Effect of Heat Treatment Condition at $ZrO_2$ Buffer Layer for Electrical Properties of $Pt/SrBi_2Ta_2O_9/ZrO_2/Si$ Structure
(($ZrO_2$ 완충층의 후열처리 조건에 따른 $Pt/SrBi_2Ta_2O_9/ZrO_2/Si$ 구조의 전기적 특성)
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- Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
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- 2002.10a
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- pp.192.1-192
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- 2002