Shape Error and Its Compensation in the Fabrication of Microlens Array Using Photoresist Thermal Reflow Method (Photoresist thermal reflow 방법을 이용하여 제작한 마이크로렌즈 어레이의 형상 관련 오차 및 이에 대한 보정)
-
- Journal of the Microelectronics and Packaging Society
- /
- v.20 no.2
- /
- pp.23-28
- /
- 2013