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Cu와 Si간의 확산방지막으로서의 Ti-Si-N에 관한 연구 (Thermal Stability of Ti-Si-N as a Diffusion Barrier)

  • 오준환;이종무
    • 한국재료학회지
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    • 제11권3호
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    • pp.215-220
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    • 2001
  • 본 실험에서는 반응성 스퍼터링법으로 $N_2$/Ar 유속비를 달리하여 약 200 과 650 두께의 비정질 Ti-Si-N막을 증착한 후 Cu (750 )와 Si사이의 barrier 특성을 면저항측정, XRD, SEM, RBS 그리고 Ti-Si-N막에서 질소 함량의 영향에 초점을 둔 ABS depth profiling 등의 분석방법을 통해 조사되었다. 질소 함량이 증가함에 따라 처음에는 불량 온도가 46%까지 증가하다가 그 이상에서는 감소하는 경향을 보였다. 650 의 Ti-Si-N barrier막을 80$0^{\circ}C$에서 열처리 후에는 Cu$_3$Si 피크만 관찰될 뿐 Cu피크는 거의 완전히 사라졌으므로 Barrier 불량기구는 Cu$_3$Si상을 형성하기 위해 Si 기판내로의 Cu의 확산에 의해 일어난 것으로 보인다. 본 실험에서 Ti-Si-N의 최적 조성은 $Ti_{29}$Si$_{25}$N$_{46}$이었다. 200 과 650 두께의 $Ti_{29}$Si$_{25}$N$_{46}$ barrier 층의 불량온도는 각각 $650^{\circ}C$$700^{\circ}C$이었다.이었다.

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초미세결정립 $ Fe_{73.5}Cu_{1}Nb_{3}Si_{16.5}B_6$ 합금의 $M\""{o}ssbauer$ 효과 연구 ($M\""{o}ssbauer$ Effet Studies on Nanocrystalline $Fe_{73.5}Cu_{1}Nb_{3}Si_{16.5}B_6$ Alloy)

  • 신영남;김재경;양재석;조익한;강신규
    • 한국자기학회지
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    • 제4권1호
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    • pp.12-19
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    • 1994
  • 비정질 $Fe_{73.5}Cu_{1}Nb_{3}Si_{16.5}B_{6}$ 합금의 $552^{\circ}C$에서 등온열처리시간에 따른 결정화 거동을 $M\"{o}ssbauer$ 분광법으로 연구하였다. 열처리된 시료는 $Do_{3}-FeSi$ 초미세결정립, Cu-cluster 및 비정질이 공존함이 $M\"{o}ssbauer$ spectrum 분석에 의해 확인되었다. 결정화 초기단계에 Cu-cluster가 형성되기 때문에 FeSi 초미세결정립의 Si함량은 높아지며, 열처리시간이 60분이 될 때까지 Si함량은 감소하는데 이는 FeSi 초미세결정립의 평균초미세자기장의 증가를 일으키며, 이후 Si함량은 거의 일정하다. 60분 이후의 열처리에서 FeSi 초미세결정립과 잔류비정질의 체적분율이 미소하게 변화함에도 잔류비정질의 평균초미세자기장이 감소하는 것은 잔류비정질에서의 Nb, B원자의 존재비의 증가에 기인된다. $552^{\circ}C$에서 60분 열처리 할 경우 FeSi 초미세결정립과 잔류비정질의 초미세자기장의 방향이 모두 무질서하게 분포된다. FeSi 초미세결정립과 Cu-cluster의 Avrami지수는 각각 0.51, 0.65, 잠복기는 각각 2.4분, 0.8분, 활성화에너지는 각각 2.35 eV, 2.44 eV이며, Cu-cluster가 FeSi 초미세결정립보다 먼저 생성된다는 것은 Cu 원자가 FeSi 초미세결정립의 생성을 촉진시킨다는 해석과 부합한다.

