Growth and Electrical Characteristics of Ultrathin $SiO_2$ Film Formed in an Electron Cyclotron Resonance Oxygen Plasma
(ECR 산소 플라즈마에 의한 $SiO_2$ 박막의 성장 거동 및 전기적 특성)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.32 no.3
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- pp.371-377
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- 1995