• 제목/요약/키워드: Se Deposition

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SEMI S6를 적용한 CVD 설비의 폭발분위기 조성 가능성 분석 (Explosion Likelihood Investigation of Facility Using CVD Equipment Using SEMI S6)

  • 이미정;서대원;이성희;이동건;배세종;백종배
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제61권1호
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    • pp.62-67
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    • 2023
  • 반도체, 디스플레이 등 IT(Information Technology) 제품 수요 증가로 관련 산업이 확대되고 있다. 이는 생산설비 증설과 화학물질 사용 증가로 이어지며 화재·폭발의 위험성에도 영향을 미치고 있다. 이러한 위험요인에 대해 정부는 오래전부터 인화성 물질을 제조·사용·취급하는 장소의 사고 예방을 위하여 산업안전보건법 및 KS 기준에 따라 폭발위험 장소로 설정하여 관리토록 하고 있다. 그러나, 폭발위험장소를 설정할 때, 중요한 요소인 환기량을 고려하지 않아 실질적인 폭발분위기 조성 가능성을 예측하기는 쉽지 않다. 이 연구에서는 디스플레이 산업에서 주요 공정인 CVD(Chemical Vapor Deposition) 설비에 SEMI S6 Exhaust Ventilation Test 방법을 적용하여 위험한 설비의 환기 성능을 평가하고, 폭발분위기 조성 가능성을 확인하였다. 그 결과, 가상의 시나리오 내에서 환기 성능이 SEMI S6에서 규정한 기준에 적합하였고, 폭발분위기가 조성될 가능성이 낮음을 확인하였다. 따라서, KS 규격뿐만 아니라 공학적 기법으로 폭발분위기의 형성 여부를 예측한 연구 결과를 통해 합리적이고 경제적인 사고 예방에 도움이 될 것으로 기대된다.

경주시 제3기 추령각력암의 퇴적시기와 구조적 성인 (Age and Structural Origin of the Tertiary Churyeong Breccia in the Gyeongju City, Korea)

  • 손문;김승현;김종선;송철우;김인수
    • 암석학회지
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    • 제18권2호
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    • pp.137-151
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    • 2009
  • 경주시 황룡동 일대에 분포하는 제3기 추령각력암과 주변 화산암류에 대한 암상분포, 암석기재, 접촉 및 선후관계 그리고 각종 지질구조 요소들의 특성을 파악하고 기존 지화학 및 절대연령 자료들을 종합적으로 분석하여 다음과 같은 결론을 도출하였다. (1) 연구지역의 제3기 암석은 하위로부터 데사이트질 응회암, 이를 부정합으로 피복하는 추령각력암, 그리고 이들을 다시 관입 및 피복한 안산암질 화산암류로 구분된다. (2) 데사이트질 응회암은 고제3기 팔레오세${\sim}$에오세 동안에 발생한 산성 화산활동의 산물인 왕산층에 대비되며, 추령각력암과 안산암질 화산암류는 신제3기 전기 마이오세 초의 범곡리층군 안동리층과 용동리응회암에 각각 대비된다. (3) 추령각력암은 동해가 활발히 확장하던 시기에 한반도 동남부에서 발생한 북서-남동방향의 지각신장 과정에서 만들어진 약 1.5 km 폭의 북동방향 지구대로 빠르게 유입된 각형의 주변 기반암편들이 퇴적된 결과이다. (4) 전기 마이오세 초에는 한반도 동남부에 데사이트${\sim}$안산암질 화산활동과 함께 활발한 지각신장이 발생하였으며, 특히 추령각력암이 퇴적되는 시기에는 화산활동이 잠시 중단되었으나 활발한 정단층운동이 발생하여 곳곳에 소규모 지구대가 형성되었다.