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토양중(土壤中) 중금속(重金屬)(Cd, Zn)의 처리(處理)가 옥수수의 생육(生育) 및 흡수(吸收)에 미치는 영향(影響) (The Effect of Cd and Zn Elements Applied to Soil on the Growth and their Uptake of Corn Plant)

  • 이민효;김복영
    • 한국환경농학회지
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    • 제4권1호
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    • pp.11-17
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    • 1985
  • Zn와 Cd을 무저(無底)폿트(${\phi}30cm{\times}70cm$)에 Cd는 5, 10, 30ppm, Zn은 150, 300, 600ppm으로 처리(處理)하고 옥수수(수원(水原) 19호(號))를 파종(播種)하여 발아후(發芽後) 15일(日), 30일(日), 45일(日)의 식물체(植物體) 생육(生育), 엽중(葉中) peroxidase활성(活性), 엽녹소(葉綠素) 합량(合量), 무기성분(無機成分) 함량(含量) 및 중김속(重金屬) 함량(含量)을 조사(調査)한 결과(結果)는 다음과 같다. 1) 토양중(土壤中) Cd, Zn의 첨가농도(添加濃度)가 높아질수록 간장(稈長) 및 건물중(乾物重)이 유의성(有意性)있게 감소하였다. 2) 식물체중(植物體中) Cd함량(含量)이 높아질수록 엽중(葉中) peroxidase 활성(活性)은 증가(增加)하나, Zn은 함량(含量)이 높아질수록 감소(減少)하는 경향(減少)이었다. 3) 식물체중(植物體中) Cd, Zn 농도(濃度)가 증가(增加)할수록 chlorophyll함량(含量)은 감소(減少)되었다. 4) 토양중 Cd 첨가농도(添加濃度)가 높아질수록 식물체중(植物體中) N함량(含量)은 증가(增加)되나 P, K, Ca, Mg, $SiO_2$함량(含量)은 감소(減少)되었다. 반면(反面) 토양중(土壤中) Zn첨가농도(添加濃度)가 높아질수록 P 및 SiO함양(含量)은 증가(增加)되나 N, Ca, Mg함양(含量)은 감소(減少)되는 경향(傾向)이었다. 5) 식물체중(植物體中) Cd, Zn흡수량(吸收量)은 시기(時期)가 경과할수록 증가(增加)하나 이들 함양(含量)은 일정(一定)한 경향(傾向)이 없었다. 6) 시일(時日)이 경과함에 따라 식물체중(植物體中) Cd흡수(吸收)는 Zn의 첨가농도(添加濃度)가 높아질수록 감소(減少)된 반면(反面) 식물체중(植物體中) Zn흡수(吸收) Cd의 낮은 첨가농도(添加濃度)에서 감소(減少)되었다.

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마이크로웨이브 조사에 따른 산화알루미늄이 함유된 실리콘카바이드의 SF6 제거 (Removal of SF6 over Silicon Carbide with Aluminium Oxide by Microwave Irradiation)

  • 최 성 우
    • 대한환경공학회지
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    • 제35권4호
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    • pp.240-246
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    • 2013
  • $SF_6$는 지구온난화지수가 가장 높은 중요한 온실가스이다. 본 연구에서는 마이크로파 조사에 따른 산화알루미늄이 혼합된 실리콘카바이드의 SF6 제거실험을 실시하였다. DRE (Decomposition and Removal Efficiencies)실험은 3,000 ppm의 $SF_6$를 사용하여 GC-TCD를 통하여 분석하였다. 산화알루미늄의 함량이 10~30 wt%까지 $SF_6$의 제거효율은 증가하였으나 산화알루미늄의 함량이 40~50 wt%에서 제거효율이 감소하였다. 특히 $900^{\circ}C$ 이상 에서 SiC-$Al_2O_3$ (20 wt%)와 SiC-$Al_2O_3$ (30 wt%)는 99.99%의 $SF_6$ 제거효율을 보여주었으며 SiC-$Al_2O_3$ (30 wt%)가 $700^{\circ}C$에서 96.72%의 제거효율을 보여주었다. 마이크로파 조사량과 산화알루미늄의 함량을 고려시 SiC-$Al_2O_3$ (30 wt%)가 $SF_6$ 제거에 가장 적절하였다. 본 연구의 결과로 마이크로파에 의한 $SF_6$ 제거시 SiC에 $Al_2O_3$의 함량 조절이 중요할 것으로 사료되어진다.

$TiO_2-SiO_2$ 이성분계 Aerogel의 광학적 투명성과 미세구조 (Optical Transparency and Microstructure of $TiO_2-SiO_2$ Binary Aerogels)

  • 이종혁;최수영;김창은;김구대;이해욱
    • 한국세라믹학회지
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    • 제32권3호
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    • pp.321-330
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    • 1995
  • Homogeneous and monolithic TiO2-SiO2 binary aerogels were prepared by supercritical drying. Optical transparency was increased with adding acid catalyst during two step hydrolysis and with decreasing water content. These differences in optical transparency were related to microstructures of gel network formed through polycondensation reaction during supercritical drying process, rather than the final composition of aerogel.

