• 제목/요약/키워드: Sensor array

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산화물 반도체 박막 가스센서 어레이의 제조 (Fabrication of oxide semiconductor thin film gas sensor array)

  • 이규정;김석환;허창우
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제4권3호
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    • pp.705-711
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    • 2000
  • 반도체 제조공정과 미세가공 기술을 이용하여 $300^{\circ}C$의 동작온도에서 약 60 mW의 전력소모를 갖는 산화물 반도체 박막 가스센서 어레이를 제조하였다. 멤브레인의 우수한 열적 절연은 $0.1\mum\; 두께의\; Si_3N_4와\; 1\mum$ 두께의 PSG의 이중 층에 의한 것으로, 각각 LPCVD(저압화학 기상증착)와 APCVD(대기압 화학 기상증착)에 의해 제조되었다. 센서 어레이의 4가지 산화물 반도체 박막 감지물질로는 1 wt.% Pd가 도핑된 $SnO_2,\; 6 we.% A1_2O_3$가 도핑된 ZnO, $WO_3$, ZnO를 이용하였으며,4가지 감지물질의 베이스라인 저항은 $300^{\circ}C$ 에서 3일 동안의 에이징을 거친 후 안정됨을 보였다. 제조된 초소형 산화물 반도체 박막 가스센서 어레이는 여러 가지 가스의 노출 시 유용한 저항 변화를 나타내었으며 감도는 감지 물질에 강하게 의존함을 알 수 있었다.

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센서 어레이의 신호패턴 분류를 위한 각도 변이 기반 상태 천이 모델링 기법 (Angle Difference Based State Transition Modeling Technique for the Classification of Signal Pattern from the Sensor Array)

  • 김아람;이승재;김상경;박수현;김창화
    • 한국시뮬레이션학회논문지
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    • 제15권3호
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    • pp.49-60
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    • 2006
  • 센서 어레이로부터 감지된 신호 패턴을 분류함으로써 감지 대상체를 구별하기 위해 본 연구에서는 상태 천이 모델을 이용하는 방법을 제안하였다. 센서 어레이의 신호 데이터를 패턴 모양의 특성을 나타낼 수 있는 상태 천이 모델로 변환하여 감지 대상체의 구별이 보다 정확하게 이루어 질 수 있도록 모델을 설계하는데 초점을 두면서, 모델링 요소인 '상태'는 각도 $(-\frac{\pi}{2},\frac{\pi}{2})$을 n개의 일정한 크기의 구간으로 나누어 각 구간을 하나의 상태로 정의하고, '천이' 관계는 일정한 시간 간격으로 샘플링된 신호 데이터 간의 각도 변화로 각각 정의하여 각도변이 기반 상태천이 모델링을 고안하였으며 모델의 유효성을 실험을 통하여 검증하였다.

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후막 센서 어레이를 이용한 화학 작용제 분류 (Classification of Chemical Warfare Agents Using Thick Film Gas Sensor Array)

  • 곽준혁;최낙진;반태현;임연태;김재창;허증수;이덕동
    • 한국군사과학기술학회지
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    • 제7권2호
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    • pp.81-87
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    • 2004
  • Semiconductor thick film gas sensors based on tin oxide are fabricated and their gas response characteristics are examined for four simulant gases of chemical warfare agent (CWA)s. The sensing materials are prepared in three different sets. 1) The Pt or Pd $(1,\;2,\;3\;wt.\%)$ as catalyst is impregnated in the base material of $SnO_2$ by impregnation method.2) $Al_2O_3\;(0,\;4,\;12,\;20\;wt.\%),\;In_2O_3\;(1,\;2,\;3\;wt.\%),\;WO_3\;(1,\;2,\;3\;wt.\%),\;TiO_2\;(3,\;5,\;10\;wt.\%)$ or $SiO_2\;(3,\;5,\;10\;wt.\%)$ is added to $SnO_2$ by physical ball milling process. 3) ZnO $(1,\;2,\;3,\;4,\;5\;wt.\%)$ or $ZrO_2\;(1,\;3,\;5\;wt.\%)$ is added to $SnO_2$ by co-precipitation method. Surface morphology, particle size, and specific surface area of fabricated sensing films are performed by the SEM, XRD and BET respectively. Response characteristics are examined for simulant gases with temperature in the range 200 to $400^{\circ}C$, with different gas concentrations. These sensors have high sensitivities more than $50\%$ at 500ppb concentration for test gases and also have shown good repetition tests. Four sensing materials are selected with good sensitivity and stability and are fabricated as a sensor array A sensor array Identities among the four simulant gases through the principal component analysis (PCA). High sensitivity is acquired by using the semiconductor thick film gas sensors and four CWA gases are classified by using a sensor array through PCA.