Sol-gel법에 의한 박막태양전지용 CuInS2 박막의 증착과 특성 (Characteristics and Deposition of CuInS2 film for thin solar cells via sol-gel method0)

  • 이상현;이승엽;박병옥
    • 한국결정성장학회지
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    • 제21권4호
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    • pp.158-163
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    • 2011
  • 박막 태양전지의 저가 고효율화를 실현하기 위해 넓은 면적의 기판 위에 코팅이 가능하며 진공의 유자가 필요 없기 때문에 장치가 간단하고 고순도의 균질한 박막을 얻을 수 있고 박막의 조성을 쉽게 조절할 수 있는 Sol-Gel법을 이용 하였다. Se보다 저가이며 독성이 없고 풍부한 원료인 S로 치환하여 사용하며 Cu/In비 값을 조절하고 tetragonal chalcopyrite $CuInS_2$의 열처리 온도에 따른 박막의 구조적, 광학적 특성에 미치는 변수들의 영향을 알아보았다. XRD pattern을 관찰한 결과 Cu/In비가 1.0일 때 $2{\theta}=27.9^{\circ}$에서 주피크가 가장 강하게 나타났으며 (112) 방향의 배향성을 가진 chalcopyrite상임을 확언 할 수 있었다. 열처리 온도가 증가할수록 (112) 면의 강도가 커지며 $500^{\circ}C$에서 열처리를 한 $CuInS_2$ 박막은 tetragonal 구조의 화학량론적 $CuInS_2$ 특징을 나타내고 본 실험의 샘플의 격자상수를 측정한 값이 a = 5.5032, c = 11.1064 ${\AA}$이며 JCPDS(Joint Committee on Powder Diffraction Standards)에 보고된 데이터 a = 5.523, c = 11.14 ${\AA}$과 거의 일치하였다. 광학적 특성을 알아보기 위해 측정한 광투과율은 가시광선 영역(380~770 nm)에서 전체적으로 30% 이하로 나타났다.

Sol-gel법에 의한 박막태양전지용 Cu2ZnSnS4 박막의 증착과 특성 (Characterization and deposition of Cu2ZnSnS4 film for thin solar cells via sol-gel method)

  • 김관태;이상현;박병옥
    • 한국결정성장학회지
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    • 제22권3호
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    • pp.127-133
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    • 2012
  • 박막 태양전지의 저가 고효율화를 실현하기 위해 넓은 면적의 기판 위에 코팅이 가능하며 진공의 유지가 필요가 없고 장치가 간단하며 고순도의 균질한 박막을 얻을 수 있고 박막의 조성을 쉽게 조절할 수 있는 Sol-Gel법을 이용하였다. Se보다 저가이며 독성이 없고 풍부한 원료인 S로 치환하여 사용하며 Zn/Sn비 값을 조절하고 kesterite 구조를 갖는 $Cu_2ZnSnS_4$의열처리 온도에 따른 박막의 구조적, 광학적 특성에 미치는 변수들의 영향을 알아보았다. XRD pattern을 관찰한 결과 Zn/Sn비가 0.8/1.2일 때 $2{\theta}=28.5^{\circ}$에서 주피크가 가장 강하게 나타났으며 (112) 방향의 배향성을 가진 kesterite 상임을 확인 할 수 있었다. 열처리 온도가 증가할수록 (112) 면의 강도가 커지며 $550^{\circ}C$에서 열처리를 한 $Cu_2ZnSnS_4$ 박막은 kesterite 구조의 화학량론적 $Cu_2ZnSnS_4$ 특징을 나타내고 본 실험의 샘플의 격자상수를 측정한 값이 a = 5.5047 and $c=11.014{\AA}$이며 JCPDS(Joint Committee on Powder Standards)에 보고된 데이터 a = 5.427 and $c=10.848{\AA}$과 거의 일치 하였다. 광학적 특성을 알아보기 위해 측정한 광투과율은 가시광선 영역(380~770 nm)에서 전체적으로 65 % 이하로 나타났다.

