• 제목/요약/키워드: RF magnetorn Sputtering

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산화물 피복강재의 부식거동 및 밀착성 평가 (Evaluation on Corrosion Behaviour and Adhensivity of Oxide Coated Materials)

  • 이종락
    • 한국가스학회지
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    • 제2권4호
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    • pp.34-41
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    • 1998
  • 순철과 스테인리스강 위에 $A1_2O_3,\;Ta_2O_5$$ZrO_2$의 산화물을 RF스파터링법으로 피복시켜, 피막과 모재와의 밀착성 평가, 피복강에 대한 부식거동 및 피막결함률에 대하여 고찰을 실시하였다. 미소경도시험에서 밀착성지수 $\chi$를 이용하여 산화물피막의 밀착성을 평가할 수 있었다. 임계부동화전류밀도법은 세라믹피복강재의 결함률을 평가하는데 유용한 수단임을 알 수 있었다.

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