• 대한기계학회논문집A
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• 제33권8호
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• pp.793-798
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• 2009

In this paper, the simulation and optimization of SRH (Surface Relief Hologram) masks for printing LCD gate patterns using TIR (Total Internal Reflection) holographic lithography was investigated. A simulation and optimization algorithm based on SDTA (Scalar Diffraction Theory Analysis) method was developed. The accuracy of the algorithm was compared to that of the RCWA (Rigorous Coupled Wave Analysis) method for estimating the Fresnel diffraction pattern of Cr amplitude masks for the given system geometry. In addition, the results from the optimization algorithm were validated experimentally. It was found that one to the most important conditions for the fabrication of SRH masks is to avoid nonlinear shape distortions of the resulting grating. These distortions can be avoided by designing SRH masks with recorded gratings having small aspect ratios of width versus depth. The optimum gap size between the Cr and SRH masks was found using the optimization algorithm. A printed LCD gate pattern with a minimum line width of $1.5{\mu}m$ exposed using the optimized SRH mask was experimentally demonstrated.

• 한국관개배수회지
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• 37호
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• pp.14-15
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• 2007

"국제농업정보교류 포럼"은 2006년 10월 5일, 농림부, 농촌진흥청, 한국농촌공사, 대학, 관련 연구소등의 각 분야 전문가 20명을 운영위원으로 구성하여 개인간, 조직간 네트워킹을 통하여 국제농업에 대한 공동협력을 추구하고자 출발하였다. 이 포럼이 주관이 되어 2006년 11월 7일 "ICID 콸라룸푸르회의 및 제3차 INWEPF 운영위원회의" 참가 결과보고회를 개최하였으며, 2007년 2월 7일-9일 일정으로 "한.일 실무급 농촌개발 전문가 워크숍"을 개최하였다. 또한 오는 7월 2일부터 4일까지 우리나라에서 "INWEPF & ICID WG-SDTA공동 워크숍"을 개최할 예정이다. 현재 67명의 회원들이 가입하여 참여하고 있으며, 한국농촌공사 농어촌연구원 국제학술교류팀에서 운영관리하고 있다.