한반도 동남부 마이오세 포항분지 남서부(보문지역)의 지질구조와 확장형식 (Geological Structures and Extension Mode of the Southwestern Part(Bomun Area) of the Miocene Pohang Basin, SE Korea)

  • 송철우;김민철;임혜원;손문
    • 광물과 암석
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    • 제35권3호
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    • pp.235-258
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    • 2022
  • 한반도 동남부에서 가장 규모가 큰 마이오세 포항분지의 남서부를 대상으로 상세한 지질도 작성과 지질구조를 분석하여 분지 발달사를 해석하였다. 포항분지 남서부는 북북동 방향의 분지 내 지구내지루에 의해 기하와 변형사가 서로 다른 서쪽의 보문구역과 동쪽의 오천구역으로 나누어진다. 보문구역은 포항분지 초기 확장 이후 거의 변형되지 않은 반면, 오천구역은 충전물의 퇴적 이후에도 후기 변형이 지속·중첩된 지역이다. 따라서 보문구역은 포항분지 최초 확장 형식에 대한 중요한 정보를 제공한다. 보문구역은 북북동 방향의 정단층들과 북북서(북서) 방향의 우수향 주향이동단층 분절들이 지그재그로 이어진 서편 경계단층에 의해 침강이 주도되었으며, 이 경계단층은 남쪽으로 한반도 동남부 마이오세 지각변형의 서쪽 한계선이며 우수향 주향이동성 주변위대로 알려진 연일구조선과 연결된다. 따라서 포항분지는 17-16.5 Ma 경 활동을 시작한 연일구조선 북쪽 말단에 우향스텝 형태로 생성된 북북동 방향의 정단층 또는 사교이동단층에 의해 서북서-동남동 방향으로 확장된 횡인장단층말단분지로 최초 침강된 것으로 해석된다. 이로 인해 보문구역에는 서쪽으로 갈수록 분지의 깊이가 더 깊어지는 북북동 방향의 비대칭 지구 또는 반지구가 생성되었다. 이후 포항분지의 확장과 변형은 오천구역을 포함하는 보다 동편 지역으로 이동하였다.

석고(石膏)가 만성 신부전 Rat의 신기능 보호 및 조직학적 변화에 미치는 영향 (The Effects of Gypsum Fibrosum on Renal Functional and Histopathological Disorder in Chronic Renal Failure Rat Model)

  • 변상혁
    • 대한한방내과학회지
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    • 제29권4호
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    • pp.871-886
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    • 2008
  • Objective : Gypsum fibrosum has been traditionally used in treatment of febrile diseases and recently been shown to have anti-inflammatory effect. Chronic renal failure has a serious clinical symptoms including proteinuria, azotemia, anemia, and hyperlipidemia and has characteristic histopathological changes, glomerular hypertrophy, infiltration of inflammatory cells, and crescentic sclerosis, We investigated the effects of gypsum fibrosum on renal functional and histopathological disorder in chronic renal failure rat model induced 5/6 nephrectomy. Methods : Using Sprague-Dawley rats, CRF was induced by 5/6 nephrectomy. The rats were divided into 3 groups, normal, conrol, and gypsum administered orally with gypsum fibrosum 500mg/kg/day. Body weight, 24 hr proteinuria, hematologic analysis, and histological morphologic changes were followed up after 8 weeks. The glomerular macrophage/monocyte infiltration, $TGF-{\beta}_1$, type IV collagen, and angiotensin II type1 receptor($AT_1$) were evaluated by immunohistochemistry. Resuls : In the CRF control group, functional parameters and histopathologic changes clearly indicated the development of CRF. 24 hr proteinuria significantly increased in the CRF control group over the normal group, and serum creatinine level was lower in the gypsum group than in the control group, LDL-cholesterol was significantly lower in the gypsum group than in the control group. Morphological investigations showed a variety of characteristic features of CRF, glomerular hypertrophy, increasing cellular density of glomerulus, deposition of extra-cellular matrix, fibrotic change, and glomerular sclerosis in the control group, but in the gypsum group, these features diminished significantly. In observation of renal type IV collagen and $AT_1$ expression, positive area significantly increased in the control group over the normal group, and it significantly decreased in the gypsum group compared to the control group. Conclusions : Our findings suggest that gypsum fibrosum inhibits $AT_1$ and type IV collagen expression in renal tissues and attenuates progression of glomerulosclerosis and interstitial fibrosis in chronic renal failure rats, which lead to amelioration of renal function. From these results, we suggest that gypsum fibrosum may have renoprotective effects and could be a useful remedy agent for treating chronic renal failure.

