태양전지용 ${\mu}c$ -Si:H 박막의 저온증착 및 특성분석
(Low Temperature Deposition of ${\mu}c$ -Si:H Thin-films for Solar Cell Application)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2003년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1592-1594
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- 2003