• 제목/요약/키워드: P-E hystereis

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PZ/PT 다층막에 의한 PZT 박막의 제작 (Synthesis of PZT thin films made by PZ/PT multi-layered structure)

  • 김성대;전기범;배세환;진병문
    • 한국결정성장학회지
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    • 제18권3호
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    • pp.105-108
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    • 2008
  • PZ와 PT를 각각 3층씩 그 순서를 달리하고 열처리 과정을 달리하여 4가지 시료를 만들었다. PZ와 PT를 독립적으로 열처리 한 시료들에서는 PZ와 PT가 독립적으로 존재하는 경향이 강한 반면 PZ와 PT를 동시에 열처리 한 시료들은 PZT 복합상이 존재하는 확률이 더 높아졌다. 후자의 경우 PT를 먼저 증착한 쪽이 더 안정적인 PZT 상을 만든다는 결론을 지을 수 있었다.