Fabrication of $100{\mu}m$ thick mold and electroplating using thick photoresist
(후막 감광제를 이용한 $100{\mu}m$ 두께 몰드 제작과 전해도금)
-
- Proceedings of the KIEE Conference
- /
- 2002.07c
- /
- pp.2008-2010
- /
- 2002