This paper presents the fabrication and characterization of carbon films pyrolyzed with various photoresists for bioMEMS applications. To verify the usefulness of pyrolyzed carbon films as an electrode material in an electrochemical biosensor developed by the authors, interactions between avidin and biotin on the pyrolyzed carbon film were studied via electrochemical impedance spectroscopy based on electrostatic interactions between avidin and negatively-charged ferricyanide. The pyrolyzed carbon films were characterized using a surface profiler, a precision semiconductor parameter analyzer, a nanoindentor, scanning electron microscopy, and atomic force microscopy. Amine conjugated biotin was immobilized on the electrode using EDC/NHS as crosslinkers after $O_2$ plasma treatment to enhance functional groups on the carbon electrode pyrolyzed at $1000^{\circ}C$ with AZ9260. The detection of avidin binding with different concentrations in a range of 0.75 nM to $7.5\;{\mu}M$ to the pyrolyzed carbon electrode modified with biotin was carried out by measuring the electrochemical impedance change. The results show that avidin binds to the biotin on the electrode not by non-specific interaction but by specific interaction, and that EIS successfully detects this binding event. Pyrolyzed carbon films are a promising material for miniaturization, integration, and low-cost fabrication in electrochemical biosensors.
본 논문의 주된 목적은 폐자원(첨가제로서 pyrolyzed carbon black과 굵을 골재로서 aircooled iron blast furnace slag)을 사용한 아스팔트 콘크리트의 기본특성을 설명하는 것이다. 최적의 아스팔트 함유량을 결정하기 위하여 Marshall Mik Design방법을 이용하였고, 최적의 아스팔트 함유량은 첨가제의 양에 따라 변하며,그 범위는 6.7%에서 7.57%로 나타났다. 최적의 아스팔트 함유량을 이용하여 아스팔트 콘크리트 시편을 제작하였고, dynamic creep 실험을 수행하였다. Pyrolyzed carbon black과 Furnace slag의 사용은 Marshall stability를 증가시켰고, 비교적 높은 온도(5$0^{\circ}C$)와 137.gkpa의 구속 압력하에서 아스팔트 콘크리트의 시간에 따른 변형률을 감소시켰고, 또한 시간에 따른 아스팔트 콘크리트의 stiffness감소 비율을 줄여주는 역할을 하였다. 본 실험결과로 부터 첨가제로서의 pyrolyzed carbon black과 굵은 골재로서의 slag의 사용은 Marshall stability, stiffness, rutting resistance에 좋은 결과를 나타내는 것으로 밝혀졌다.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제5권1호
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pp.38-44
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2005
Pyrolyzed polyimide is explored in terms of MEMS material. This paper describes chemical, electrical, mechanical properties of pyrolyzed polyimide (PIX-1400) thin film as MEMS material. When polyimide thin film was pyrolyzed at $800^{\circ}C$ for 60 minutes in $N_{2}$ ambient, the residual ratio of pyrolyzed film thickness measured with a surface profiler is about 49 %, and the resistivity is about $2.17{\times}10^{-2}\;{Omega}cm$. From the result of the load-deflection test, the estimated Young's modulus and initial average stress of pyrolyzed polyimide are 67 GPa and 30 MPa, respectively. As one demonstration of MEMS structures of pyrolyzed polyimide, the fabrication method of the microbridge structure is proposed for a micro heater and a resonator.
In this study, five representative, commercially available polymers, Ultem 1000 polyetherimide, Kapton polyimide, phenolic resin, polyacrylonitrile and cellulose acetate, were used to prepare pyrolyzed polymer membranes coated on a porous {\alpha}-alumina$ tube via inert pyrolysis for gas separation. Pyrolysis conditions (i.e., final temperature and thermal dwell time) of each polymer were determined using a thermogravimetric method coupled with real-time mass spectroscopy. The surface area and pore size distribution of the pyrolyzed materials derived from the polymers were estimated from the nitrogen adsorption/desorption isotherms. Pyrolyzed membranes from polymer precursors exhibited type I sorption behavior except cellulose acetate (type IV). The gas permeation of the carbon/{\alpha}-alumina$ tubular membranes was characterized using four gases: helium, carbon dioxide, oxygen and nitrogen. The polyetherimide, polyimide, and phenolic resin pyrolyzed polymer membranes showed typical molecular sieving gas permeation behavior, while membranes from polyacrylonitrile and cellulose acetate exhibited intermediate behavior between Knudsen diffusion and molecular sieving. Pyrolyzed membranes with molecular sieving behavior (e.g., polyetherimide, polyimide, and phenolic resin) had a $CO_2/N_2$ selectivity of greater than 15; however, the membranes from polyacrylonitrile and cellulose acetate with intermediate gas transport behavior had a selectivity slightly greater than unity due to their large pore size.