Quantifiable and feasible estrus detection using the ultrasonic sensor array and digital infrared thermography

  • Lee, Ji Hwan;Lee, Dong Hoon;Yun, Won;Oh, Han Jin;An, Ji Seon;Kim, Young Gwang;Kim, Gok Mi;Cho, Jin Ho
    • Journal of Animal Science and Technology
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    • 제61권3호
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    • pp.163-169
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    • 2019
  • Detection of estrus is an essential factor as a method of successful breeding in the sow. As increasing the adaption of the information and communication technology (ICT) into swine industry, this study focuses on a possibility and quantification of standing time, vulva and body temperature as methods of estrus detection, comparing each time and temperature in estrus and non-estrus period, and analyzing each success rate of new and existing methods. Ultrasonic sensor array and digital infrared thermography were used to evaluate whether new methods such as standing time and number, and vulva and skin temperature can be replaced, or these methods can be quantifiable in estrus period. Ultrasonic sensor array was installed beside the stall and digital infrared thermography was placed in the rear of sow to collect the dates of sow in estrus and non-estrus period. This study showed total standing time, number and number over 10 minutes, and vulva temperature of the sow in estrus period were increased (p < 0.05) compared with those of sow in non-estrus period, respectively. Detection of estrus using standing time and vulva temperature tended (p = 0.06) to increase the success rate when artificial insemination (AI) was performed. In conclusion, standing time and vulva temperature increased when estrus happened. Success rate of AI of sow using these methods showed an increasing trend. Therefore, existing method using the naked eye can be replaced to new method such as vulvar temperature and standing time when detecting the estrus.

산화물 반도체 박막 가스센서 어레이의 제조 및 수율 개선 (Fabrication and yield improvement of oxide semiconductor thin film gas sensor array)

  • 이규정;류광렬;허창우
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제6권2호
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    • pp.315-322
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    • 2002
  • 반도체 제조공정과 미세가공 기술을 이용하여 30$0^{\circ}C$의 동작온도에서 약 60㎽의 전력소모를 갖는 산화물 반도체 박막 가스센서 어레이를 제조하였다. 멤브레인의 우수한 열적 절연은 0.1$\mu\textrm{m}$ 두께의 Si$_3$N$_4$와 1$\mu\textrm{m}$ 두께의 PSG의 이중 층에 의한 것으로, 각각 LPCVD(저압화학 기상증착)와 APCVD(대기압 화학 기상증착)에 의해 제조되었다. 센서 어레이의 4가지 산화물 반도체 박막 감지물질로는 1wt.%Pd가 도핑된 SnO$_2$, 6wt.% $Al_2$O$_3$가 도핑된 ZnO, WO$_3$, ZnO를 이용하였으며, 제조된 초소형 산화물 반도체 박막 가스센서 어레이는 여러 가지 가스의 노출시 유용한 저항 변화를 나타내었고 감도는 감지 물질에 강하게 의존함을 알 수 있었다. 센서 소자의 공정 수율을 증진시키기 위하여 히터 부위를 함몰하는 공정 방법을 취하였으며, 그 결과 월등한 수율 개선을 도모할 수 있었다.

사냑형 간섭계 광섬유 센서를 이용한 변압기유 내에서의 외부 음향 주파수 모니터링 (Applied Sound Frequency Monitoring in the Transformer Oil Using Fiber Optic Sagnac Interferometer)

  • 이종길;이승홍
    • 한국음향학회지
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    • 제34권4호
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    • pp.288-294
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    • 2015
  • 광섬유 사냑 간섭계는 음향 및 진동과 같은 물리적 변화량을 탐지하는 센서로 잘 개발되어 있다. 본 논문에서는 변압기유가 채워진 원통형 캐비티에 음압이 발생되었을 때 한 개의 루프내에 설치된 광섬유 배열 센서를 이용하여 음향을 탐지하였다. 서로 다른 외부 음향 주파수 $f_1$$f_2$를 피에조 재료를 이용하여 발생시키고 주파수는 5 kHz에서 90 kHz까지로 선정하였다. 실험 결과 광섬유 센서는 하모닉 성분인 $f_1$, $f_2$, $2f_1$, $2f_2$, ${\mid}f_1-f_2{\mid}$, ${\mid}f_1+f_2{\mid}$의 주파수를 탐지하였다. 제안된 광섬유 센서 배열은 변압기 내의 부분 방전으로 인한 음압과 진동과 같은 물리량을 모니터링 하는데 적용할 수 있을 것으로 판단된다.

