• 제목/요약/키워드: Organic Solvent Pumping

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단위전류당 고유량 유기용매 이송을 위한 다공성 실리콘막 전기침투 펌프의 개발 (Development of Porous Silicon Electro-osmotic Pumps for High Flow Rate Per Current Flow Delivery of Organic Solvents)

  • 권길성;김대중
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제34권2호
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    • pp.105-111
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    • 2010

  • 양극산화법과 DRIE 법으로 제작된 다공성 실리콘막을 이용하여 두 종류의 전기침투 펌프를 제작하였다. 펌프의 성능은 유기용매를 이용하여 유량과 단위전류당 유량으로 측정하였다. 두 종류 펌프 모두 기존의 다공성 유리막으로 제작된 전기침투 펌프보다 성능이 우월했다. 특히 DRIE 법으로 제작된 다공성 실리콘막은 유량과 단위전류당 유량이 모두 월등한 성능을 보였다. DRIE 법은 널리 알려진 방법이기에 이와 같이 제작된 펌프는 다양한 응용 분야에 비교적 쉽게 적용될 것으로 기대된다.

  • https://doi.org/10.3795/KSME-B.2010.34.2.105 인용 PDF KSCI