• 제목/요약/키워드: PR 제거

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ORC 발전 시스템에서 주파수 가변형 PR 제어기와 정상분 추출을 이용한 발전기 속도추정 방법 (Speed Estimation Method of Turbine and Generator using Variable Frequency type PR controller and Positive-phase-sequence Component Computation in ORC Generation System)

  • 박형석;허홍준;김장목
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2015년도 전력전자학술대회 논문집
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    • pp.377-378
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    • 2015
  • 본 논문에서는 유기랭킨 사이클(organic rankine cycle: ORC) 발전 시스템에서 터빈과 발전기의 속도를 추정하는 방법을 제안한다. 다이오드 정류기에 의해 왜곡된 발전기 3상 단자 전압은 PLL 기법을 이용한 속도추정의 성능을 저하시키므로, 정상분 추출과 맥동성분 제거를 위한 상태관측기와 주파수 가변형 PR 제어기를 동기좌표계 PLL 기법에 적용하여 발전기의 속도를 추정한다. 제안하는 터빈과 발전기의 속도추정 방법은 실험 결과를 통해 그 성능을 검증한다.

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신경계 병동에서 억제대를 적용 중인 환자가족의 억제대 적용에 대한 인식과 태도 (Families' Perception and Attitude toward Applied Physical Restraints in General Neurological Wards)

  • 하소연;하이경;김명희
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제16권5호
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    • pp.3293-3302
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    • 2015
  • 본 연구는 신경계병동에서 억제대를 적용 중인 환자의 가족을 대상으로 억제대 적용에 대한 인식과 태도를 파악할 목적으로 시행된 서술적 조사연구이다. 2014년 6월 1일부터 2014년 9월 30일까지 부산시 소재 일개상급종합병원의 신경계병동에서 억제대를 적용 중인 환자의 가족 70명을 대상으로 설문조사했고 환자자료는 의무기록으로 조사했으며 수집된 자료는 서술통계, t-test, ANOVA, $Scheff\acute{e}$ tests로 분석했다. 환자가족은 여자가 68.6%, 평균 47.9세, 환자의 배우자나 자녀가 70% 이상이었고 일일 평균 15.4시간 동안 환자를 돌보고 있었다. 억제대 적용에 대한 인식의 평균점수는 4.2/5점이었고, 치료장치 유지와 관련된 인식점수가 높았고(평균 4.6-4.9/5점) 억제대 적용부위에 따라 양손이 한손보다 더 중요하다고 인식했다. 억제대 적용태도에 있어서는 환자와 가족에게 적용과 제거에 대한 결정권이 있다와 관련된 문항에 동의하는 가족이 많았다. 본 연구의 결과를 토대로 환자가족에게 억제대 관련 정보제공과 지속적인 교육을 통한 지원이 요구된다.

SWCNT 다중채널 FET용 표면 프로그램된 APTES와 OTS 패턴을 이용한 공정에 대한 연구 (Programmed APTES and OTS Patterns for the Multi-Channel FET of Single-Walled Carbon Nanotubes)

