Nano imprint lithography(NIL) is a cost-efficient, high-throughput processing technique to transfer nano-scale patterns onto thin polymer films. Polymers used as the resist include UV cured resins as well as thermoplastics such as polymethyl-methacrylate(PMMA). In this study, an analytic investigation was performed for the NIL process of transferring nano scale patterns onto polymeric films. Process optimization calls for a thorough understanding of resist flow during the process. We carried out 2D and 3D numerical analyses of resist flow during NIL process. The simulation incorporated continuum-hypothesis and the effects of surface tension were taken into account. For a more effective prediction of free surface, fixed grid scheme with the volume of fluid (VOF) method were used. The simulation results were verified with experimental results qualitatively. And the parametric study was performed for various process conditions.
Temperature is an essential process variable in nanoimprint lithography(NIL) where the temperature varies between room temperature and above the glass transition temperature. To simulate NIL process, we employ both the Nose-Poincare method for temperature controlled molecular dynamics(MD) and force field for polymer material i.e. polymethyl methacrylate(PMMA), which is most widely selected as NIL resist. Nose-Poincare method, which convinces the conservation of Hamiltonian structure and time-reversal symmetry, overcomes the drawbacks inherent in the conventional methods such as Nose thermostat and Nose-Hoover thermostat. Thus, this method exhibits enhanced numerical stability even when the temperature fluctuation is large. To describe PMMA, we adopt the force field which account for bond stretch, bending, torsion, inversion, partial charge, and van der Waals energy.
Proceedings of the Korea Concrete Institute Conference
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2003.11a
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pp.425-428
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2003
This study deals with the mechanical properties of polymethyl methacrylate(PMMA) mortars without crosslinking agent. Waste expanded polystyrene(EPS) is used as a multifunctional admixture such as a thickener, a extender, a shrinkage reducing agent, a assistant to polymerization. PMMA mortars are prepared with various EPS contents of binder and subjected to a dry and a dry/heat combined curing, and tested for working life, flexural and compressive strengths. From the test results, the working life of PMMA mortars without crosslinking agent is shortened with raising EPS content of binder. The flexural and compressive strengths of the PMMA Mortars are decreased somewhat with increase in the EPS content. PMMA mortars with good mechanical properties could be manufactured without any crosslinking agent and their properties would be controled by adjusting EPS content of binder.
In this study, laser ablation atomic fluorescence (LAAF) spectroscopy has been applied for a nanometer-scale surface analysis of Na-doped polymethyl methacrylate (PMMA). LAAF spectroscopy is a new sensitive element detection technique which involves atomizing of a sample by the laser ablation and detection of ablated plume by laser-induced fluorescence (LIF) spectroscopy. Using this technique in the detection of Na atoms with Na-doped PMMA, a detection limit is obtained as 36 fg for single laser shot. Further, the depth distribution in the sample is measured with a very high spatial resolution using a two-layer PMMA sample by observing the shot-by-shot LIF intensity from the Na atoms.
Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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v.14
no.5
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pp.126-133
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2015
Recently, there has been demand for polymeric porous membranes in various fields, such as environmental engineering, pharmaceutics, tissue engineering, drug delivery, biology, and fuel cells. In this study, it is proposed that a polymer particle-based porous membrane can be fabricated using electrospraying and sintering processes. Electrospraying can fabricate polymeric particles with diameters ranging from several micrometers to tens of nanometers without the cumbersome particle aggregation problem. Additionally, the particles can be sintered through thermo-compression under the glass transition temperature. In this study, a polymethyl methacrylate particle-based porous membrane with an average pore size of less than 500 nm is fabricated using the proposed method.
Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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2000.02a
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pp.134-135
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2000
LCD의 전력소모중 약 70%를 차지하는 부분이 백라이트 유닛이다. 전세계적으로 저전력, 고화질, 대면적의 LCD 디스플레이를 개발하기 위한 연구가 활발히 진행중이다. 주로 백라이트 유닛을 구성하는 입사광학계와 도광체 및 프리즘 필름 등을 기존 제작공정 내에서 개선하는 것에 연구 개발의 초점이 맞추어져 있다. 본 연구는 기존의 개선 방법에서 벗어나 도광판의 형태와 산란입자의 크기에 따른 산란정도를 조절하여 기존의 도광판보다 더 나은 산란효율을 얻고자 한다. 이를 위해 투명도와 경도가 우수한 PMMA(polymethyl methacrylate)에 다양한 산란자를 투입하여 도광판을 제작한다. 도광판의 실제 제작 이전에 고효율 도광판속에서의 정확한 산란전산모사를 필수적으로 선행하여야 한다. 따라서 광산란 측정장치를 제작하여 산란자의 종류에 따른 원통형 도광체에서 측정한 산란강도와 산란전산모사에서의 결과를 비교 분석하여 저전력, 고화질, 대면적의 백라이트 유닛을 개발하기 위한 기초 자료로 사용하고자 한다. (중략)
Previous studies demonstrated that laser ablation under transparent liquid can result in ablation enhancement and particle removal from the surface. Although the ablation enhancement by liquid is already known for semiconductor and metal, the phenomena of polymer ablation have not been studied. In this work, tile liquid-assisted excimer laser ablation process is examined for polymer materials, such as polyethylene terephthalate (PET), polymethyl methacrylate (PMMA) with emphasis on ablation enhancement and surface topography. In the case of PET and PMMA, the effect of liquid is analyzed both for thin water film and bulk water. The results show that application of liquid increases the ablation rate of PMMA while that of PET remains unchanged even in the liquid-assisted process. However, the surface roughness is generally deteriorated in the liquid-assisted process. The surface topography is found to be strongly dependent on the method of liquid application, i.e., thin film or bulk liquid.
We report the performance of pentacene-based organic thin film transistors (OTFT) with PMMA (polymethyl methacrylate) as the gate insulator which was spin-coated on the ITO (indium tin oxide) glass substrate which was used as the gate contact. The pentacene thin film was deposited on the PMMA film and then Au source/drain contacts were deposited through shadow mask. The pentacene film shows better molecular ordering on PMMA compared with $SiO_2$ of Si wafer. The devices exhibited the field effect mobility of ${\sim}0.004cm^2$/Vs and on/off current ratio of ${\sim}10^3$.
One of the most important factors leading to a successful healing of rotator cuff tear is good bone quality to secure the suture anchor in the bone for a stable fixation. However, rotator cuff tear are commonly found in elderly patients, and their proximal humerus often shows osteoporosis or cystic lesions. Especially when the transosseous repair prevails for a torn rotator cuff, a weak metaphyseal cancellous bone is often the case, which associated with difficulty in stable fixation of the lateral row suture anchor. In this situation, we were able to augment the lateral row fixation with polymethylmethacrylate bone cement. Although there is a concern of disturbance in the blood flow and healing potential, our case showed good clinical results with respect to healing. If we suspect a weak fixation of the lateral row suture anchor, bone cement seems to be a good option for augmentation.
Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference
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2006.06a
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pp.60-65
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2006
Previous studies demonstrated that laser ablation under transparent liquid can result in ablation enhacement and particle removal from the surface. In this work, the liquid-assisted excimer laser ablation process is examined fer polyethylene terephthalate (PET), polymethyl methacrylate (PMMA), Si, and alumina with emphasis on ablation enhacement, surface topography, and debris formation. In the case of PET and PMMA, the effect of liquid is analyzed both fer thin water film and bulk water. As the ablation enhanement by liquid is already known for Si and alumina, the analysis focuses on surface topography and debris formation resulting from the liquid-assisted laser ablation process. The results show that application of liquid increases the ablation rate of PMMA while that of PET remains unchanged even in the liquid-assisted process. It is also revealed that the liquid can significantly improve the surface quality by reducing the debris deposition. However, the surface roughness is generally deteriorated in the liquid-assisted process. The surface toporaphy is found to be strongly dependent on the method of liquid application, i.e., thin film or bulk liquid.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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