• Title/Summary/Keyword: Sb doped

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$SnO_2$박막저항의 전기적 특성에 미치는 첨가제의 영향 (Effect of Dopants on Electrical Properties of $SnO_2$Thin Film Resistors)

  • 구본급;강병돈
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제13권8호
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    • pp.658-666
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    • 2000
  • Sb and Sb-Fe doped SnO$_2$film resistors were prepared by spray pyrolysis technique. The effects of Sb and Sb-Fe addition on TCR and electrical properties of SnO$_2$film resistors were studied. Also the dependence of electrical properties on the substrate temperature and substrate-nozzle distance was investigated. The Sn-Sb system with 7.9 mol% SbCl$_3$(STO-406) and Sn-Sb-Fe systems with 7.3 mol% SbCl$_3$+7.3 mol% FeCl$_3$(STO-407) and with 3.4 mol% SbCl$_3$+7.7mol% FeCl$_3$(STO-408) were prepared. Both of the systems Sn-Sb and Sn-Sb-Fe represented nonlinearity of TCR with temperature. As the amount of Fe increased TCR was shifted to positive direction. Decreasing Sb or increasing Fe caused resistivity to increase. Also increasing Fe caused the crystallization degree of rutile structure in SnO$_2$film to decrease. The electrical resistivity decreased with increasing substrate temperature The resistivity decreased with increasing substrate-nozzle distance in the ranges from 15 to 25 cm and increased rapidly at the distance over 25cm.

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Thermoelectric Properties of Fe-doped $CoSb_3$ Prepared by Encapsulated Induction Melting and Hot Pressing

  • Park, Kwan-Ho;Kim, Mi-Jung;Jung, Jae-Yong;You, Sin-Wook;Lee, Jung-Il;Ur, Soon-Chul;Kim, Il-Ho
    • 한국분말야금학회:학술대회논문집
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    • 한국분말야금학회 2006년도 Extended Abstracts of 2006 POWDER METALLURGY World Congress Part 1
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    • pp.686-687
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    • 2006
  • The encapsulated induction melting and hot pressing were employed to prepare Fe-doped $CoSb_3$ skutterudites and their thermoelectric properties were investigated. Single phase $\delta-CoSb_3$ was successfully obtained by the subsequent heat treatment at 773K for 24 hours. Iron atoms acted as electron acceptors by substituting cobalt atoms. Thermoelectric properties were remarkably improved by the appropriate doping. $Co_{0.7}Fe_{0.3}Sb_3$ was found as an optimum composition for best thermoelectric properties in this work.

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상변화 메모리 응용을 위한 Sb-doped $Ge_{1}Se_{1}Te_{2}$ 박막의 특성 (The properties of Sb-doped $Ge_{1}Se_{1}Te_{2}$ thin films application for Phase-Change Random Access Memory)

  • 남기현;최혁;구용운;정홍배
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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    • pp.1329-1330
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    • 2007
  • Phase-change random access memory(PRAM) has many advantages compare with the existing memory. For example, fast programming speed, low programming voltage, high sensing margin, low power consume and long cyclability of read/write. Though it has many advantages, there are some points which must be improved. So, we invented and studied new constitution of $Ge_{1}Se_{1}Te_{2}$ chalcogenide material. Actually, the performance properties have been improved surprisingly. However, crystallization time was as long as ever for amorphization time. In this paper, we studied in order to make set operation time and reset operation voltage reduced. In the present work, by alloying Sb in $Ge_{1}Se_{1}Te_{2}$. we could confirm that improved its set operation time and reset operation voltage. As a result, the method of Sb-alloyed $Ge_{1}Se_{1}Te_{2}$ can be solution to decrease the set operation time and reset operation voltage.

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CO/HC 가스 인식을 위한 소형 전자코 시스템의 제작 및 특성 (Fabrication and Characterization of Portable Electronic Nose System for Identification of CO/HC Gases)

  • 홍형기;권철한;윤동현;김승렬;이규정;김인수;성영권
    • 센서학회지
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    • 제6권6호
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    • pp.476-482
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    • 1997
  • 주성분 분석 및 역전달 인공 신경망의 패턴 인식 기법과 산화물 반도체 가스센서 어레이를 사용한 소형 전자코 시스템을 제작하여 그 특성을 평가하였다. 센서 어레이로서 Pd가 첨가된 $WO_{3}$, Pt가 첨가된 $SnO_{2}$, $TiO_{2}-Sb_{2}O_{5}-Pd$가 첨가된 $SnO_{2}$, $TiO_{2}-Sb_{2}O_{5}-Pd$가 첨가된 후 Pd 코팅층이 형성된 $SnO_{2}$, $Al_{2}O_{3}$가 첨가된 ZnO 및 $PdCl_{2}$가 첨가된 $SnO_{2}$ 등의 6가지 조성의 감지재료가 사용되었다. 전자코 시스템 하드웨어는 CPU로서 16bit의 Intel 80c196kc, 시스템 동작 프로그램의 저장을 위한 EPROM, 인공 신경망의 최적화된 가중치의 다운로딩을 위한 EEPROM, 가스농도의 결과 표시를 위한 LCD 등으로 구성하였다. 시스템의 성능 평가를 위해 자동차에서 배출되는 환경오염 물질인 CO/HC 가스(CO 0%/HC 0 ppm 에서 CO 7.6%/HC 400 ppm 까지 범위의 26가지 CO/HC 혼합가스 패턴)에 대한 인식 실험 결과 우수한 특성을 얻을 수 있었다.