  • 김병철;김주연;안호명
    • 한국정보전자통신기술학회논문지
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    • 제8권1호
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    • pp.37-44
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    • 2015
  • 본 논문에서 전계효과 트랜지스터 (field effect transistor; FET) 제작을 위한 표면 프로그램된 aminopropylethoxysilane(APTES)와 1-octadecyltrichlorosilane(OTS) 패턴을 이용하여 단일벽 탄소 나노튜브(single-walled carbon nanotube; SWCNT)를 실리콘 기판 위에 선택적으로 흡착시키는 공정방법을 제안하였다. 양성 표면 분자 패턴을 만들기 위해 형성된 APTES 패턴은 많은 양의 SWCNT의 흡착을 위해 제작되었고, OTS 만을 이용한 공정보다 효과적인 SWCNT 흡착이 가능하다. 산화막(silicon dioxide)이 형성된 실리콘 기판 위에 사진공정(photolithography process)을 이용하여 임의의 감광액(photoresist; PR) 패턴이 형성되었다. PR 패턴이 형성된 기판은 헥산 용매를 이용하여 1:500 (v/v)로 희석된 OTS 용액 속에 담가진다. OTS 박막이 표면 전체에 만들어지고, PR 패턴이 제거되는 과정에서 PR 위에 형성되었던 OTS 박막도 같이 제거되어, 선택적으로 형성된 OTS 박막 패턴을 얻을 수 있다. 이 기판은 다시 에탄올 용매를 이용하여 희석된 APTES 용액 속에 담가진다. APTES 박막은 OTS 박막 패턴이 없는 노출된 산화막 위에 형성된다. 마지막으로 이처럼 APTES와 OTS에 의해 표면 프로그램된 기판은 SWCNT가 분산된 다이클로로벤젠(dichlorobenzene) 용액 속에 담가진다. 결과적으로 SWCNT는 양 극성을 띠는(positive charged) APTES 박막 패턴 위에만 흡착된다. 반면 중성O TS 박막 패턴 위에는흡착되지 않는다. 이러한 표면 프로그램 방법을 사용하여 SWCNT는 원하는 영역에 자기 조립시킬 수 있다. 우리는 이 방법을 이용하여 소오스와 드레인 전극사이에 SWCNT가 멀티 채널로 구성된 다중채널 FET를 성공적으로 제작하였다.

비례공진 제어기를 이용한 단상 계통연계형 인버터의 데드타임 영향과 옵셋 오차로 인한 전류맥동 저감에 관한 연구 (A Study on Current Ripple Reduction Due to Offset Error and Dead-time Effect of Single-phase Grid-connected Inverters Based on PR Controller)

  • 성의석;황선환
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2014년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.157-158
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    • 2014
  • 단상 계통연계형 인버터에서 전류센서를 통한 상전류 측정시 옵셋 오차는 전류센서와 측정 경로상에 위치한 아날로그 소자의 전압 불균형 및 비선형성으로 인하여 발생하게 된다. 또한 데드타임은 전력용 반도체 스위치를 제어하기 위한 PWM 신호 출력시 필연적으로 발생된다. 본 논문에서는 데드타임으로 인하여 왜곡된 상전류에 포함된 옵셋 오차에 의한 영향을 분석하고 동기좌표계 dq축 전류에 포함된 특정 고조파 성분을 제거하기 위하여 PR 제어기를 사용한 알고리즘이 제안되었다. 데드타임 및 옵셋 오차로 인해 발생된 전류맥동 보상을 위한 기준신호로는 동기좌표계 dq축 전류를 사용하였다. 제안된 알고리즘의 타당성을 시뮬레이션과 실험을 통하여 증명하였다.

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고종횡비 10:1 Via 가공 및 Seed layer 스퍼터링 공정 연구 (High aspect ratio 10:1 Via formation and Seed layer sputtering)

  • 송영식;한윤호;엄호경;임태홍;김종렬
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2012년도 추계총회 및 학술대회 논문집
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    • pp.141-141
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    • 2012
  • 고종횡비 10:1 비아를 Si wafer 상에 형성하기 위해 $7{\mu}m$ 직경의 마스크로 포토작업하여 Cr층을 100nm 스퍼터링하여 PR(photo resistor) 대신의 에칭 barrier 막으로 사용하였다. 얼라인, 노광, 현상을 거쳐 Cr에칭, PR 제거후 ICP(inductively coupled plasma) 공정으로 Si deep etching하여 via 직경 $10.16{\mu}m$, 깊이 $102.5{\mu}m$의 고종횡비 비아를 형성하였다. 구리필링도금을 위해서 필수적인 seed layer는 단층 또는 다층의 금속막을 스퍼터링 법으로 형성하였다. 형성된 seed layer 단면을 FE-SEM(Field emission scanning electron microscope)으로 관찰하여 내부에 seed 층의 형성 유무를 확인하였다.

