• 제목/요약/키워드: Phase Characteristic

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Plasma Assisted ALD 장비 계발과 PAALD법으로 증착 된 TaN 박막의 전기적 특성 (Development of Plasma Assisted ALD equipment and Electrical Characteristic of TaN thin film deposited PAALD method)

  • 도관우;김경민;양충모;박성근;나경일;이정희;이종현
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제4권2호
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    • pp.39-43
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    • 2005
  • In the study, in order to deposit TaN thin film for diffusion barrier and bottom electrode we made the Plasma Assisted ALD equipment and confirmed the electrical characteristics of TaN thin films grown PAALD method. Plasma Assisted ALD equipment depositing TaN thin film using PEMAT(pentakis(ethylmethlyamino) tantalum) precursor and NH3 reaction gas is shown that TaN thin film deposited high density and amorphous phase with XRD measurement. The degree of diffusion and reaction taking place in Cu/TaN (deposited using 150W PAALD)/$SiO_{2}$/Si systems with increasing annealing temperature was estimated for MOS capacitor property and the $SiO_{2}$, (600${\AA}$)/Si system surface analysis by C-V measurement and secondary ion material spectrometer (SIMS) after Cu/TaN/$SiO_{2}$ (400 ${\AA}$) layer etching. TaN thin film deposited PAALD method diffusion barrier have a good diffusion barrier property up to 500$^{\circ}C$.

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진공 증착법으로 제작한 PVDF 박막의 유전 특성과 전기전도도에 대한 연구 (A Study on the Dielectric Properties and Electrical Conduction of PVDF Thin Films by Physical Vapor Deposition)

  • 강성준;이원재;장동훈;윤영섭
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제37권5호
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    • pp.9-15
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    • 2000
  • 본 논문에서는 진공 증착법 (Physical Vapor Deposition) 과 전계인가를 통해 두께 3㎛ 의 PVDF (polyvinylidene fluoride) 박막을 제작하여 적외선 흡수분석과 유전특성 및 전기전도 현상을 조사하였다. 진공 증착법으로 제작한 PVDF 박막을 적외선 흡수 분광기 (FT-IR) 로 분석한 결과, 509.45 [cm/sup -1/] 와 1273.6 [cm/sup -1/]의 특성피크가 검출되는 것으로 보아 제작된 PVDF 박막이 β형임을 확인할 수 있었다. β형 PVDF 박막의 유전특성을 측정한 결과, 비유전률은 주파수가 증가함에 따라 지속적으로 감소하는 이상분산을 나타내었고 유전손실은 온도의 증가에 따라 200㎐ 에서 7000㎐ 로 유전 흡수점이 이동함을 관찰할수 있었는데, 이는 디바이 이론과 일치하는 것이었다. 유전손실의 온도 의존성으로부터 구한 활성화 에너지(ΔH) 는 21.64㎉/mo1e 로 조사되었다. β형 PVDF 박막의 누설전류밀도에 대한 온도의존성과 전계의존성을 조사하여 PVDF 박막의 전기전도기구가 이온전도임을 확인할 수 있었다.

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도시지역 낮.밤 대기에어로졸의 입경 별 수용성 유기탄소의 특성 (Characteristic of Size-Resolved Water-Soluble Organic Carbon in Atmospheric Aerosol Particles Observed during Daytime and Nighttime in an Urban Area)