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영상 처리기법을 이용한 오일의 왁스생성온도 측정 (Measurement of Wax Appearance Temperature Using Image Processing)

  • 황순혜;강판상;임종세
    • 에너지공학
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    • 제25권1호
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    • pp.1-8
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    • 2016
  • 저온환경에서 석유생산이 이루어질 경우 유동관, 라이저와 같은 석유생산시스템 내에서 온도에 민감한 왁스 고형물이 빈번히 집적되어 석유 이송을 방해하거나 배관을 막아 유동안정성 확보를 위한 시간 소모와 경제적 손실이 발생할 수 있다. 이러한 왁스 집적 문제를 제어하기 위해 오일 내 왁스가 처음 석출되기 시작하는 온도인 왁스생성온도를 사전에 파악하는 것이 중요하다. 기존 왁스생성온도 표준측정법은 왁스결정 석출로 인하여 변하는 시료의 혼탁도를 육안으로 확인하는 한계가 있으며, 오일의 연속적인 온도변화를 측정하기 어려워 정확도가 낮다. 이 연구에서는 오일의 왁스생성온도를 정확하게 측정하고자 왁스생성온도 측정 가시화 실험시스템을 통해 시간에 따라 온도를 감소시키며 왁스생성거동을 촬영하였다. 또한 영상 처리기법으로 투명 오일시료의 명도변화를 분석하여 왁스생성온도를 측정하였으며, 이를 표준측정법의 결과와 비교분석하였다.

공간정보오픈플랫폼 및 오픈 소스 기반의 노천광산 모니터링시스템 개발을 위한 환경 조성 (Development Environment for Open-pit Mine Monitoring System using Geospatial Open Platform and Open Source Software)

  • 이현직;김세열;유지호
    • 대한공간정보학회지
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    • 제22권4호
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    • pp.165-173
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    • 2014
  • 노천채굴방식의 광산은 갱내채광에 비해 비교적 작업이 안전하고 채수율이 높으며 생산 원가가 저렴하여 대량생산과 공급이 가능하다는 장점이 있으나 산림훼손, 폐석 및 광재(鑛滓)의 퇴적, 광미(鑛尾)의 배출, 분진, 폐수, 소음, 지반침하, 토사유출, 산사태 등의 환경재해 유발요인들을 내재하고 있어 대표적 환경규제의 대상으로 흔히 지적되고 있다. 이에 본 연구에서는 노천광산에 대한 지형 및 환경 변화에 따른 문제에 대처하고, 친환경 생태학적 광간의 개발 및 복원을 위해서는 노천광산에 대한 주기적이고 정확한 모니터링 기법과 시스템을 개발하고자 하였다. 이에 본 연구에서는 노천광산에 대한 지형 및 환경 변화에 따른 문제에 대처하고, 친환경 생태학적 광간의 개발 및 복원을 위해서는 노천광산에 대한 주기적이고 정확한 모니터링 기법과 이를 이용한 시스템의 개발이 요구된다. 이에 기 개발되어있는 공간정보 오픈 플랫폼과 오픈소스 GIS툴을 이용하여 노천광산 모니터링 시스템 개발 환경 조성을 하고자 한다.

