• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 1991년도 제6회 파동 및 레이저 학술발표회 Prodeedings of 6th Conference on Waves and Lasers
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• pp.88-89
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• 1991

For the micro-lithography using a KrF excimer laser beam(λ=0.248${\mu}{\textrm}{m}$) a mirror system consisting of four spherical surfaces with reduction magnification 5$\times$ is designed. Initially the aplanat condition of the mirror system is considered. And for the further improved performance of the system the distortion free condition and flat field condition within Seidel 3rd order aberrations are added to the above condition. During the process of designing the computer-aided optimization technique is extensively employed. The spherical aberration, coma, field curvature and distortion of the optimized four-spherical mirror system are removed to the diffraction limit, and residual astigmatism and off-axial vignetting are not corrected enough.

• 한국안광학회지
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• 제5권2호
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• pp.59-64
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• 2000

각막골률계로 측정한 결과 각막난시가 최소한 0.75D 이상인 58명을 선정하여 RGP 구면렌즈를 3개월간 착용시켜 조사했는데 이 중 35명은 각막난시가 1.50D 이상이었다. 환자의 방문 스케줄은 대상자를 시력검사, 각막 굴절력(K값) 및 세극등 현미경 검사로 적합한 렌즈를 피팅한 다음, 1주일, 그 후 1개월 간격으로 방문하게 하여 검사하였는데 방문할 때마다 렌즈를 착용한 시력검사, overrefraction, overkeratometry 및 세극등 검사를 하고 렌즈의 움직임, 렌즈의 위치와 렌즈의 표면상태 등을 기록했다. 대상자 전원을 착용기간에 세극등으로 CCC(central corneal clouding) 분류한 결과 각막부종과 신생혈관은 전혀 나타나지 않았다. 각막에 플루오레션 stain 반응을 한 결과 52명이 grade 0.5 상태를 보였고, 5명이 grade 1 및 1명이 grade 2로 판정되었다. Overrefraction에서 렌즈를 착용하기전과 착용후의 잔류난시는 처음 피팅할 때는 41%, 1주일 후는 34%, 1개월 후는 30%, 2개월 후는 29%로 나타난 결과로 보아 1개월 이후는 변화가 거의 없음을 알 수 있었다. 절대 굴절력에서 평균 overrefraction은 처음 피팅했을 때는 0.26D이었고, 1주일 후는 0.22D, 1개월 후는 0.17D 및 2개월 후는 0.16D를 보였다. 또한 관리용액은 다목적 용액을 주로 사용하고 있었고 각 용도에 맞는 용품에 비해 그 기능이 저하됨을 알았다.

• 한국안광학회지
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• 제18권2호
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• pp.143-148
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• 2013

목적: 백내장 수술을 받은 대상자에서 성별, 연령별 분포, 사용된 인공수정체의 종류 및 수술 후의 굴절상태를 조사하고자 하였다. 방법: 2010부터 2012년까지 백내장 수술을 받고 충북 소재 안경원에 내원한 고객 2,217명을 대상으로 본 연구를 실시하였다. 문진 및 자동굴절력계에 의한 인공수정체 반사상과 역반사조명으로 수술 여부와 인공수정체의 종류를 확인하였고 타각적, 자각적 굴절검사를 실시하여 굴절상태를 결정하였다. 결과: 대상자의 평균 나이는 $71.74{\pm}10.62$세이었으며, 백내장 수술은 2010년 524명에서 2012년 888명으로 증가하였다. 백내장 수술을 받은 나이는 40대 이하 52명(2.3%), 50대 144명(6.5%), 60대 404명(18.2%), 70대 1,132명(51.1%), 80대 이상 485명(21.9%)으로 나타났다. 성별에 따른 백내장 수술 분포는 여자가 1,338명(60.4%), 남자 879명(39.6%)로 여성이 남성보다 높았다. 백내장 수술 시 사용된 인공수정체는 대부분 단초점 인공수정체로 2,141명(96.6%)이었으며, 다초점, 조절성, 토릭 렌즈와 같은 특수 인공수정체가 76명(3.4%)으로 조사되었다. 백내장 수술 후 잔여 굴절이상은 근시성단난시 1,588안(38.5%), 원시성 단난시 327안(7.9%), 혼합난시 601안(14.6%), 근시 1,240안(30.0%), 원시 136안(3.3%), 정시 234안(5.7%)이었다. 수술 후 나안시력 평균은 $0.55{\pm}0.25$이었으며 최대교정시력 평균은 $0.80{\pm}0.23$로 조사되었다. 결론: 백내장 수술은 70대까지는 증가하는 경향을 보였고, 여자가 남자보다 더 많았으며, 특수 인공수정체의 시술 빈도는 낮았다. 백내장 수술에서 대부분 잔여 굴절이상을 보였으며, 따라서 백내장 수술 후에 원거리 또는 근거리 시력 개선을 위해 안경이 필요할 것이다.

• 한국광학회지
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• 제6권3호
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• pp.188-200
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• 1995

파장 13nm의 연 X-선을 사용하여 초고밀도 반도체 칩을 네작할 수 있는 고분해능의 투사 결상용 2-반사경계(배율=1)을 설계하였다. 등배율(1:1)의 광학계는 holosymmetric system으로 구성하였을 때 코마와 왜곡수차가 완전히 제거되는 이점을 갖는다. 2-반사경 holosymmetric system에서 추가적으로 구면수차를 제거하기 위해 두 반사경을 동일한 포물면으로 만들고 두 반사경 사이 거리를 조절하여 비점수차와 Petzval 합이 상쇄되게 함으로써 상면만곡 수차를 보정하였다. 이렇게 구한 aplanat flat-field 포물면 2-반사경 holosymmetric system은 크기가 작고 광축회전대칭의 간단한 구조를 가지면 중앙부 차폐가 아주 작다는 특징을 갖고 있다. 이 반사경계에 대해 잔류 수차, spot diagrams, 회절효과가 고려된 NTF의 분석 등을 통해 연 X-선 리소그라피용 투사 광학계로서의 성능이 조사된 결과, $0.25\mum$및. $0.18\mum$의 해상도가 얻어지는 상의 최대 크기가 각각 4.0mm, 2.5mm로 구해졌고 초점심도는 각각 $2.5.\mu$m, $2.4.\mum$로 얻어졌다. 그러므로 이 반사경계는 256Mega DRAM 및 1Giga DRAM의 반도체 칩 제작의 연구에 응용될 수 있다.