  • 박승식;신동명
    • 한국입자에어로졸학회지
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    • 제9권1호
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    • pp.7-21
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    • 2013
  • Twelve-hour size-resolved atmospheric aerosols were measured to determine size distributions of water-soluble organic carbon(WSOC) during daytime and nighttime, and to investigate sources and formation pathways of WSOC in individual particle size classes. Mass, WSOC, ${NO_3}^-$, $K^+$, and $Cl^-$ at day and night showed mostly bimodal size distributions, peaking at the size range of $0.32-0.55{\mu}m$(condensation mode) and $3.1-6.2{\mu}m$(coarse mode), respectively, with a predominant condensation mode and a minor coarse mode. While ${NH_4}^+$ and ${SO_4}^{2-}$ showed unimodal size distributions which peaked between 0.32 and $0.55{\mu}m$. WSOC was enriched into nuclei mode particles(< $0.1{\mu}m$) based on the WSOC-to-mass and WSOC-to-water soluble species ratios. The sources and formation mechanisms of WSOC were inferred in reference to the size distribution characteristics of inorganic species(${SO_4}^{2-}$, ${NO_3}^-$, $K^+$, $Ca^{2+}$, $Na^+$, and $Cl^-$) and carbon monoxide. Nuclei mode WSOC was likely associated with primary combustion sources during daytime and nighttime. Among significant sources contributing to the condensation mode WSOC were homogeneous gas-phase oxidation of VOCs, primary combustion emissions, and fresh(or slightly aged) biomass burning aerosols. The droplet mode WSOC could be attributed to aqueous oxidation of VOCs in clouds, cloud-processed biomass burning aerosols, and small contributions from primary combustion sources. From the correlations between WSOC and soil-related particles, and between WSOC and sea-salt particles, it is suggested that the coarse mode WSOC during daytime is likely to condense on the soil-related particles($K^+$ and $Ca^{2+}$), while the WSOC in the coarse fraction during nighttime is likely associated with the sea-salt particles($Na^+$).

Endometrial histology and predictable clinical factors for endometrial disease in women with polycystic ovary syndrome

  • Park, Joon-Cheol;Lim, Su-Yeon;Jang, Tae-Kyu;Bae, Jin-Gon;Kim, Jong-In;Rhee, Jeong-Ho
    • Clinical and Experimental Reproductive Medicine
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    • 제38권1호
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    • pp.42-46
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    • 2011
  • Objective: This study was aimed to investigate endometrial histology and to find predictable clinical factors for endometrial disease (hyperplasia or cancer) in women with polycystic ovary syndrome (PCOS). Methods: We investigated the endometrial histology and analyzed the relationship between endometrial histology and clinical parameters, such as LH, FSH, estradiol, testosterone, fasting and 2 hours postprandial glucose and insulin, insulin resistance, body mass index, endometrial thickness, menstrual status from 117 women with PCOS. Statistical analysis was performed with chi square and t-test, p-value<0.05 was considered as statistically significant. And receiver operating characteristic curve was used to find predictable clinical factors for endometrial disease and to decide the cuff off values. Results: In 117 women with PCOS, endometrial histologic profiles are as follows: proliferative phase in 90 women (76.9%), endometrial hyperplasia in 25 women (21.4%), and endometrial cancer in 2 women (1.7%). Of 25 women with endometrial hyperplasia, simple hyperplasia without atypia, complex hyperplasia without atypia and complex hyperplasia with atypia were diagnosed in 15 (12.8%), 6 (5.1%), 4 (3.4%) women, respectively. Age and endometrial thickness were significantly related with endometrial disease, p=0.013 and p=0.001, respectively. At the cut off level of 25.5 years in age, sensitivity and specificity predicting for endometrial disease were 70.4% and 55.6%, respectively (p=0.023). At the cut off level of 8.5 mm in endometrial thickness, sensitivity and specificity were 77.8% and 56.7%, respectively (p=0.000). Conclusion: In women with PCOS, the incidence of endometrial hyperplasia and cancer were 21.4% and 1.7%. The age and endometrial thickness may be used as clinical determining factors for endometrial biopsy.

2.45GHz LR-WPAN 수신기를 위한 Timing Estimator 알고리즘의 설계 (Design of a Timing Estimator Algorithm for 2.45GHz LR-WPAM Receiver)

