• 한국재료학회지
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• 제8권9호
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• pp.837-842
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• 1998

ULSI급 소자의 집적도가 높아짐에 따라 공정의 신뢰도 및 수율 향상을 위한 세정 방법에 대한 관심이 더욱 높아지고 있다. 그중 가장 관심을 집중시키는 분야는 구리나 철과 같은 금속불순물의 제거에 관한 것이다. 본 연구에서는 금속 불순물 중 실제 공정에서 잘 오염되는 것으로 알려진 구리와 철 불순물을 인위적으로 오염시킨 후 $\textrm{H}_2\textrm{O}_2$와 HF의 혼합용액과 UV/$\textrm{O}_3$과 HF처리의 조합을 이용한 세정 방법을 이용하여 금속불순물을 제거하였다. 세정후 제정효과는 TXRF를 이용하여 측정하였고 Si 기판의 표면 거칠기를 AFM을 이용하여 측정하였다. 또한 금속 불순물의 흡착형태와 흡착기구 등을 SEM을 이용해 관찰하였고 AES를 이용하여 화학적 성분 분석을 실시하였다. 실험 결과 인위적 오염 후 구리의 오염도는 $\textrm{10}^{14}$ atoms/$\textrm{cm}^2$이었으며 각각의 세정을 통하여 $\textrm{10}^{10}$ atoms/$\textrm{cm}^2$으로 감소되었으며 반복된 세정으로 더욱 우수한 세정효과와 표면 거칠기의 개선 효과를 얻을 수 있었다. 구리는 박막의 형태가 아닌 구형의 입자 형태로 화학적 흡착에 의해 오염되는 것으로 관찰되었다. 철의 경우는 오염도가 $\textrm{10}^{13}$ atoms/$\textrm{cm}^2$ 이며 세정효과는 구리의 경우와 유사한 결과를 보여주었다. 철 불순물은 물리적 흡착에 의해 Si 표면에 오염되는 것으로 보이며 역시 구형의 입자형태로 표면에 흡착하는 것으로 관찰되었다.

• 공업화학
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• 제31권5호
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• pp.481-486
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• 2020

삼척항 내 표층 퇴적물에 대한 지화학적 특성을 파악하기 위하여 입도, 유기물 및 중금속 분포 특성을 조사하였다. 삼척항 퇴적물은 sand, silt, clay가 혼재된 특성을 보였으며, 내항에는 세립질이 우세하였고, 외항에는 조립질이 우세한 것으로 나타났다. 표층 퇴적물의 유기물(COD, TOC, IL) 오염정도는 내항이 외항보다 더 심한 것으로 나타났으며, 총질소 및 총인 농도도 내항이 더 높은 것으로 나타나고 있다. 또한 중금속 농도도 외항보다 내항에서 더 높았다(As 제외). 내항 표층 퇴적물의 높은 유기물 농도 및 C/N비로 보아 육상 유래 유기물의 오염 기여가 큰 것으로 판단된다. 표층 퇴적물의 입도, 이화학적 성분, 중금속 간의 상관성 분석에서 silt-clay는 중금속과 높은 상관성을 보였고, 유기물 지표와 중금속간의 상관성도 대체적으로 높게 나타났다. 중금속 연속추출결과에 따르면 Ni, Zn, Cu, Pb, Cd 및 As는 이온교환, 탄산염, 산화물 형태를 합한 평균 존재비가 각각 14.8, 49.8, 39.1, 32.2, 51.8 및 26.6%이었다.

• 전기학회논문지
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• 제63권2호
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• pp.319-324
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• 2014

The wafer carrier is made of PP, PC, PE resin which have excellent heat and chemical resistance and electrical properties. However, particle generation has become a problem due to static electricity generated in the carrier. Some conductive material such as carbon black (CB) and carbon fiber (CF) are added for the purpose of anti-static, however, additional for motility and particle contamination problems due to high carbon content occurs. In this paper, the electrical characteristics and workability are observed and compared by adding low Carbon Nono Tube(CNT) to each PP, PC and PE resin to solve the problem.

• 설비공학논문집
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• 제3권5호
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• pp.350-364
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• 1991

The movements of small particles distributed uniformly in a steady flow in rectangular chambers having inlets and outlets were simulated numerically. Low Reynolds number turbulent model with a two-equation ($k-{\varepsilon}$) which describes the turbulent characteristics was applied to predict the air flow pattern and particles movements under the condition of the various locations and size of ducts. The calculation results show that the prediction of recirculation zone and stagnation point of flow is important to determine the particles behavior according to the design change. These results will be useful in designing the rectangular chambers for collective protection.

