강유전막의 잔류 분극 상태와 내부 전계가 Pt/Pb(Zr,Ti)O3/Pt 커패시터의 수소 열화 특성에 미치는 영향 (Effects of Remanent Polarization State and Internal Field in Ferroelctric Film on the Hydrogen-induced Degradation Characteristics in Pt/Pb(Zr, Ti)O3/Pt Capacitor)
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- 한국재료학회지
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- 제12권1호
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- pp.75-81
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- 2002