  • 강신우;도주현;박타준;최형진
    • 한국통신학회논문지
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    • 제31권3A호
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    • pp.282-290
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    • 2006
  • 본 논문에서는 2.45GHz 대역 IEEE 802.15.4 LR-WPAN(Low-Rate Wireless Personal Area Network; ZigBee) 시스템의 수신기를 위한 개선된 방식의 Timing estimator의 알고리즘을 제안한다. 저가 구현을 지향하는 LR-WPAN 시스템의 특성상 고가의 오실레이터를 사용할 수 없으므로 반송파 중심 주파수의 80ppm에 해당하는 주파수 옵셋 환경에서 안정된 동작이 가능한 Timing estimator 알고리즘이 요구된다. 본 논문에서는 이러한 수신 환경을 고려하여 Multiple delay differential filter를 적용함으로써 주파수 옵셋에 대한 강인성 및 수신 성능의 안정성을 증대시켰으며, Multiple delay differential filter의 출력 신호에 대한 reference 신호의 상관 결과가 I-channel 에만 국한되는 특성을 이용하여 일반적인 noncoherent 방식 대신 coherent 방식의 correlator를 적용함으로써 non-coherent 방식의 제곱 손실을 제거하여 검출 성능을 향상시킴과 동시에 복잡도를 감소시켜 초소형, 저전력, 저가를 지향하는 LR-WPAM 수신기에 보다 적합하도록 설계하였다. 다양한 채널 환경에서의 성능정가를 통하여 제안된 알고리즘이 differential detection 기반의 noncoherent 방식보다 평균적으로 2dB의 향상된 성능을 보임을 입증하였다.

삼각 패치형 인공 전송 선로를 이용한 브랜치 라인 하이브리드 (A Branch-Line Hybrid Using Triangle-Patch Type Artificial Transmission Line)

  • 오송이;황희용
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제23권7호
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    • pp.768-773
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    • 2012
  • 본 논문에서는 슬롯을 갖는 삼각 패치형 인공 전송 선로를 이용한 브랜치 라인 하이브리드를 제안한다. 제안된 인공 전송 선로는 구조가 콤팩트하고 슬롯의 파라미터들을 변화시킴으로써 선로의 특성 임피던스와 전기적 길이를 조절하는 데 용이하여 일반적인 전송 선로를 소형화시키는 데 유용하다. 제안된 브랜치 라인 하이브리드는 이러한 직각 삼각형의 인공 전송 선로들을 이용하여 구현되었기 때문에 공간의 활용도가 높고 소형화되었다. 제작된 3 dB 브랜치 라인 하이브리드는 중심 주파수 2.45 GHz의 15 % 대역폭 내에서 ${\pm}0.5$ dB의 결합도 변화 특성과 두 출력 포트 간 $91^{\circ}{\pm}4^{\circ}$의 위상차 특성을 보였다. 또한, 제안된 브랜치 라인 하이브리드의 크기는 일반적인 브랜치 라인 하이브리드 크기의 38 %이다.

복합형 구조에서의 전자파전파 특성 (Wave Propagation characteristic from Composite structures)

  • 윤광렬
    • 한국전자통신학회논문지
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    • 제6권3호
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    • pp.343-348
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    • 2011
  • 이동통신의 급속한 보급과 발전에 의하여, 시가지에서의 전자파전파의 특성을 해명해야할 뿐만 아니라, 산림, 계곡 등의 외부 공간과 실내 공간 등의 전파난청 지역으로 불려오던 공간에 있어서도 안정적으로 통신을 이용할 수 있는 무선통신환경 개선의 중요성이 높게 요구 되고 있다. 더욱이, 이동통신의 디지털화와 더불어 건물 등에 의한 반사에 의해서 생기는 멀티패스에 기인하는 수신펄스의 시간지연이 고속디지털통신의 장해가 되고 있다. 이러한 도심 시가지에대한 전자파전파의 특성을 보다 정밀하게 추정하기 위해서는 건물 벽면의 구조 등의 영향도 고려 대상으로 포함 시킬 필요성이 있다. 따라서 본 논문에서는 FVTD(finite volume time domain)법을 적용하여, 기초적인 자료 보완을 위하여, 즉 주기적 구조에 의한 산란 특성과 불규칙적 표면을 포함하는 복합형 구조에 의한 2차원 전파환경 모델들에 대한 산란 특성을 조사 하였다.