용액 공정을 이용한 High-k 게이트 절연막을 갖는 고성능 InGaZnO Thin Film Transistors의 전기적 특성 평가

  • 소준환;박성표;이인규;이기훈;신건조;이세원;조원주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.339-339
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    • 2012
  • 지난 몇 년 동안, 투명 비정질 산화물 반도체는 유기 발광 다이오드, 플렉서블 전자 소자, 솔라 셀, 바이오 센서 등 많은 응용분야에 연구되고 있다. 투명 비정질 산화물 반도체 그룹들 중, 특히 비정질 IGZO 박막 트랜지스터는 비정질 상태임에도 불구하고 높은 이동도와 낮은 동작 전압으로 훌륭한 소자 특성을 보인다. 이러한 고성능의 IGZO 박막 트랜지스터는 RF 마그네트론 스퍼터링이나 pulsed laser deposition과 같은 고진공 장비를 이용하여 이미 여러 그룹에서 제작되고 발표되었다. 하지만 진공 증착 시스템은 제조 비용의 절감이나 디스플레이 패널의 대면적화에 큰 걸림돌이 되고 있고, 이러한 문제점을 극복하기 위해서 용액 공정은 하나의 해결책이 될 수 있다. 용액 공정의 가장 큰 장점으로는 저온 공정이 가능하기 때문에 글라스나 플라스틱 기판에서 대면적으로 제작할 수 있고 진공 장비가 필요없기 때문에 제조 비용을 획기적으로 절감시킬 수 있다. 본 연구에서는 high-k 게이트 절연막과 IGZO 채널 층을 용액 공정을 이용하여 박막 트랜지스터를 제작하고 그에 따른 전기적 특성을 분석하였다. IGZO의 몰 비율은 In, Ga, Zn 순으로 각각 0.2 mol, 0.1 mol, 0.1 mol로 제작하였고, high-k 게이트 절연막으로는 Al2O3, HfO2, ZrO2을 제작하였다. 또한, 용액 공정 IGZO TFT를 제작하기 전, 용액 공정 high-k 게이트 절연막 캐패시터를 제작하여 그 특성을 분석하였다. 다양한 용액 공정 high-k 게이트 절연막 중, 용액공정 HfO2를 이용한 IGZO TFT는 228.3 [mV/dec]의 subthreshold swing, 18.5 [$cm^2/V{\cdot}s$]의 유효 전계 이동도, $4.73{\times}106$의 온/오프 비율을 보여 매우 뛰어난 전기적 특성을 확인하였다.

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NH3 분위기 후열처리에 따른 SiC 기판 위에 성장된 HfO2 박막의 계면 변화 연구

  • 권세라;박현우;최민준;정권범
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.299-299
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    • 2016
  • SiC는 넓은 에너지갭 (Eg=~3.4 eV)을 갖는 반도체로써, 고전압, 고온에서 동작이 가능하여 기존의 Si기반의 파워디바이스를 대체하기 위한 물질로 많은 연구가 이루어지고 있다. 파워 디바이스의 성능 향상을 위해서는 기판과 절연체 사이의 계면에 생성되는 계면 결함을 감소시켜야 한다. 따라서 본 연구에서는 SiC 기판에 high-k 물질인 HfO2를 증착하여 HfO2/SiC 계면에 유도된 결함을 분석하고 이를 감소시킬 수 있는 방법에 대한 연구를 수행하였다. HfO2 박막은 atomic-layer-deposition (ALD) 방법을 이용하여 SiC 기판 위에 $200^{\circ}C$에서 증착하였다. HfO2 박막 증착 후 NH3 분위기에서 rapid thermal annealing 방법을 이용하여 $600^{\circ}C$에서 1분 동안 열처리 진행하였다. Current-voltage (I-V) 측정을 통해 열처리 전 HfO2/SiC의 절연파괴 전압이 약 8.3 V 임을 확인하였다. NH3 열처리 후 HfO2/SiC의 절연파괴 전압이 10 V로 증가하였으며 누설 전류가 크게 감소하는 것을 확인하였다. 또한 capacitance-voltage (C-V) 측정을 통해 열처리 후 flat band voltage가 negative 방향에서 positive 방향으로 이동함을 확인하였고, 이를 통해 NH3 열처리 방법이 HfO2/SiC 계면에 존재하는 결함을 감소시킬 수 있음을 확인하였다. 전자 구조상의 conduction band edge에 존재하는 결함 준위를 분석하기 위해 x-ray absorption spectroscopy (XAS) 분석을 실시하였고, 열처리 전 HfO2/SiC 계면에 많은 결함 준위가 존재함을 확인하였으며, x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) 분석을 통해 이 결함 준위가 oxygen deficiency state과 관련됨을 알 수 있었다. NH3 열처리 후 결과와 비교해보면, oxygen deficiency state가 감소함을 확인하였으며 이로 인해 conduction band edge에 존재하는 결함 준위가 감소함을 알 수 있었다. 따라서, NH3 열처리 방법을 이용하여 HfO2/SiC 계면에 존재하는 결함을 감소시킬 수 있으며, HfO2/SiC의 물리적, 전기적 특성을 향상시킬 수 있다는 결과를 도출하였다.

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