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회
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• pp.128-131
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• 2007

As the minimum feature size decrease, control of contamination by nanoparticles is getting more attention in semiconductor process. Cleaning technology which removes nanoparticles is essential to increase yield. A reference wafer on which particles with known size and number are deposited is needed to evaluate the cleaning process. We simulated particle trajectories in the chamber by using FLUENT. Charged monodisperse particles are generated using scanning mobility particle sizer (SMPS) and deposited on the wafer by electrostatic force. The experimental results agreed with the simulation results well. We calculate the particles loss in pipe flow theoretically and compare with the experimental results.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제35권7호
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• pp.1999-2003
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• 2014

Indium tin oxide ($In_2Sn_{1-x}O_{5-y}$) nanoparticles were synthesized by hydrothermal method from stable indium tin acetylacetone complexes and postannealing at $600^{\circ}C$. The absence of chlorine ions shortened the synthesis process, decreased the particle agglomeration and improved the particle purity. The introduced complexing ligand acetylacetone decreased the obtained nanoparticle size. The improved powder properties accelerated the sintering of the $In_2Sn_{1-x}O_{5-y}$ nanoparticles and reached a relative density of 96.4% when pressureless sintered at $1400^{\circ}C$.

• 한국분말야금학회:학술대회논문집
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• 한국분말야금학회 2006년도 Extended Abstracts of 2006 POWDER METALLURGY World Congress Part 1
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• pp.165-166
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• 2006

Nb-Ti alloys were hydrogenated to prepare fine and contamination-free powders. Cracks were introduced in the alloys when they were annealed at 1473 K and cooled in a hydrogen atmosphere. The fragments produced by hydrogen-induced cracking are brittle and the friability enhanced with the Ti content of the alloy, which is beneficial for further refinement of particle size. We also demonstrate that Nb-Ti powders with the average particle size less than 1 m can be produced by ball milling at a temperature lower than 203 K. Furthermore, hydrogen-free powders can then be obtained by annealing above the temperature corresponding to hydrogen desorption from Nb solid solution.

• 한국재료학회지
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• 제6권1호
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• pp.3-11
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• 1996

대면적 정전 접합 장치를 고안 및 제작하여 Si과 glass를 정전 접합시켰다. 여러 온도에서 정전 접합 후 접합 면적을 측정하였으며 접합이 이루어진 경우 그 접합 면적이 90%를 넘었다. 접합시 전류를 측정하여 접합 강도와의 관계를 살펴보였다. 잔류 공공을 생성시키는 원인은 재료의 표면 거칠기 차이나 전극의 모양보다는 불순물 입자에 의한 것임이 밝혀졌고 같은 크기의 불순물 입자에 대한 공공의 크기는 접합 온도가 높을수록 감소하였다. 정전 접합에 미치는 불순물의 영향을 공공의 크기 및 불순물 입자의 크기를 측정하여 살펴보았다.

• 한국건설순환자원학회논문집
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• 제9권2호
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• pp.161-166
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• 2021

본 연구는 순환골재에서 발생하는 오염물질의 특성과 오염가능성을 평가하기 위해 생산제품 순환골재의 용출시험을 실시하였다. 순환골재에 포함된 pH, 전기전도도, 탁도, TN, TP, COD 그리고 중금속 농도는 입경이 작을수록 높은 농도를 나타냈다. pH 농도는 9.9~11.4 범위로 토양보다는 높았으나 중금속 농도는 토양오염우려기준의 1지역 기준치 이내로 조사되었다. 용출시험 결과, 오염가능성은 입자크기가 작을수록 높아지는 것으로 나타났다. 특히, 전기전도도와 탁도는 잠재적인 수질오염원이며, 10mm 이하의 순환골재는 용존성과 입자성 오염물질을 발생시킬 수 있기 때문에 잠재적인 오염원으로 평가되었지만, 현재 적절한 관리기준은 없다. 순환골재로 부터 수질오염 가능성을 평가한 결과, 오염가능성이 가장 높은 항목으로는 pH, 오염가능성이 낮은 항목으로는 TN, TP, 오염가능성이 가장 낮은 항목으로는 중금속으로 나타났다.

• 천문학회지
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• 제51권4호
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• pp.111-117
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• 2018

A numerical method is proposed to calculate the response of detectors measuring particle energies from incident isotropic fluxes of electrons and positive ions. The isotropic flux is generated by injecting particles moving radially inward on a hypothetical, spherical surface encompassing the detectors. A geometric projection of the field-of-view from the detectors onto the spherical surface allows for the identification of initial positions and momenta corresponding to the clear field-of-view of the detectors. The contamination of detector responses by particles penetrating through, or scattering off, the structure is also similarly identified by tracing the initial positions and momenta of the detected particles. The relative contribution from the contaminating particles is calculated using GEANT4 to obtain the geometric factor of the instrument as a function of the energy. This calculation clearly shows that the geometric factor is a strong function of incident particle energies. The current investigation provides a simple and decisive method to analyze the instrument geometric factor, which is a complicated function of contributions from the anticipated field-of-view particles, together with penetrating or scattered particles.