• 한국진공학회지
• /
• 제6권1호
• /
• pp.91-96
• /
• 1997

평면형 유도 결합 플라즈마의 전기적 특성을 측정하였고 Langmuir probe를 이용하 여 전자의 밀도와 온도를 측정하였다. 코일과 플라즈마를 포함한 총 부하의 저항 성분은 1 에서 4$\Omega$까지 변하였고 인덕턱스는 $1.5\mu$H와 2$\mu$H사이의 값을 가졌다. $10^{11}/\textrm{cm}^3$ 이상의 고밀 도 플라즈마를 발생시켰으며 전자의 온도는 공정 조건에 따라 3에서 5eV까지 변하였다. 산 화막 식각시 선택도를 개선하기 위한 방법으로 바이어스 전압을 변조하는 방법을 모색하였 다. C4F8플라즈마에서 바이어스 변조 방법을 사용하였을 때 선택도는 크게 향상 되었으나 산화막 식각율이 400$\AA$/min 이하였다. 선택도 향상을 위해 수소를 첨가한 실험에서 $C_4F_8$ 플 라즈마에 60% $H_2$를 첨가하였을 때 선택도 50이상, 산화막 식각율 2000$\AA$/min 이상의 결과 를 얻을 수 있었다.

• KIEE International Transaction on Electrical Machinery and Energy Conversion Systems
• /
• 제5B권3호
• /
• pp.289-295
• /
• 2005

Instrumentation and Control (I&C) of the Neutral Beam Test Stand (NB- TS) Facility at the Korea Atomic Energy Research Institute (KAERI) for the Korea Superconducting Tokamak Advanced Research (KSTAR) project has been underway since the start of the project to answer the diverse requests arising from the various facets of the development and construction phases of the project. Optical signal transmission constitutes a significant portion of I&C works and has been performed for the entirety of the project. During the NB- TS construction and related experiments, significant achievements to a more accurate as well as more refined optical signal transmissions have been made. Examples of those I&C works that utilized the optical signal transmission are the Langmuir probe signal transmission, gradient grid current signal transmission, gas flow control and signal transmission, ion source temperature measurement, beam line component temperature monitoring, and coolant flow signal transmission, etc. These optical signal transition provisions are now performing part of the indispensable functions for the proper operation of the NB- TS facility. Attained experience and expertise are expected to be well applied to the upcoming main neutral beam injection (NBI) system construction for the KSTAR project.

• 한국전자파학회논문지
• /
• 제16권11호
• /
• pp.1086-1098
• /
• 2005

UWB 통신용으로 소형 광대역 안테나의 두 가지 형태를 제안하고자 한다. 하나는 회로 기판 위에 쉽게 장착되고 동축 선로로 급전되는 소형 바이코니컬 형태이며, 다른 하나는 CPW로 급전되는 보우 타이 형태이다. 일반적으로 후자 형태는 전자보다 주파수 대역폭이 더 좁다. 그러나 CPW의 중심 도체 선로에 특성 임피던스가 더 높은 좁은 선로로 대치해줌으로써 일렬의 유도성 성분을 도입한다면 보우 타이 안테나도 바이코니컬 안테나처럼 비교될만한 대역폭을 확장할 수 있다. 이런 유도성 성분은 소형 보우 타이 안테나의 용량성 성분을 상쇄하는 중요한 역할을 하며, 광대역 임피턴스 매칭을 가능하게 만든다. 설계 검증을 위해 소형 평면 보우 타이 안테나를 제작 및 실험하였고, 반사 손실의 측정 결과는 계산 결과와 거의 일치하였으며, 방사 패턴도 측정하여 제시하였다.