Conductive and Mechanical Properties Study of Ti-doped DLC (ta-C:Ti) Film on Semiconductor Probe through Taguchi Bobust Design (다구찌 강건 설계를 통한 반도체 Probe상 Ti 도핑된 DLC(ta-C:Ti) 코팅 막의 전도성 및 기계적 물성 연구)
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- Tribology and Lubricants
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- v.38 no.6
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- pp.274-280
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- 2022