$Pt/HfSi_xO_y/Silicon$ 구조의 전기적 특성에 관한 연구
(Electrical Characteristics of $Pt/HfSi_xO_y/Silicon$ Structure)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2002년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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- pp.145-146
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- 2002