다단 송출전압을 이용한 초음파센서 시스템의 분해능 개선 (Resolution Enhancement of an Ultrasonic Sensor System via Multiple Steps of the Transmitter Voltage)

  • 나승유;박민상
    • 센서학회지
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    • 제6권4호
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    • pp.298-306
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    • 1997
  • 초음파센서는 저렴성, 단순한 구조, 기계적 강인성, 사용상의 적은 제약 등의 이점 때문에 다양한 응용분야에 적용된다. 그러나 주요 사용 목적으로는 물체의 감지와 거리측정으로 제한된다. 물체의 인식에 초음파센서를 사용하기에는 낮은 분해능을 초래하는 불량한 방향성과 측정오류를 유발하는 반사성의 단점이 있다. 이런 문제를 극복하기 위해 센서의 배열이 사용되어왔다. 즉, 분해능을 개선하기 위해 다양한 센서의 배열형태에서 많은 수의 센서를 사용하거나, 일정 수의 센서를 사용할 경우에는 센서배열을 기계적으로 이동시킨다. 본 논문에서는 센서배열에 단순한 구동 전자회로를 추가하여 센서 시스템의 인식 분해능을 개선하는 실제적인 방범을 제안한다. 구동회로는 송출 구동전압을 다양하게 변화시켜 알려진 센서의 특성에 따라 서로 다른 수신신호의 진폭으로부터 분해능의 개선을 얻는다. 제안된 방법에서는 사용하는 센서의 수를 증가하거나 추가되는 기계적인 구동기를 사용하지 않으며 분해능의 개선을 얻는다.

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방사선 노출에 따른 3T APS 성능 감소와 몬테카를로 시뮬레이션을 통한 픽셀 내부 결함의 비교분석 (A Comparison between the Performance Degradation of 3T APS due to Radiation Exposure and the Expected Internal Damage via Monte-Carlo Simulation)

  • 김기윤;김명수;임경택;이은중;김찬규;박종환;조규성
    • 방사선산업학회지
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    • 제9권1호
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    • pp.1-7
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    • 2015
  • The trend of x-ray image sensor has been evolved from an amorphous silicon sensor to a crystal silicon sensor. A crystal silicon X-ray sensor, meaning a X-ray CIS (CMOS image sensor), is consisted of three transistors (Trs), i.e., a Reset Transistor, a Source Follower and a Select Transistor, and a photodiode. They are highly sensitive to radiation exposure. As the frequency of exposure to radiation increases, the quality of the imaging device dramatically decreases. The most well known effects of a X-ray CIS due to the radiation damage are increments in the reset voltage and dark currents. In this study, a pixel array of a X-ray CIS was made of $20{\times}20pixels$ and this pixel array was exposed to a high radiation dose. The radiation source was Co-60 and the total radiation dose was increased from 1 to 9 kGy with a step of 1 kGy. We irradiated the small pixel array to get the increments data of the reset voltage and the dark currents. Also, we simulated the radiation effects of the pixel by MCNP (Monte Carlo N-Particle) simulation. From the comparison of actual data and simulation data, the most affected location could be determined and the cause of the increments of the reset voltage and dark current could be found.

a-IGZO TFT 기반 OLED 디스플레이 화소에 내장되는 OLED 열화 보상용 온도 센서의 개발 (Development of a Temperature Sensor for OLED Degradation Compensation Embedded in a-IGZO TFT-based OLED Display Pixel)

  • 문승재;김승균;최세용;이장후;이종모;배병성
    • 센서학회지
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    • 제33권1호
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    • pp.56-61
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    • 2024
  • The quality of the display can be managed by effectively managing the temperature generated by the panel during use. Conventional display panels rely on an external reference resistor for temperature monitoring. However, this approach is easily affected by external factors such as temperature variations from the driving circuit and chips. These variations reduce reliability, causing complicated mounting owing to the external chip, and cannot monitor the individual pixel temperatures. However, this issue can be simply and efficiently addressed by integrating temperature sensors during the display panel manufacturing process. In this study, we fabricated and analyzed a temperature sensor integrated into an a-IGZO (amorphous indium-gallium-zinc-oxide) TFT array that was to precisely monitor temperature and prevent the deterioration of OLED display pixels. The temperature sensor was positioned on top of the oxide TFT. Simultaneously, it worked as a light shield layer, contributing to the reliability of the oxide. The characteristics of the array with integrated temperature sensors were measured and analyzed while adjusting the temperature in real-time. By integrating a temperature sensor into the TFT array, monitoring the temperature of the display became easier and more accurate. This study could contribute to managing the lifetime of the display.

마이크로폰 어레이를 이용한 두 개의 동일 주파수 소음원의 위치 규명에 관한 연구 (Localization of Two Monopole Sources with Identical Frequency Using Phased Microphone Array)

  • 황선길;최종수;이재형
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2003년도 추계학술대회논문집
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    • pp.735-741
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    • 2003
  • A simplified view of array design and application process was introduced. Array design is critical to achieve a successful phased array measurements. A planar microphone array is designed to produce optimum performance and also to fit economic requirement in integrating data acquisition system. Certain performance characteristics are of primary concern when designing arrays. These characteristics include array resolution, spatial aliasing and array sidelobe suppression. Every array has its directional pattern that shows such characteristics. Assuming that a monopole source is located in center, beam-patterns have been simulated varying measurement conditions such as number of sensors. array aperture size, distance between array and source, frequency of interest and so on. Sensor correction was conducted on very channel using magnitudes and phased of FRF with respect to a reference microphone channel. Then with a spiral type array, measurements have been made with two point sources of same frequency in order to investigate array resolving abilities. It is observed that higher frequency source achieves better resolution than lower one does.

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