• 제목/요약/키워드: Reactive surface

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SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$ 박막에 있어서 Ar/C1$_2$가스의 비율 및 RF/DC Power Density의 변화에 따른 수직 식각의 특성연구 (Vortical Etching Characteristics of SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$ thin Films Depending on Ar/Cl$_2$ Ratios and RF/DC Power Densities)

  • 황광명;이창우;김성일;김용태;권영석;심선일
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제8권3호
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    • pp.49-53
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    • 2001
  • 유도결합형 플라즈마 (ICP-RIE) 장치를 이용하여 SBT ($SrBi_2Ta_2O_9$)/Si의 수직식각 실험을 하였다. 이와 같은 실험의 목적은 수직 단면구조의 강유전체 gate구조 및 capacitor 제조에 있어서 유효면적을 확보하고 parasitic effect를 최소화 하는 기술이 우수한 소자 특성을 얻기 위해 매우 중요한 기술이기 때문이다. $Ar/C1_2$를 반응가스로 사용하였으며 $Ar/C1_2$유량비를 각각 1, 0.8, 0.6, 0.4로 바꾸어 가면서 각 유량비에 대해 RF power를 700, 600, 500W로 변화시키는 동안 DC power를 각각 200, 150, 100, 50 W로 변화시키면서 식각 실험을 하였다. 식각조건 변화에 따른 수직 및 수평 식각율, 선택식각율, 감광막의 보호성, 리소그라피 조건에 따른 식각율 및 식각단면 구조의 특성, 식각율 변화에 따른 패턴 크기의 변화, SBT의 식각 단면 특성 등을 조사하였다. $Ar/C1_2$유량비가 0.8, RF power 700 W, DC power 200 W 일 때 식각속도는 1050 A/min으로 최적의 식각율을 확인하였다. 그리고 주사전자현미경의 관찰 결과 수 적도는 $82^{\circ}C$ 정도로 매우 양호함을 알 수 있었다.

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배전기기 외함 부착방지 및 자기세정 코팅기술 개발 및 현장실증 (Development and the Long-Term Test of Anti-Adhesion Surface Coating Technology on Electric Power Distribution Equipment)

  • 심명진;손송호;서지훈;한상철
    • KEPCO Journal on Electric Power and Energy
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    • 제6권3호
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    • pp.285-288
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    • 2020
  • 전력수요가 많은 도심지역의 전력설비 설치가 늘어남에 따라 다수의 배전용 개폐기, 변압기와 같은 지상기기들이 보도에 설치되어 있다. 도심지역의 경우 매우 가혹한 환경(불법광고물 부착, 자동차 매연, 부식, UV 열화, 오염 등)으로 인해서 0.5-5년 내에 거리의 흉물로 변하고 있다. 불법광고물 무단 부착, 부식, 자동차 매연 및 오염, UV 열화로부터 환경친화형 배전기기를 운영하기 위해서는 광고물 부착방지, 방식, 내구성 향상, 미관 개선 기능의 현장 적용이 가능한 생체모방코팅소재 제조기술과 도포 기술 개발을 필요로 한다. 따라서 도막 경도가 단단한 실리콘레진 기반 도료를 개발하여 부착방지 및 낙서방지 기능 뿐만 아니라 도막 경도를 향상시키는 것으로 박리 현상을 저하시킬 수 있는 도료를 개발했다. 개발된 코팅제는 한국전력공사 대덕유성지사와 공동으로 노은 및 지족동 일대 배전기기 외함 9개소를 대상으로 현장 장기 실증시험을 통한 장기 내구성평가를 진행했다. 전력기기 생체모방 코팅기술은 다양한 손상 환경에 따라서 그 조건에 맞는 최적의 코팅 물질 및 공정 개발이 가능하다. 지속적인 코팅기술 업그레이드로 원천기술 및 지적재산권을 획득하고 전국의 설치된 기기로부터 장기실증 데이터를 취득함으로써 전력기기 운영/정비/보수 시장에 진출하여 경쟁력 있는 사업화의 기반 마련이 가능할 것으로 전망한다.

