• 한국정밀공학회지
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• 제19권4호
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• pp.195-201
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• 2002

We propose a new scheme of high-resolution heterodyne interferometer that employs the two-axial mode He-Ne laser with an inter-mode beat frequency of 600~1000 MHz. An electronic RF-heterodyne circuit lowers the beat frequency down to 5 MHz, so that the phase change of the interferometer output is precisely measured with a displacement resolution of 0.1 nanometer without significant loss of dynamic bandwidth. A thermal control scheme is adopted to stabilize the cavity length with ainus to suppress frequency drifts caused by the phenomena of frequency pulling and polarization anisotropy of the two-axial made laser to a stability level of 2 parts in $10^9$. The two-axial mode HeNe laser yields a high output power of 2.0 mW, which allows us to perform multiple measurements of up to 10 machine axes simultaneously.

• 한국광학회지
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• 제3권4호
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• pp.234-238
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• 1992

금속과 판유리를 이용한 도파관 탄산가스 레이저를 제작하고 출력특성을 조사하였다. 도파관의 길이는 50cm, 내부 단면적은 $6\times 6\ttextrm{mm}^{2}$이며 13.56MHz의 고주파로 횡여기시키는 방식이다. 가스 밀폐형으로 동작될 때 입력전력과 가스압력 변화에 의한 레이저 출력의 측정 결과 가스 분압비 $He:CO_{2}:N_{2}:Xe= 6:1:2:1$, 전체 가스압력 50Torr, 고주파 입럭전력이 180W인 조건에서 최대출력 9.5W로 발진하고 있다.

• 한국광학회지
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• 제15권4호
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• pp.337-342
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• 2004

본 연구에서는 opto-Hertzian 효과를 이용하여 고주파 여기식 슬랩형 $CO_2$ 레이저의 출력을 안정화하였다. 슬랩레이저 공진기속의 복사선 세기가 변화할 때 opto-Hertzian 효과에 의해서 공진기의 방전 임피던스도 함께 변화한다. 이에 따라 공진기로 입사 또는 반사되는 고주파 에너지 값도 변화한다. 이 같은 변화를 결합 루프를 통해 검출하여 고주파 성분을 제거한 후 록인 안정기에서 발생시킨 오차신호를 기준신호로 사용하여 슬랩 레이저의 출력을 안정화하였다. 본 방법으로 안정화된 레이저의 출력 변동률이 0.2%로 개선됨을 확인하였다.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
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• 한국추진공학회 2004년도 제22회 춘계학술대회논문집
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• pp.251-256
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• 2004

A concept in which laser-sustained plasmas (LSPs) are combined with inductively coupled plasmas (ICPs) is proposed. The concept is aiming at extensions of operative conditions of a CW laser thruster due to the fact that the ICP has some characteristics which are in contrast to those of LSPs. An estimation confirmed that the concept would effectively work. And a fundamental experiment was conducted. The results showed that the radio frequency magnetic field induced by a alternate current of 13.56 MHz coupled inductively with LSPs, resulting in the enlargement of the plasma region and the attainment of the enthalpy. It is expected that some improvements will enable to transfer the RF power to the work gas more effectively and to demonstrate the synergy effect between the LSPs and the ICPs.

• 전자공학회논문지A
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• 제31A권2호
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• pp.81-87
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• 1994

We used IR laser inteferometric technique for measuring the temperature of wafer during cryogenic ECR etching. Using this technique, the effect of RF bias power and microwave power on the wafer temperature during etching period is investigated. As the RF bias power and microwave power was increased, the temperature of the wafer considerably increased and we concluded that to prevent the increase of substrate temperature during etching period, an adequate wafer cooling is needed.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국해양정보통신학회 2003년도 춘계종합학술대회
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• pp.424-428
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• 2003

고주파 여기 방식의 슬랩 도파관 $CO_2$ 레이저를 제작하고 성능을 평가하였다. 실험에 사용된 공진기의 구조는 concave mirror 두 개로 이루어진 negative branch와 concave와 convex mirror로 이루어진 positive branch로서 불안정 공진기의 구조를 이루고 있다. 도파관의 크기는 40$\times$2$\times$400mm이며, 123MHz의 입력 주파수를 사용하였다. 혼합가스의 비율은 $CO_2$:$N_2$:He=1:1:3이다. 압력은 10에서 60 torr, RF 입력 파워는 100에서 900W까지 증가시키면서 출력을 측정하였다 실험 결과 압력이 40 torr, RF 입력파워가 900W일 경우, negative 공진기와 positive branch의 최대파워는 각각 50.7 W와 71.8 W, 효율은 6.5 %와 9.2%이다.

• 열처리공학회지
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• 제33권1호
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• pp.25-32
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• 2020

In this study, the tribology of laser patterned DLC thin film was studied. DLC thin films were coated by RF-PECVD to improve the durability of tungsten carbide (WC) materials. DLC thin films have high hardness and low friction characteristics. Dot and line patterning was processed on the surface of DLC thin film with femtosecond laser, and the coefficient of friction was improved. As a result of ball on disk abrasion test, the hardness and friction coefficient of DLC thin films were much better than that of WC material. The friction coefficient of DLC thin film with dot patterning and line patterning showed better results. The excellent performance of the laser patterned DLC coating is appeared to reduce the coefficient of friction due to the reduction of surface contact area.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제22권1호
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• pp.33-39
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• 2008

직류방전이 추가로 인가된 용량결합고주파(CCRF)여기에 의한 아연증기레이저에서 6개의 레이저선들이 방출되었다. 이들의 파장은 491.162[nm]와 492.403[nm]의 청색선과 589.433[nm]의 오렌지선 그리고 747.979[nm], 758.848[nm], 773.25[nm]의 적외선 영역에 분포되어 있다. 최적의 레이저운전을 위해서 방전파라미터들이 결정되었다. 13.56[MHz]의 고주파전력 400[W]에서 오븐온도 $780{\sim}800[K]$, 헬륨압력 $3.5{\sim}5.5[kPa]$로 최적화되었다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.99-99
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• 2013

레이저를 이용해 포획된 플라즈마 입자는 검은 색의 입자들로 구성된다. 본 연구에서는 RF 소스전력을 변화시키면서 입자분포의 변이를 살펴보았다. RF 소스전력의 변화에 따라 암흑입자의 수는 선형적으로 증가하였고, 이는 optical emission spectroscopy를 이용해서 측정한 데이터 와도 일치하였다. 선형적 증가는 입자 분포가 플라즈마 감시에 효과적으로 응용될 수 있음을 의미한다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제22권10호
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• pp.826-831
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• 2009

In this paper, a high power RF amplifier module using AlN substrate of high thermal conductivity has been proposed. This RF amplifier module has the advantage of compact size and effective heat dissipation for the packaging of high power chip. To fabricate the thru-hole and scribing line on AlN substrate, the key parameters of $CO_2$ laser were experimented. And then, microstrip lines and spiral planar inductors were fabricated on an AlN substrate using the thin-film process. The fabricated microstrip lines on the AlN substrate has an attenuation value of 0.1 dB/mm up to 10 GHz. The fabricated spiral planar inductor has a high quality factor, a maximum of about 62 at 1 GHz for a 5.65 nH inductor. Packaging of a RF power amplifier was implemented on an AlN substrate with thru-hole. From the measured results, the gain is 24 dB from 13 to 15 GHz and the output power is 33.65 dBm(2.3 W).