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오존수를 이용한 감광막 제거 공정에 관한 연구 (A Study on Photoresist Strip Process using DIO3)

  • 채상훈;손영수
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제17권11호
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    • pp.1143-1148
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    • 2004
  • In this study, photoresist stripping in semiconductor or LCD (liquid crystal display) fabrication processes using DIO, was investigated. In order to obtain the high PR stripping efficiency of DIO. we have developed new ozone-generating system with high ozone concentration and ozone-resolving system with high contact ratio. In this study, we obtained ozone gas concentrations of 11 % by new ozone-generating system, ozone-resolving efficiency of 99.5 % and maximum solubility of 130 ppm in deionized water. We applied the newly designed equipments to photoresist stripping processes and obtained similar results to SPM(sulfuric-peroxide mixture) process characteristics.

평판형 수소생산시스템의 수소개질 성능평가 (The performance evaluation for H2 reforming of the plate type hydrogen generation system)

  • 허수빈;윤봉석;이도형
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • 제38권6호
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    • pp.602-608
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    • 2014
  • 저탄소 친환경 대체 에너지의 한 분야인 수소에너지는 화석연료의 개질 및 물의 전기분해 등 다양한 방법을 통해 얻어진다. 수소를 연료로 사용하는 연료전지인 PEMFC용 1kW급 평판형 수소생산시스템을 자체 개발하였다. FEMFC는 CO에 의한 오염에 민감하므로 공급되는 개질가스 중에 CO 농도는 10ppm 이하로 제거되어야 한다. 본 연구에서는 다양한 실험조건에서 $H_2$ 및 CO의 농도를 측정하여 최적의 운전조건을 확립하였다. 결과적으로 A/F ratio ${\alpha}=1.3$, STR temperature 1023K, S/C ratio 3, and $PrOx1{\cdot}2$ 30cc/min에서 최적임을 확인하였다. 또한 PrOx 2단이 CO 농도를 줄이는데 더욱 효과적임을 알 수 있었다.

비례공진 제어기를 이용한 계통연계형 인버터의 고조파 왜곡보상 (Compensation of Harmonic Distortion for Grid-connected Inverter Systems using a PR Controller)

  • 이종현;이교범
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2011년도 추계학술대회
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    • pp.215-216
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    • 2011
  • 본 논문에서는 계통연계 태양광발전 시스템에서 계통전압의 왜곡을 보상하는 전류제어기법을 제안한다. 계통전압의 왜곡을 보상하기 위해 기존의 고조파 제어기를 비례-공진 제어기로 대체하여 계통전류의 고조파를 제거한다. 제안하는 기법은 동기좌표축 상에서 설계하는 기존의 방법과는 다르게 복잡한 연산이 필요하지 않은 장점이 있다. 시뮬레이션과 실험을 통해 제안된 알고리즘의 우수한 제어특성을 확인한다.

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비례공진 제어기를 이용한 계통연계형 단상 풍력발전기의 고조파 왜곡보상 (Compensation of Harmonic Distortion in Grid-Connected Single-Phase Wind Power Generation Systems by Using a PR Controller)

  • 김종규;이종현;이교범
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2012년도 전력전자학술대회 논문집
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    • pp.67-68
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    • 2012
  • 본 논문에서는 계통연계형 단상 풍력발전 시스템에 발생하는 2차 고조파를 보상하는 기법을 제안한다. 단상 소형풍력 발전 시스템은 직류단에 필연적으로 2차 고조파 성분을 갖게 되며, 이는 출력전류의 왜곡을 야기한다. 제안하는 방법은 직류단 전압의 2차 고조파를 제거하는 기존의 기법과는 달리, 비례공진 제어기로 출력전류 지령의 2차 고조파를 제거하여 출력전류의 왜곡을 보상한다. 제안하는 기법은 복잡한 연산 없이 고조파를 보상할 수 있다. 시뮬레이션을 통해 제안된 알고리즘의 우수한 제어특성을 확인한다.

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