제올라이트 및 활성 황토를 혼입한 모르타르의 역학적 특성 평가 (Evaluation of Mechanical Properties of Mortar Mixed with Zeolites and Active Hwangtoh)

  • 권성준;임희섭;김혁중;현정환
    • 한국건설순환자원학회논문집
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    • 제7권4호
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    • pp.405-412
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    • 2019
  • 본 연구에서는 다공성 특성을 갖는 제올라이트와 활성 황토를 대상으로 시멘트 대체 혼화재로 20%, 30%, 40%로 치환하여 모르타르의 물리적 특성 및 미세 분석을 통한 화학적 특성을 평가하였다. 먼저, 제올라이트 및 활성 황토 재료의 물리적, 화학적 특성을 검토한 결과 시멘트의 비표면적이 비슷함을 확인 할 수 있었으며, 주요 화학 조성이 SiO2, Al2O3, Fe2O3 등으로 나타남에 따라 포졸란 반응성 재료의 특성을 갖는 것을 확인하였다. 시멘트 대비 치환량에 따른 강도시험 결과 제올라이트 및 활성 황토의 치환량 증가에 따라 강도는 저감하는 것을 확인 하였으며, 20% 치환 배합에서는 OPC 대비 강도 발현이 높은 것을 확인하였다. 미세분석 실험을 통해 제올라이트 및 활성 황토의 화학 특성으로 공극량이 증가함을 확인하였으며, 특히 활성 황토를 혼입한 모르타르에서는 공극크기가 1㎛ 이상이 다량 발생하였다.

중금속 흡착을 위한 원위치 피복소재로서 천연제올라이트의 양이온교환용량에 따른 적용성 평가 (Applicability of Natural Zeolite with Different Cation Exchange Capacity as In-situ Capping Materials for Adsorbing Heavy Metals)

  • 강구;신원호;홍성구;김영기;박성직
    • 대한환경공학회지
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    • 제39권2호
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    • pp.51-58
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    • 2017
  • 본 연구에서는 오염퇴적물의 원위치 피복을 위한 소재의 적용성 평가를 위해 양이온교환용량이 다른 제올라이트의 중금속 흡착특성을 평가하였다. 실험을 위해 양이온교환용량이 높은 제올라이트(HCzeo, 163.74 cmol/kg), 중간 값의 양이온교환용량의 제올라이트(MCzeo, 127.20 cmol/kg), 양이온교환용량이 낮은 제올라이트(LCzeo, 70.62 cmol/kg)를 사용하였다. 비표면적을 측정한 결과 HCzeo ($59.43m^2/g$) > MCzeo ($52.10m^2/g$) > LCzeo ($10.12m^2/g$)순으로 높은 결과를 나타내었다. 광물학적 조성 분석을 위해 XRD 측정결과 LCzeo는 quartz와 albite로 구성되었고 MCzeo와 HCzeo의 구성광물은 quartz, albite와 더불어 clinoptilolite, heulandite, mordenite도 측정되었다. HCzeo, MCzeo, LCzeo를 이용한 Cd, Cu, Ni, Zn의 동역학적 흡착실험 결과 실험 6시간대에 흡착 평형에 도달하였다. 평형흡착실험 결과 Cd과 Zn의 흡착은 제올라이트의 양이온교환용량에 따라 증가하였지만 Cu와 Ni의 흡착은 양이온교환용량에 따라 증가하는 경향을 보이지 않았다. 이에 따라 오염퇴적물의 원위치 피복적용에 있어 Cd과 Zn으로 오염된 지역은 양이온교환용량이 높은 제올라이트의 피복적용이 효과적이지만 Cu와 Ni로 오염된 지역의 경우 가격이 저렴한 양이온교환용량이 낮은 제올라이트를 적용하여도 무방할 것으로 판단된다.

규산염질 암석으로 구성된 석조문화재의 산성비에 의한 손상 임상연구 (Modeling Study on Deterioration of Stone Monuments Constructed with Silicate Rock by Acid Rain)

  • 도진영;조현구
    • 한국광물학회지
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    • 제23권1호
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    • pp.63-71
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    • 2010
  • 경주지역 석조문화재 구성암석으로 사용된 경주남산화강암과 석영안산암질 응회암의 산성비에 따른 손상을 예측하기 위하여 인공강우와 인공풍화시험을 적용하였다. pH 4.0 강우는 반응초기에 화강암시편의 표변에 노출된 신선한 광물 입자와 가수분해반응에 의하여 중화되나, 곧 초기산성도로 돌아갔다. 반면 pH 5.6 강우는 경주남산화강암과 반응 시 오랜 시간 동안 중성을 유지하였는데, 약한 산성도로 인하여 암석의 구성 광물이 천천히 지속적으로 가수분해되어 나타나는 결과로 보인다. 풍화된 경주남산화강암과 반응한 산성비의 산성도는 pH 5.6 강우의 경우 선선한 암석에 비해 더 오랫동안 중성을 유지하였다. 응회암과 반응한 산성비는 전체적으로는 화강암과 유사한 경향을 보이나, pH 4.0 강우의 산성도가 낮아지는 시점이 화강암에 비해 늦다. 이는 응회암과 화강암의 조직과 구성광물성분이 다르기 때문이며, 미립 내지 유리질 석기가 많은 응회암이 화강암에 비해 강우와 반응하는 성분이 더 많아서 이러한 차이를 나타낸다. 무게감소율과 강도감소율을 예측한 결과, 신선한 경주남산화강암 보다 응회암이 같은 조건의 환경에서 2배 가까이 감소하였다.

