• 소성∙가공
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• 제13권3호
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• pp.290-295
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• 2004

Mircolens and microlens V-groove are realized using a novel fabrication technology based on the exposure of a resist, usually PMMA, to deep X-rays and subsequent thermal treatment and inclined deep X-ray lithography, respectively. The fabrication technology is very simple and produces microlenses and microlens V-groove with good surface roughness of several nm. The molecular weight and glass transition temperature of PMMA is reduced when it is irradiated with deep X-rays. The microlenses were produced through the effects of volume change, surface tension, and reflow during thermal treatment of irradiated PMMA. Microlenses were produced with diameters ranging from 30 to $1500\mu\textrm{m}$. The surface X-ray mask is also fabricated to realize microlens arrays on PMMA sheet with a large area. The size of the micro V-groove is fabricated in the range of 12~$60\mu\textrm{m}$.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1999년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C
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• pp.1164-1166
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• 1999

본 연구에서는 3차원 회전체 구조물을 제조하기 위해 회전노광장치를 설계하여 제작하고 마이크로렌즈 제작용 X-선 마스크와 PMMA 기판을 정밀하게 회전시켜 노광함으로써 3차원의 마이크로렌즈를 제작하였다. 제작된 마이크로렌즈의 크기는 직경이 $50{\sim}700{\mu}m$이었고, 또한 이러한 방법으로 원통형 렌즈, 계란형 렌즈 등을 제작함으로써 X-선 사진식각공정으로 정밀도가 높은 다양한 3차원의 회전체 구조물을 제조하는 방법을 제시하였다.

• 한국안광학회지
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• 제1권1호
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• pp.65-72
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• 1996

플라스틱 안경렌즈의 소재에 관한 일반적인 특성을, 광학적 특성과 polymer의 구조관련시켜 설명함으로써 그 본질적인 부분에 대한 해설을 하였다. PMMA의 경우 ${\delta}$ 전자에 기반을 둔 1중결합에 의해 폴리머의 골격이 유지되고 이들에 의한 빛의 흡수현상은 매우 적은 것이었다, 폴리머의 굴절율은 주로 분자굴절, 분극율에 의해 지배되었고, Cl, Br, I 같은 할로겐기나 벤젠고리를 함유한 경우 굴절율이 높았다. 굴절율의 온도의존성은 무기그라스보다 환경의존성은 컸고, 폴리머내에서의 산란은 결정영역의 불균일한 분포와 관계가 있었다.

• 전자공학회논문지D
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• 제35D권9호
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• pp.42-47
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• 1998

현재의 전자빔 묘화의 한계를 극복할 수 있는 마이크로 전자빔 시스템의 전자 광학 렌즈를 제작하였고 전자빔 묘화실험을 통하여 이를 검증하였다. 마이크로머시닝기술을 이용하여 실리콘 전극을 제작하고 이를 양극 접합을 통해 조립하여 다층 전극의 전자 광학 렌즈를 제작하였다. 완성된 전자 광학 소자를 초고진공 챔버에 장착하여, STM(Scanning Tunneling Microscope) 팁에서 방출된 전자빔의 focusing 특성을 관찰하였으며 전자를 집속하여 리소그라피를 수행하였다. E-beam 감광막은 PMMA(Poly-methylmethacrylate)를 사용하였고 0.13㎛의 패턴을 형성시킬 수 있었다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.525-528
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• 2003

The aspherical lens are used as objective lens of optical pickup. The sample product is made before manufacturing the injection mould of lens to examine the design factor. The optimum cutting conditions of the main spindle speed, the depth of cut, the feed rate are found when we cut PMMA and PC lens sample with ultra-precision SPDT. The demanded surface roughness 10 nm Ra. aspherical form error 0.5 ${\mu}{\textrm}{m}$ P-V for aspherical lens of optical data storage device are satisfied for PMMA. but not satisfied for PC.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2004년도 제6회 학술대회 논문집 일렉트렛트 및 응용기술연구회
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• pp.47-51
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• 2004

