A Study on the Formation of $CoSi_2$ Epitaxial Layer on (100) Si in Co/Ta bilayer
((100)Si에서 Co/Ta bilayer metal을 이용한 $CoSi_2$ 에피층 성장에 관한 연구)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 1992.05b
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- pp.152-153
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- 1992