• 제목/요약/키워드: Oxidatio

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LOCOS 공정에서 새부리 크기 감소를 위한 연구 (A Study on the Reduction of Bird's Beak in the LOCOS Process)

  • 이찬용;박상민;윤석범;오환술
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제27권1호
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    • pp.91-95
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    • 1990
  • We study the process for the reduction of bird's beak at LOCOS processing with changing the representative coefficients, oxide thickness, silicon nitride thickness, oxidetion temperature and field oxide thickness that induced the condition of bird'beak. In order to eliminate the gate oxide defects induced by selective oxidation, we used additional sacrific oxidatio. Finally we obtained the length of bird's beak to be 5000\ulcornerby SEM.

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축적된 Ge층이 $Si_{1-x}Ge_{x}$/Si의 산화막 성장에 미치는 영향 (The effects of pile dup Ge-rich layer on the oxide growth of $Si_{1-x}Ge_{x}$/Si epitaxial layer)

  • 신창호;강대석;박재우;송성해
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
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    • 대한전자공학회 1998년도 하계종합학술대회논문집
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    • pp.449-452
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    • 1998
  • We have studied the oxidatio nrte of $Si_{1-x}Ge_{x}$ epitaxial layer grown by MBE(molecular beam epitaxy). Oxidation were performed at 700.deg. C, 800.deg. C, 900.deg. C, and 1000.deg. C. After the oxidation, the results of AES(auger electron spectroscopy) showed that Ge was completely rejected out of the oxide and pile up at $SiO_{2}/$Si_{1-x}Ge_{x}$ interface. It is shown that the presence of Ge at the $SiO_{2}$/$Si_{1-x}Ge_{x}$ interface changes the dry oxidation rate. The dry oxidation rate was equal to that of pure Si regardless of Ge mole fraction at 700.deg. C and 800.deg.C, while it was decreased at both 900.deg. C and 1000.deg.C as the Ge mole fraction was increased. The ry oxidation rates were reduced for heavy Ge concentration, and large oxidation time. In the parabolic growth region of $Si_{1-x}Ge_{x}$ oxidation, The parabolic rate constant are decreased due to the presence of Ge-rich layer. After the longer oxidation at the 1000.deg.C, AES showed that Ge peak distribution at the $SiO_{2}$/$Si_{1-x}Ge_{x}$ interface reduced by interdiffusion of silicon and germanium.

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Electrochemical Oxidation of Ethanol at Nickel Hydroxide Electrodes in Alkaline Media Studied by Electrochemical Impedance Spectroscopy

  • Kim, Jae-Woo;Park, Su-Moon
    • 전기화학회지
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    • 제8권3호
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    • pp.117-124
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    • 2005
  • Electrochemical oxidation of ethanol at nickel electrodes has been studied in 1 M KOH solution containing 0.20M ethanol using electrochemical impedance spectroscopy. Equivalent circuits have been worked out by simulating the impedance data, and the results were used to model the oxidation of ethanol as well as the passivation of the electrode. The maximum rate of oxidation of $Ni(OH)_2$ to NiOOH was observed at about 0.37V vs. Ag/AgCl reference electrode, while the maximum rate of ethanol oxidation at the Ni electrode was observed at about 0.42V, The charge-transfer resistance for oxidation of the electrode itself became smaller in the presence of ethanol than in its absence. These results suggest that the $\beta-Ni(OH)_2/\beta-NiOOH$ redox couple is acting as an effective electron transfer mediator far ethanol oxidation. The kinetic parameters also were obtained by the experimental and simulated results.

졸-겔 세라믹 코팅에 의한 스테인레스강의 내산화 및 내식성 향상에 관한 연구 (II);$CeO_2$ 안정화 지르코니아 박막의 내산화 및 내식성 효과 (A Study on the Improvement of Oxidation and Corrosion Resistance of Stainless Steel by Sol-Gel Ceramic Coating (II); Effect on Oxidation and Corrosion REsistance of $CeO_2$ Stabilized Zirconia Thin Film)