(hfac)Cu(vtmos)의 액체분사법에 의한 TiN 기판상 구리박막의 유기금속 화학증착 특성 (Metalorganic Chemical Vapor Deposition of Copper Films on TiN Substrates Using Direct Liquid Injection of (hfac)Cu(vtmos) Precursor)

  • 전치훈;김윤태;김대룡
    • 한국재료학회지
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    • 제9권12호
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    • pp.1196-1204
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    • 1999
  • (hfac)Cu(vtmos) [$C_{10}H_{13}O_{5}CuF_{6}$Si: 1,1,1,5,5,5-hexafluoro-2,4- pentadionato (vinyltrimethoxysilane) copper (I)] 구리원을 액체분사법으로 공급하여 반응성 스퍼터 증착된 PVD-TiN과 급속열처리 변환된 RTP-TiN 기판상에 구리를 유기금속 화학증착법으로 성장시키고, 증착조건과 기판 종류가 박막의 증착율, 결정구조 및 미세조직, 전기비저항 등에 미치는 영향을 분석하였다. 구리원 유량 0.2ccm에서 증착반응은 Ar 유량 200sccm까지 물질전달 지배과정과 전압 1.0Torr 이상에서 기화기에서의 공급율속을 보였다. 전압 0.6Torr일 때 활성화에너지는 155~225$^{\circ}C$의 표면반응 지배영역에서 12.7~14.1kcal/mol의 값을 나타내었으며, 225$^{\circ}C$ 이상의 기판온도에서는 $H_2$ 첨가에 따른 증착율 개선이 간응한 것으로 판단되었다. 증착층은 기판온도 증가에 따라 3차원 island 양식으로 성장하였으며, 증착초기 구리 핵생성밀도가 큰 RTP-TiN상 증착층이 PVD-TiN상보다 현저한 (111) 우선방위와 낮은 전기비저항값을 나타내었다. 구리박막의 전기비저항은 결정립간 연결성이 양호한 165$^{\circ}C$에서 가장 낮았으며, 증착온도에 따른 박막 미세구조 변화로 인해 그 거동은 3개의 영역으로 구분되어 나타났다.

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비육기간이 홀스타인육 패티의 산화안정성에 미치는 영향 (Effect of Fattening Period on the Oxidative Stability of Holstein Beef Patties)

  • 김종인;강선문;강근호;성필남;정석근;박범영;김천제;조수현
    • 한국축산식품학회지
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    • 제32권4호
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    • pp.491-496
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    • 2012
  • 본 연구는 비육기간이 홀스타인육 패티의 산화안정성에 미치는 영향에 관해 구명하고자 실시하였다. 18, 21 및 24개월령 홀스타인 거세우 등심(M. longissimus dorsi) 패티를 $4^{\circ}C$에서 12일간 저장하면서 지방산화, 단백질산화, 육색소산화 및 육색을 분석하였다. 일반성분 중 지방 함량은 24개월령이 18개월령보다 높았다(p<0.05). 저장 중 TBARS 함량과 metmyoglobin 농도는 8일째부터 24개월령이 높았다(p<0.05). Conjugated dienes 함량은 저장 4일째부터 21과 24개월령이 높았으며(p<0.05), carbonyl 함량은 12일째에 24개월령이 높았다(p<0.05). 표면육색 중 명도($L^*$)는 저장 4일째부터 21과 24개월령이 낮은 경향을 보였다. 적색도($a^*$)는 24개월령이 저장기간 동안 가장 빨리 감소하였으나 (p<0.05), 황색도($b^*$)는 가장 높은 값을 유지하였다. 따라서 비육기간이 높을수록 홀스타인육 패티의 지방산화, 단백질산화, 육색소 산화가 촉진되었다. 특히 24개월령의 산화안정성이 가장 낮았다.

감마선 조사가 건조발효햄의 저장기간 중 이화학적 특성에 미치는 영향 (Effect of Irradiation on Physicochemical Characteristics of Dry-Cured Ham During Storage)

  • 진상근;전용균;허인철;이중근;정진연
    • 농업생명과학연구
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    • 제45권1호
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    • pp.89-99
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    • 2011
  • 진공포장 한 건조발효햄에 감마선을 조사 (0, 2.5, 5, 7.5, 10 kGy)하여 저장 3개월 동안 이화학적 품질 (육색, 지방산패도, 염기태 질소화합물, pH) 및 미생물 (총균, 유산균) 생육특성을 평가하였다. 감마선 조사는 선량이 높을수록 시료의 표면 육색인 적색도 (a*)와 관능적 육색 및 기호도를 저하시켰다. 반면에 pH, 지방산패도, 염기태 질소화합물, 수분활성도에 큰 영향을 미치지 않은 것으로 나타났다. 미생물적 측면에서는 감마선 조사 수준이 높을수록 미생물학적 품질이 개선되었다. 관능적 측면인 풍미에서는 저장기간 및 처리구간에 유의적 차이는 나타나지 않았지만 육색 측면에서는 5 kGy 이상에서는 낮은 평점을 나타내었다. 따라서 건조발효햄의 저장기간을 고려할 때 미생물학적 및 이화학적 품질은 5 kGy 수준의 감마선 조사에 의해 개선되는 것으로 나타났다.

