '통증을 호소할 때 의료진이 관심을 가져주었다', '의사나 간호사가 신속하게 통증조절을 해주었다' '의사를 신뢰하기 때문' 이었다. 4) 암성통증관리의 만족 또는 불만족에 영향을 미치는 요인 : 만족 집단과 불만족 집단의 통증정도 및 일상생활에 지장을 미치는 정도에 있어서 두 그룹간 통계적으로 유의한 차이가 없었다. 통증관리에 대한 환자의 염려 항목 중 '훌륭한 환자는 통증을 호소하지 않는 자이다'에 있어서 만족 집단의 평균점수가 불만족 집단의 평균점수보다 통계적으로 매우 유의하게 높았다. 결론 : 선행연구들에 비해 암환자의 통증관리에 대한 만족도는 증가하였으나 아직도 30%정도의 대상자는 만족하지 못하는 것으로 나타났다. 암환자의 통증 관리에 대한 만족도 향상을 위해 통증관련 약물, 통증 완화를 위한 간호중재방법 및 환자들의 통증과 관련된 잘못된 지식을 개선하는 내용이 포함된 환자교육이 절실히 요구된다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.93-93
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• 2016

Large scale integrated circuits (LSIs) has been improved by the shrinkage of the circuit dimensions. The smaller chip sizes and increase in circuit density require the miniaturization of the line-width and space between metal interconnections. Therefore, an extreme precise control of the critical dimension and pattern profile is necessary to fabricate next generation nano-electronics devices. The pattern profile control of plasma etching with an accuracy of sub-nanometer must be achieved. To realize the etching process which achieves the problem, understanding of the etching mechanism and precise control of the process based on the real-time monitoring of internal plasma parameters such as etching species density, surface temperature of substrate, etc. are very important. For instance, it is known that the etched profiles of organic low dielectric (low-k) films are sensitive to the substrate temperature and density ratio of H and N atoms in the H2/N2 plasma [1]. In this study, we introduced a feedback control of actual substrate temperature and radical density ratio monitored in real time. And then the dependence of etch rates and profiles of organic films have been evaluated based on the substrate temperatures. In this study, organic low-k films were etched by a dual frequency capacitively coupled plasma employing the mixture of H2/N2 gases. A 100-MHz power was supplied to an upper electrode for plasma generation. The Si substrate was electrostatically chucked to a lower electrode biased by supplying a 2-MHz power. To investigate the effects of H and N radical on the etching profile of organic low-k films, absolute H and N atom densities were measured by vacuum ultraviolet absorption spectroscopy [2]. Moreover, using the optical fiber-type low-coherence interferometer [3], substrate temperature has been measured in real time during etching process. From the measurement results, the temperature raised rapidly just after plasma ignition and was gradually saturated. The temporal change of substrate temperature is a crucial issue to control of surface reactions of reactive species. Therefore, by the intervals of on-off of the plasma discharge, the substrate temperature was maintained within ${\pm}1.5^{\circ}C$ from the set value. As a result, the temperatures were kept within $3^{\circ}C$ during the etching process. Then, we etched organic films with line-and-space pattern using this system. The cross-sections of the organic films etched for 50 s with the substrate temperatures at $20^{\circ}C$ and $100^{\circ}C$ were observed by SEM. From the results, they were different in the sidewall profile. It suggests that the reactions on the sidewalls changed according to the substrate temperature. The precise substrate temperature control method with real-time temperature monitoring and intermittent plasma generation was suggested to contribute on realization of fine pattern etching.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.253-253
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• 2016

