Signal Processing of Capacitive Load and Gap Measurement with High Precision Using Surface Acoustic Wave Device (표면 탄성파 장치를 이용한 용량성 부하의 신호처리 및 이를 이용한 초정밀 간극 측정)
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- Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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- 2009.10a
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- pp.376-380
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- 2009