• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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• 제28권7호
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• pp.1159-1164
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• 2004

There is an Overhead Hoist Transport(OHT) for delivering the wafer in semiconductor processing. The transfer system is consists of carrier vehicle. rail, and support. OHTCMS(OHT Control and Management System) has to take the feature, such as the optimal control and integration with several OHT. In this paper, ESRA(Efficiency of Shortest - Route Algorithms) is proposed which can be transported optimal route and be prevented collision using the Floyd-Warshall algorithms. The proposed algorithm is verified through consecutive simulation for a long time.

• 정보처리학회논문지D
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• 제11D권2호
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• pp.461-470
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• 2004

반도체 업계에서는 200mm 반도체 웨이퍼 생산공정이 300mm 웨이퍼 생산공정으로 바뀜에 따라, 300mm 반도체 웨이퍼를 이동시키는 로봇을 모니터링하고 시뮬레이션하기 위한 소프트웨어 개발이 필요하다. 이런 소프트웨어는 독립적으로 동작하는 것이 아니라 MCS와 하위 시스템인 로봇과 통신하면서 실행되어야 하므로, 그 구성이 복잡하다. 그러므로, 이 시스템을 체계적으로 개발하기 위해서는 객체지향 개발 방법론인 UML을 적용할 필요성이 있다. 본 논문은 반도체 웨이퍼를 생산공정에서 이동시키는 로봇을 모니터링하고 시뮬레이션하기 위한 소프트웨어 개발에 UML 프로세스를 적용하였다. UML을 적용하여 UML을 기반으로 한 개발 프로세스 정의와 개발 단계별 업무들에 대한 구체적인 산출물들을 만들어 내었다.

• 정보처리학회논문지:컴퓨터 및 통신 시스템
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• 제10권7호
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• pp.205-214
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• 2021

반도체 물류 공정은 스마트 제조를 위해 물류 자동화 시스템을 운영한다. 물류 자동화 시스템 중 하나인 OCS(OHT Control System)는 천장에 설치된 레일을 따라 이동하는 OHT(Overhead Hoist Transport)를 자율적으로 제어하는 시스템이다. 본 논문은 반도체 물류 공정에서 효율적인 작업 계획을 위한 실시간 스케줄링 시스템을 제안한다. 제안 시스템의 주된 역할은 OHT 할당 및 최적경로 생성이며, 전체 OCS에서 별도의 독립된 시스템으로 개발하여 시스템의 수정 및 확장이 용이하도록 구성하였다. 시스템 개발을 위해 반도체 물류의 기능 요구사항을 식별하고, 명령 유형에 따른 OHT 제어 시나리오를 정의하였다. 그리고 시스템 간 연동 확장성을 위해 국제반도체장비재료협회(SEMI) 규격을 적용하여 시퀀스 다이어그램과 인터페이스 메시지를 설계하였다. 기능 요구사항과 설계 문서를 바탕으로 개발된 스케줄링 시스템은 Main 시스템 및 데이터베이스와 실시간 연동되어 OHT의 최적할당 및 경로제어를 수행한다. 개발 시스템의 기능 검증을 위해 실제 반도체 물류 현장에서 OCS Main 시스템과 통합시험을 수행하였다. 6가지의 기본 시나리오와 2가지의 예외 시나리오에서 개발 시스템이 OHT 최적할당과 경로제어를 성공적으로 수행함을 검증하였다.