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Carbon이 첨가된 Ge-doped SbTe 상변화재료의 박막 및 소자 특성

  • 안형우;박영욱;오철;장강;정증현;이수연;정두석;김동환;정병기
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.55-55
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    • 2011
  • 질소 등을 GST225 상변화재료에 첨가시켜 비저항을 증가시킴으로서 PCRAM의 동작 전류를 감소시킨 연구가 선행된 바 있다. 본 연구에서는 GST225와 달리 고속 동작 특성을 갖는 것으로 널리 알려진 Ge-doped SbTe (GeST) 상변화 재료에 Carbon을 첨가하여 박막 특성을 연구하여 동작 전류 감소의 가능성을 타진하였다. 실험을 위한 박막 제작을 위해 2 inch size의 GeST 및 C doped GeST (C-GeST) single target을 이용하여 RF magnetron co-sputtering 하였다. 박막은 carbon이 첨가되지 않은 GeST와 carbon 첨가량이 늘어나는 순서로 C-GeST 1, C-GeST 2, C-GeST 3로 구성된다. 이 때 제작한 박막의 composition analysis를 위해 XRF/RBS/AES가 사용되었고 제작된 박막의 기본적인 특성평가를 위해 resistivity(${\rho}$)와 crystallzation temp.(Cx), surface morphology(AFM), x-ray diffraction pattern(XRD)를 측정하였다. 실험결과 GeST, C-GeST 1, C-GeST 2, C-GeST 3 박막의 Cx는 각각 209, 225, 233, $245^{\circ}C$로 측정되어 carbon 첨가량이 증가됨에 따라 결정화 온도가 증가되는 것을 알 수 있었다. 또한 ${\rho}$도 마찬가지로 annealing 온도를 약 $320^{\circ}C$로 할 경우 ${\rho}$(as-dep)와 ${\rho}$(crystalline) 모두 0.03 / $2.61*10^{-6}$, 0.08 / $7.93*10^{-6}$, 0.09 / $11.99*10^{-6}$, 0.13 / $13.49*10^{-6}{\Omega}{\cdot}m$로 증가하였다. 증가된 ${\rho}$의 원인이 박막의 grain size의 감소라고 단언 할 수는 없으나 AFM 측정결과 grain이라고 추측되는 박막 feature들의 size가 점차 감소하는 것을 확인하였다.

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PLD를 이용한 Antimony가 도핑된 p 형 ZnO 박막의 구현 (Realization of p-type Conduction in Antimony Doped ZnO Thin Films by PLD)

  • 배기열;이동욱;;이원재;배윤미;신병철;김일수
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제22권10호
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    • pp.814-820
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    • 2009
  • Antimony (Sb) doped ZnO thin films (0.1 at.%) were deposited on sapphire (0001) substrates at various temperatures (200 - 600$^{\circ}C$) by using pulsed laser deposition technique. All the thin films have been characterized by X-ray diffractometer, atomic force microscopy and spectrophotometer to investigate their structural, morphological and optical properties, respectively. Hall measurements were also carried out to identify the electrical properties of the thin films. These thin films were constituted in wurtzite structure with the preferential orientation of (002) diffraction plane and had as high as 80% optical transmission in the visible range. The bandgap energy also was determined by spectrophotometer which was around 3.28 eV. Hall measurements results revealed that the Sb dope ZnO thin film (0.1 at.%) grown at $500^{\circ}C$ exhibited p-type conduction with a carrier concentration of $8.633\times10^{16}\;cm^{-3}$, a mobility of $1.41\;cm^2/V{\cdot}s$ and a resistivity of $51.8\;\Omega{\cdot}cm$. We have successfully achieved p-type conduction in antimony doped ZnO thin films with low doping level even though the electrical properties are not favorable. This paper suggests the feasibility of p-type doping with large-size-mismatched dopant by using pulsed laser deposition.

압출-소결법으로 제조된 $(Bi,Sb)_2(Te,Se)_3$계 열전재료의 특성 (Properties $(Bi,Sb)_2(Te,Se)_3$-based Thermoelectrics Prepared by the Extrusion-Sintering Process)

  • 지철원;김일호;이동희
    • 한국재료학회지
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    • 제9권5호
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    • pp.520-527
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    • 1999
  • 열전 소결재 제조의 새로운 시도로, 분말의 압출과 소결을 동시에 할 수 있는 공정에 대하여 연구하였다. $(Bi,Sb)_2(Te,Se)_3$계 압출-소결재를 제조함에 있어 제조 변수를 적절히 조절하여 건전한 표면과 미세조직을 갖는 고밀도의 소결재를 얻을 수 있었다. p형 재료의 경우 Te 도핑량이 증가함에 따라 Seebeck 계수가 증가하였으며 3 at% Te을 첨가한 경우 상온에서의 열전 성능 지수가 $2.5\times10^{-3}/K$를 나타내었다. 한편 n형 재료의 경우 0.16 mol% $SbI_3$를 도핑한 시편에서 $1.8\times10^{-3}/K$의 열전 성능지수를 보였다. p형 및 n형 재료 모두 압출 방향에 수직한 방향보다 평행한 방향으로의 운반자 이동도와 열전 성능지수가 높게 나타났다.

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