Raman, V.;Bhatia, G.;Mishra, A.;Saha, M.;Sengupta, P.R.;Srivastava, A.K.
Carbon letters
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제7권3호
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pp.166-170
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2006
Silicon carbide whiskers ($SiC_w$) having the diameter in the range of 20-80 nm were synthesised from coconut fibres through sol-gel process. The coconut fibres were impregnated with tetraethoxysilane and methyltriethoxysilane derived sol and pyrolyzed at $1400^{\circ}C$ in argon. X-ray of the pyrolyzed samples showed the formation of ${\beta}$-SiC.
Bai, Byong Chol;Kim, Jong Gu;Kim, Ji Hong;Lee, Chul Wee;Lee, Young-Seak;Im, Ji Sun
Carbon letters
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제25권
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pp.78-83
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2018
Pyrolyzed fuel oil (PFO) and coal tar was blended in the feedstock to produce pitch via thermal reaction. The blended feedstock and produced pitch were characterized to investigate the effect of the blending ratio. In the feedstock analysis, coal tar exhibited a distinct distribution in its boiling point related to the number of aromatic rings and showed higher Conradson carbon residue and aromaticity values of 26.6% and 0.67%, respectively, compared with PFO. The pitch yield changed with the blending ratio, while the softening point of the produced pitch was determined by the PFO ratio in the blends. On the other hand, the carbon yield increased with increasing coal tar ratio in the blends. This phenomenon indicated that the formation of aliphatic bridges in PFO may occur during the thermal reaction, resulting in an increased softening point. In addition, it was confirmed that the molecular weight distribution of the produced pitch was associated with the predominant feedstock in the blend.
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
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제9권2호
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pp.23-27
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2008
As a biofuel source, direct photosynthetic/metabolic biofuel cells (DPBFC) use cyanobacteria whose photosynthesis and metabolization reactions can convert light energy to electricity, In our previous work, we fabricated a prototype micro-DPBFC that could generate a peak current density of $36{\mu}A/cm^{2}$ and a maximum power density of $270nW/cm^{2}$. In this study, we improve on the previous results by using carbon micro electromechanical systems (C-MEMS), formed from the pyrolysis of patterned photoresist, to fabricate carbon electrodes of an arbitrary shape and controlled porosity to increase the surface area. With these new C-MEMS electrodes, the maximum power density of the micro-DPBFC was $516nW/cm^{2}$, a performance twice as good as the results of our previous work.
나프타 분해 공정에서 필수적으로 발생되는 분해연료유(PFO, pyrolyzed fuel oil)에서 나프탈렌을 재결정해내고 남는 PFO 잔유물을 이용하여 $300{\sim}800^{\circ}C$에서 질소 조건에서 탄소구조체를 합성하여 보았다. PFO를 헥산이나 메탄올로 처리 후 얻은 탄소물질 프리커서를 열처리하면 $350^{\circ}C$에서는 수 십 ${\mu}m$ 크기의 flake 상의 탄소체가 만들어졌으나, $400^{\circ}C$ 이상에서는 수 ${\mu}m$로 크기가 줄며 공 모양의 탄소구조체로 변형되었다. BET와 XRD 스펙트럼에 따르면 공모양으로 합성된 메조상 탄소체는 큐빅상으로 미세 기공인 mesopore가 아직 잘 발달되지 많은 부정형 탄소임을 알려주고있다.
Surfactant-wrapped separation methods of metallic and semiconducting single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) can result in large changes in intrinsic physical and chemical properties due to electronic interactions between a nanotube and a surfactant. Our approach to synthesize SWCNTs with an electronic feature relied on utilizing carbon nanorings, [n] cycloparaphenylenes ([n]CPPs), which are the fundamental unit of armchair type SWCNTs (a-SWCNTs) that possess a metallic feature without any surfactants. To obtain long tubular structures from [n]CPPs, the host-guest complexes formed with well-aligned [n]CPP hosts and various fullerene guests on a silicon substrate were pyrolyzed under an ethanol gas flow at a high temperature with focused-ultraviolet laser irradiation. The pyrolyzed [n]CPPs were observed to transform from nanorings to tubular structures with 1.5-1.7 nm diameters corresponding to the employed diameter of [n]CPPs. Our approach suggests that [n]CPPs are useful for structure-controlled synthesis of SWCNTs.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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