하퇴의지착용자에 대한 인공족관절 유형(고정형, 단축형, 다축형)에 따른 지면반발력 및 에너지 소모의 측정 (Measurement of Ground Reaction Force and Energy Consumption for Ankle Assembly (Fixed-axis , Single-axis , Multi-axis Type) of Trans-Tibial Amputee)

  • 김성민;배하석;박창일
    • 대한의용생체공학회:의공학회지
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    • 제22권6호
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    • pp.543-550
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    • 2001
  • 본 연구에서는 하퇴 절단환자에서 고정형. 단축형, 다축형 인공족관절 장착시 지면반발력과 에너지 소비량을 측정하여 하퇴의지에 대한 생체역학적 평가를 하였다. 실험에는 각각 2명의 남성과 여성 하퇴 절단 환자가 3종류의 의지를 착용하고 참여하였으며. 3차원 보행분석은 7개의 기준점에 대하여 전체 입각기에 대한 지면 반발력의 체중에 대한 비율로 나타내었다. 하퇴의지 에너지 소비량은 피 실험자들이 각각 2km/h, 3km/h 그리고 가장 걷기 편한 속도로 런닝머신 위에서 보행하게 하면서 측정하였다 실험결과는 지면반발력에서 다축형 인공족관절 장착시 추진력과 후진력의 보행특성에 대하여 우위를 보이며, 고정형 인공족관절 장착시에는 보행균형과 무게중심의 이동에 대해 상대적인 우위를 보였다. 에너지 소비량은 2.3km/h 이상의 보행속도에서 단축형 인공족관절 장착시 다른 두 의지에 비해 적은량의 에너지 소비를 보였다.

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A Novel Hybrid Converter with Wide Range of Soft-Switching and No Circulating Current for On-Board Chargers of Electric Vehicles

  • Tran, Van-Long;Tran, Dai-Duong;Doan, Van-Tuan;Kim, Ki-Young;Choi, Woojin
    • Journal of Electrical Engineering and Technology
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    • 제13권1호
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    • pp.143-151
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    • 2018
  • In this paper, a novel hybrid configuration combining a phase-shift full-bridge (PSFB) and a half-bridge resonant LLC converter is proposed for the On-Board Charger of Electric Vehicles (EVs). In the proposed converter, the PSFB converter shares the lagging-leg switches with half-bridge resonant converter to achieve the wide ZVS range for the switches and to improve the efficiency. The output voltage is modulated by the effective-duty-cycle of the PSFB converter. The proposed converter employs an active reset circuit composed of an active switch and a diode for the transformer which makes it possible to achieve zero circulating current and the soft switching characteristic of the primary switches and rectifier diodes regardless of the load, thereby making the converter highly efficient and eliminating the reverse recovery problem of the diodes. In addition an optimal power sharing strategy is proposed to meet the specification of the charger and to optimize the efficiency of the converter. The operation principle the proposed converter and design considerations for high efficiency are presented. A 6.6 kW prototype converter is fabricated and tested to evaluate its performance at different conditions. The peak efficiency achieved with the proposed converter is 97.7%.

국내 저압 전기기기의 고조파 유출 제한값 산정 (Calculation of the Harmonic Emission Limit for low-Voltage Electrical Equipment)

  • 강문호;송양회;이흥호
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제22권10호
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    • pp.56-61
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    • 2008
  • 배전계통의 고조파 방해(Harmonics Disturbance)현상은 배전계통에서 전압강하와 함께 순시 전력품질을 저해하여 중성선 및 NGR(Neutral Ground Reactor) 과열, OCGR 오동작 등의 문제를 발생시킴으로써 전력회사와 고객 모두에게 막대한 경제적인 손실을 주고 있어 동 분야에 대한 적극적인 대책이 필요하다. 이에 대한 해결 방안으로 유럽에서는 IEC 61000-3-2 규격을 통해 상당 16[A] 이하 저압 전기기기의 고조파를 제한하고 있다. 본 규격은 저압 전기기기를 4개의 등급으로 구분하여 관리하고 있으며, 분석결과 클래스 A등급 해당 전기기기의 고조파 유출제한 기준은 저압계통의 기준임피던스와 허용 최대전압을 바탕으로 산정되었으며, 타 등급(B, C, D등급)의 유출제한 기준들도 클래스 A의 유출제한 기준을 바탕으로 산정되었다. 따라서 본 논문에서는 IEC 61000-3-2 규격 분석결과를 바탕으로 국내 기준임피던스에 기초하여 국내 저압 전기기기의 고조파 유출 제한 값을 산정하였다.