The aspherical lens are used as objective lens of optical pickup. The sample product is made before manufacturing the injection mould of lens to examine the design factor. The optimum cutting conditions of the main spindle speed, the depth of cut, the feed rate are found when we cut PMMA and PC lens sample with ultra-precision SPDT. The demanded surface roughness 10 nm Ra, aspherical form error 0.5 ${\mu}m$ P-V for aspherical lens of optical data storage device are satisfied for PMMA, but not satisfied for PC.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제7권6호
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• pp.1296-1301
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• 2006

눈은 자외선과 가시광선에 노출되어 있다. 눈은 자외선 노출에 해로우므로 모든 자외선으로부터 눈을 보호해야 한다. 본 연구에서는 자외선 차단을 위해 투명 플라스틱에 유-무기 하이브리드 재료와 자외선 흡수제의 배합에 의한 자외선 차단 코팅하였고, PMMA, CR 39 및 PC기재에 적용하여 자외선 차단 효과를 조사하였다. 자외선 흡수제의 양이 증가할수록 자외선의 투과도는 낮았다. PMMA의 경우 자외선 투과도를 현저히 감소시켰으며 CR 39에서도 자외선 차단 효과가 있는 것으로 나타났다. 한편, PC자체에서는 자외선 차단효과가 있는 것으로 평가되었다. CR 39 렌즈의 부착력, 내약품성, 내온수성은 우수하였고, 연필 경도의 경우 4H였으며 내마모성은 좋지 않았다.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제19권3호
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• pp.30-35
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• 2020

A microlens has been fabricated by various methods such as a thermal reflow, hot embossing, diamond milling, etc. However, these methods require a relatively complex process to control the microlens shape. In this work, we report on a simple and cost-effective method to fabricate a cylindrical microlens (CML), which can diffuse light widely. We have employed a slot-die head with the dual plate (a meniscus guide with a protruded μ-tip and a shim with a slit channel) for coating of a narrow stripe using poly(methyl methacrylate) (PMMA). We have shown that the higher the coating gap, the lower the maximum coating speed, which causes an increase in the stripe width and thickness. The coated PMMA stripe has the concave shape. To make it in the shape of a convex microlens, we have applied the thermal reflow method. When the stripe thickness is small, however, its effect is negligible. To increase the stripe thickness, we have increased the number of repeated coating. With this scheme, we have fabricated the CML with the width of 223 ㎛ and the thickness of 7.3 ㎛. Finally, we have demonstrated experimentally that the CML can diffuse light widely, a feature demanded for light extraction efficiency of organic light-emitting diodes (OLEDs) and suppression of moiré patterns in displays.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문집
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• pp.184-187
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• 2005

This paper is described about the technique of ultra-precision machining for optical parts in HMD system. Machining technique for PMMA and BK7 with single point diamond turning machining is reported in this paper. The main factors influencing on the machined surface quality are discovered and regularities of machining process are drawn. The purpose of our research is to find the optimum machining conditions fur cutting of PMMA and grinding of BK7. Also, apply the SPDTM technique to the manufacturing of ultra precision optical components of HMD system. Aspheric PMMA lens without a polishing process, the surface roughness of 5 nm Ra, and the form error of ${\lambda}/2\;({\lambda}=632.8nm)$ for reference curved surface 30 mm has been required.

• 한국기계가공학회지
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• 제2권1호
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• pp.63-68
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• 2003

The aspherical lenses are used as objective lens of optical pickup. To examine the design factor the sample product is made before manufacturing of injection mould of lens. The optimum cutting condition of PMMA lens sample with ultra precision SPDT, the roam spindle speed, the depth of cut, the feedrate are found. The demanded surface roughness 100m Ra, aspherical form error $0.5{\mu}m$ P-V for aspherical lens of optical data storage device are satisfied.