파편화 효과와 결정립 가변 전환시간을 고려한 Crackling Core Model의 개선 : UO2 구형 입자의 산화거동으로의 적용 (Revised Crackling Core Model Accounting for Fragmentation Effect and Variable Grain Conversion Time : Application to UO2 Sphere Oxidation)

  • 이주호;조용준
    • 방사성폐기물학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.411-420
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    • 2018
  • 공기 분위기하 $UO_2$의 독특한 산화거동을 모사하기 위해 기존 Crackling Core Model (CCM)을 개선하였다. $UO_2$$U_3O_8$으로 전환될 때 시간-전환율 곡선에서 나타나는 실험적 sigmoid 거동을 근사하게 재현할 수 있도록 모델 개선에 파편화 효과로 인한 반응 표면적 증대 및 결정립 가변 전환시간 개념을 고려하였다. $UO_2$$U_3O_7$을 거쳐 $U_3O_8$으로 전환되며 최종 결정립 산화소요 시간은 초기 결정립 산화 소요 시간의 10배에 해당한다는 가정을 도입했을 때, 개선된 모델은 599 - 674 K에서의 $UO_2$ 구형 입자의 실험적 산화거동과 근사한 계산결과를 나타내었으며 핵종성장모델(Nucleation and Growth Model) 및 자촉매반응모델(AutoCatalytic Reaction Model)과 비교할 때 가장 작은 오차를 보여주었다. 개선된 모델을 통해 $U_3O_8$으로의 100% 전환시 계산된 활성화에너지값은 $57.6kJ{\cdot}mol^{-1}$로 자촉매반응모델로 계산된 값인 $48.6kJ{\cdot}mol^{-1}$보다 크며, 외삽에 의해 결정된 실험값에 더 근사함이 밝혀졌다.

Fates of water and salts in non-aqueous solvents for directional solvent extraction desalination: Effects of chemical structures of the solvents

  • Choi, Ohkyung;Kim, Minsup;Cho, Art E.;Choi, Young Chul;Kim, Gyu Dong;Kim, Dooil;Lee, Jae Woo
    • Membrane and Water Treatment
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    • 제10권3호
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    • pp.207-212
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    • 2019
  • Non-aqueous solvents (NASs) are generally known to be barely miscible, and reactive with polar compounds, such as water. However, water can interact with some NASs, which can be used as a new means for water recovery from saline water. This study explored the fate of water and salt in NAS, when saline water is mixed with NAS. Three amine solvents were selected as NAS. They had the same molecular formula, but were differentiated by their molecular structures, as follows: 1) NAS 'A' having the hydrophilic group ($NH_2$) at the end of the straight carbon chain, 2) NAS 'B' with symmetrical structure and having the hydrophilic group (NH) at the middle of the straight carbon chain, 3) NAS 'C' having the hydrophilic group ($NH_2$) at the end of the straight carbon chain but possessing a hydrophobic ethyl branch in the middle of the structure. In batch experiments, 0.5 M NaCl water was blended with NASs, and then water and salt content in the NAS were individually measured. Water absorption efficiencies by NAS 'B' and 'C' were 3.8 and 10.7%, respectively. However, salt rejection efficiency was 98.9% and 58.2%, respectively. NAS 'A' exhibited a higher water absorption efficiency of 35.6%, despite a worse salt rejection efficiency of 24.7%. Molecular dynamic (MD) simulation showed the different interactions of water and salts with each NAS. NAS 'A' formed lattice structured clusters, with the hydrophilic group located outside, and captured a large numbers of water molecules, together with salt ions, inside the cluster pockets. NAS 'B' formed a planar-shaped cluster, where only some water molecules, but no salt ions, migrated to the NAS cluster. NAS 'C', with an ethyl group branch, formed a cluster shaped similarly to that of 'B'; however, the boundary surface of the cluster looked higher than that of 'C', due to the branch structure in solvent. The MD simulation was helpful for understanding the experimental results for water absorption and salt rejection, by demonstrating the various interactions between water molecules and the salts, with the different NAS types.