최근 세계적으로 대체 에너지는 중요한 이슈가 되고 있으며 그 중 열전 재료는 유망한 에너지 기술로서 주목 받고 있다. 특히 고 직접화 전자 소자의 발열 문제를 해결하기 위해, 소형화와 정밀 온도 제어가 가능한 박막형 열전 소자에 연구가 주목 받고 있다. 박막형 열전소자 중 산화물 반도체계에 대한 연구가 활발히 진행되고 있으며, 이러한 산화물 반도체계 중 In2O3는 BiTe, PbTe 등의 기존의 재료에 비해 독성이 낮을 뿐만 아니라 내 산화성 및 고온에서 열적 안정성이 우수하여 고온에서 적용 불가능한 금속계 열전 재료의 한계를 극복 할 수 있다는 장점을 가진다. 우수한 성능 가장 낮은 캐리어 밀도를 가지기 때문에 의 열전 재료는 높은 전기 전도도 및 제백 계수 그리고 낮은 열전도도 특성을 가져야만 한다. IZO:Sn(Zn 10 wt.%, Sn 800 ppm) 박막의 경우, 높은 전기 전도성을 가지면서 비정질 구조를 가진다. 이와 같이 비정질 구조를 가지는 박막 열전 재료는 격자에 의한 열 전도도가 낮기 때문에 결정질 구조에 비해 전체 열 전도도 값이 낮을 것으로 기대된다. 따라서 높은 전기 전도도를 가지면서 동시에 낮은 열 전도도를 가지게 되어 우수한 열전 특성을 가질 것이라 예상된다. 이러한 특성을 바탕으로 본 연구에서는 비정질 구조를 갖는 Zn와 미량의 Sn을 동시에 첨가한 In2O3박막의 전기적 특성및 열전 특성을 관찰하고자 한다. 본 연구에서는 magnetron sputtering법으로 IZO:Sn(Zn 10 wt.%, Sn 800 ppm) 타깃을 이용하여 기판 가열없이 DC Power 70 W, 작업 압력 0.7 Pa으로 SiO2 기판 위에 $400{\pm}20nm$ 두께의 박막을 증착하였다. 이러한 공정으로 만들어진 박막은 대기 중 후 열처리를 각각의 200, 300, 400, 500, $600^{\circ}C$ 온도에서 진행하였다. 박막의 미세 구조는 XRD를 통해 관찰하였다. 그리고 박막의 전기적 특성은 Hall effect measurement을 통해 측정하였고, 열전 특성은 Seebeck 상수의 측정을 통하여 평가하였다. XRD 확인 결과 RT에서 증착한 박막과 후 열처리 200, 300, 400, $500^{\circ}C$ 결과 비정질 구조를 보였고, 후열처리 $600^{\circ}C$에서는 결정의 회절 피크를 보였다. 전기적 특성의 경우, 후 열처리 온도가 증가함에 따라 전기 전도도는 감소한다. 이는 공기중의 산소가 박막에 침투하여 oxygen vacancy를 막아 캐리어 밀도가 감소한것에 기인 된 것으로 판단된다. 열전 특성의 경우 제백상수는 후 열처리 $600^{\circ}C$에서 가장 높은 제백상수를 나타낸다. 제백 상수는 수식에 따라 캐리어 밀도의 -2/3승에 비례하게 된다. 수식에 따라 후 열처리 $600^{\circ}C$에서 가장 낮은 캐리어 밀도를 가지기 때문에 가장 높은 제백 상수를 가지게 된다. 열전 성능 척도인 Power factor는 제백 상수의 제곱과 전기전도도의 곱으로 나타내는데, 후 열처리 $200^{\circ}C$에서 가장 높은 Power factor를 보인다. 이는 캐리어 밀도 감소에 따라 전기 전도도는 감소하였지만 이로 인해 제백상수는 증가하였고, 또한 캐리어 밀도 감소에 따라 이온화 불순물 산란의 감소에 의해 이동도의 증가에 의한 것으로 판단된다. 박막의 경우 기판의 영향으로 인해 열 전도도 측정이 어려워 열전 성능 지수(ZT)를 계산을 할 수 없지만, 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 IZO:Sn 박막은 비정질 구조를 가지므로 격자진동에 의한 열 전도도가 낮아 전체 열 전도도가 결정질에 비해 낮을 것이며 이는 높은 열전 성능 지수를 가질 것으로 예상된다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.188.1-188.1
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• 2015

For present investigation Fe/MgO/Fe/Co multilayer stack is grown on Si substrate using e-beam evaporation in ultrahigh vacuum. This stack is irradiated perpendicularly by 120 MeV $Ag^{8+}$ at different fluences ranging from $1{\times}10^{11}$ to $1{\times}10^{13}ions/cm^2$ in high vacuum using 15UD Pelletron Accelerator at Inter University Accelerator Centre, New Delhi. Magnetic measurements carried out on pre and post irradiated stacks show significant changes in the shape of perpendicular hysteresis which is relevant with previous observation of re-orientation of magnetic moment along the direction of ion trajectory. However increase in plane squareness may be due to the modification of interface structure of stacks. X-ray reflectivity measurements show onset of interface roughness and interface mixing. X-ray diffraction measurements carried out using synchrotron radiation shows amorphous nature of MgO and Co layer in the stack. Peak corresponding body centered Fe [JCPDS-06-0696] is observed in X-ray diffraction pattern of pre and post irradiated stacks. Peak broadening shows granular nature of Fe layer. Estimated crystallite size is $22{\pm}1nm$ for pre-irradiated stack. Crystallite size first increases with irradiation then decreases. Structural quality of these stacks was further studied using transmission electron microscopic measurements. Thickness from these measurements are 54, 36, 23, 58 and 3 nm respectively for MgO, Fe, MgO, Fe+Co and Au layers in the stack. These measurements envisage poor crystallinity of different layers. Interfaces are not clear which indicate mixing at interface. With increase fluence mixing and diffusion was increased in the stack. X-ray absorption spectroscopic measurements carried out on these stacks show changes of Fe valence state after irradiation along with change of O(2p)-metal (3d) hybridized state. Valence state change predicts oxide formation at interface which causes enhanced in-plane magnetization.