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코디어라이트-SiC위스커 복합재료의 열팽창 특성 (Thermal Expansion Behavior of Cordierite-SiC Whisker Ceramic Composites)

  • 강대갑
    • 한국세라믹학회지
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    • 제24권5호
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    • pp.411-416
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    • 1987
  • Thermal expansions and thermal expansion coefficients of cordierite ceramics reinforced by SiC whiskers up to 40 vol. % were investigated. The composite specimens were hot pressed at 1523K for 30 min under 28.5 MPa pressing pressure in Ar atmosphere. Thermal expansions of the hot pressed composites were measured using a differential dilatometer up to 1262 K in air. Thermal expansions and thermal expansion coefficient of the composites increased with SiC whisker content. Thermal expansion behaviors of the composites were well explained by modelling parallel slabs randomly distributed on the whisker plane as the microstructural element of the composites.

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Fabrication and Characterization of Alumina Matrix Composites Reinforced with SiC whiskers

  • Han, Byung-Dong;Park, Dong-Soo
    • The Korean Journal of Ceramics
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    • 제5권1호
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    • pp.12-18
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    • 1999
  • Alumina matrix composites reinforced with up to 20vol% of aligned SiC whiskers were fabricated by tape casting and hot pressing. Alumina composited with randomly distribution SiC whiskers were also fabricated in order to investigate the effect of whisker alignment on properties of the composites. XRD and optical microscopy were used to examine the whisker orientation. The fracture toughness increased with increasing whisker content, and it was higher in the direction normal to the tape casting direction.

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일방향성 배열을 가잔 SiC whisker에 의해 강화된 알루미나 복합체의 마모마찰 특성 (Tribological Behavior of the Alumina Reinforced with Unidirectionally Oriented SiC whiskers)

  • 간태석;임대순;한병동
    • 한국윤활학회:학술대회논문집
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    • 한국윤활학회 1998년도 제28회 추계학술대회
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    • pp.25-29
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    • 1998
  • Sliding wear test and surface characterization techniques such as micro-Raman spectroscopy were employed to determine the effect of whisker content and orientation on the friction and wear behavior of SiC whisker reinforced alumina. Composites containing unidirectionally oriented whiskers were fabricated by novel technique Addition of SiC whiskers up to 20 vol.% lowered the friction and improved wear resistance. The results of this study indicated that highly disordered graphite and size of the layer behind the whiskers were responsible for variation of wear rate and friction coefficient.

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질소 함량에 따른 TiAlSiN 코팅층의 나노 기계적 특성 평가 (The Study of Nano-Mechanical Properties of TiAlSiN Coating Layer with Nitrogen Content)

  • 강보경;최용;백열
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.255-255
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    • 2015
  • 나노압침방법을 적용하여 arc ion plating을 통해 제조된 TiAlSiN 코팅층의 질소 함량에 따른 나노 기계적 특성을 평가하였다. 코팅층의 질소 함량은 28~30 [at.%] 이었다. 코팅층에는 AlN, TiSi, $Al_5Ti_3$, $Ti_3AlN$, $Al_5Ti_2$ 상이 형성되었다. 질소 함량이 더 작은 코팅층의 나노경도, 마찰계수, 피로한계의 값이 높아짐을 알 수 있었다.

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전해석출에 의한 단계적 Ni-SiC 복합코팅층 제조공정에 관한연 (A Study on the Graded Ni-SiC Composite Coating by Electrodeposition)

  • 김선규
    • 한국표면공학회지
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    • 제30권5호
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    • pp.347-354
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    • 1997
  • Composite plating is a method of co-depositing fine particles of metallic, non-metallic compound or polymers in the plated layer to improve material properties such as were-resistance, lubrication, or corrosion resistance. Graded Ni-Sic composite coating were produced in this research. Prior to produce Graded Ni-SiC composite coatings, effects of particle size, particle content, pH of electrolyte, temperature, current density, stirring rate on the amount of SiC deposited in the Ni layer were investigated. By manipulating current density and plating time properties of these coating were evaluated by micro-indentation hardness test.

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