Effects of $O_2$ Gas Addition to Etching of Platinum Thin Film by Inductively Coupled Plasmas
(유도 결합 플라즈마를 이용한 백금 박막의 식각시 $O_2$ 가스 첨가 효과)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 1998.11c
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- pp.770-772
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- 1998