  • 이재호;우일기;김병호
    • 한국세라믹학회지
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    • 제32권1호
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    • pp.95-105
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    • 1995
  • Ceria(CeO2) stabilized zirconia(CeSZ) sol was synthesized with zirconium n-butoxide Zr(OC4H9)4 and cerium nitrate hexahydrate Ce(NO3)3.6H2O as precursors and ethylacetoacetate(EAcAc) as a chelating agent under atmosphere. CeSZ films were deposited on AISI 304 stainless steel using the prepared polymeric sol by dipcoating and the coating characteristics were investigated by XRD, ellipsometry, scratch test and SEM. The CeSZ film began to crystallize from amorphous to tetragonal phase at 40$0^{\circ}C$ and it was not converted into monoclinic phase up to 100$0^{\circ}C$ by the addition of 16mol% CeO2 as a stabilizer which could suppress phase transformation of zirconia. The CeSZ films were prepared by varying the EAcAc contents and the cncentration of CeSZ sol and measured the thickness and refractive index. From these results, it was found that the EAcAc contents and concentration of CeSZ coating sol evidently affect the densification of CeSZ film. The CeSZ film coated with 0.4M CeSZ sol and heat-treated at $600^{\circ}C$ for 10min had thickness of 50nm and 17% porosity. The CeSZ film on 304 stainless steel effectively acted as a protective layer against oxidation up to 80$0^{\circ}C$ and had superior corrosion resistance in 25% H2SO4 solution for 4.5 hrs.

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인삼의 종간잡종 Panax ginseng x P Quinquefoilium의 발생학적 연구 특히 결실불능의 원인에 관하여 (The embryological studies on the interspecific hybrid of ginseng plant (Panax ginseng x P. Quiuquefolium) with special references to the seed abortion)

  • 황종규
    • 한국작물학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.69-86
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    • 1969
  • 인삼식물의 종간교잡에 있어서 일대잡종식물은 양친에 대하여 약 1.6~3.0배의 강제를 나타내지만 심한 불임현상으로 거의 잡종 제삼세대를 얻을수 없었다는 점에서 그 원인을 밝히고저 고려인삼${\times}$인 미국인삼의 잡종에 대한 발생학적조사관찰을 하였던 바 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 잡종인삼의 영양생장은 양친과 같이 정상적이며 강세를 나타내나 생식생장에서는 심한 조해를 받는다. 2. 생식기관형성에 있어서도 감수분열기 이전까지는 제조직의 발생은 거의 정상적으로 진행된다. 3. 대포자모세포나 소포자모세포의 감수분 장과정은 심한 불규칙성을 나타내며 어떠한 것은 분열직전부터 퇴화되기 시작한다. 4. 소포자모세포의 핵분열에 있어서 제1분열 중기 또는 후기에 일가염색체 또는 염색체교 등이 출현하는 이상분열상을 관찰할 수 있었으나 감수분열이 끝난 것은 역시 사분자가 대부분이고 이분자나 사분자 이상의 소포자형성은 볼 수 없었다. 5. 소포자형성 또는 화분형성과정에 있어서 한 약내에서 여러 단계의 발육상을 볼 수 있었다. 6. 거대, 미소, 공허화분은 극히 적었다.(Fig. 23). 7. 대포자모세포기 이후 배주의 발육속도는 전반적으로 지연된다. 8. 감수분열을 마친 후 대포자는 오분자를 형성하는 것도 있다.(Fig. 5). 9. 대개는 합점측의 대포자가 활성화하는데 중간에 위치하는 것이 활성대포자인 것도 불 수 있다.(Fig. 6). 10. 배주의 퇴화는 대포자모세포기부터 팔핵배낭기까지 사이에 일어나는데 그 시작 시기는 개체마다 조만이 있으며 각양각색이다. 11.0 대포자의 배열은 양친에서는 선장, 중간형인데 F1에서는 선장, 중간형, T형, ㅗ형 등 여러 가지 형을 볼 수 있다.(Fig. 5, 7). 12. 배주에 있어서 감수분열이나 배낭핵분열 또는 배낭형성에 불규칙성에 심할수록 합점기부에 잔재하는 배심조직이 크다(Fig. 8, 10). 13. 배낭형성기까지 도달한 것이라 하더라도 배낭핵은 항시 불안정하여 정해진 장소에 배치되지 못한다.(Fig. 10, 11, 12). 14. 배유조직을 결한 배낭내에 선장의 4세포원배를 형성한 것을 볼 수 있었다.(Fig. 20) 15. 인삼의 잡종에 있어서의 불임원인을 다음과 같이 추정하였다. a) 잡종의 불임현상은 교잡에 의한 Gene-action system의 재조합으로 생체대사계에 혼란을 일으켜 배우자형성세포와 위요세포간의 우열관계가 전도되여 성적결함을 가져오는데 있다고 보았다. 즉 정상배낭에서는 배우자형성세포는 그것을 둘러싸고 있는 위요세포보다 크고 농염되며 활성적이어서 위요세포를 소화흡수하여 발육케 된다. 그러나 퇴화배낭에서는 재조합으로 인한 세포질의 변화는 극성 (Polarity) 또는 내생리듬 (Endogneousrhythm)의 변화 혹은 교란을 가져와 발육과정에서 성적결함을 일으켜 불임으로 된다고 추정하였다.

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