Role of Crystallographic Tilt Angle of GaAs Substrate Surface on Elastic Characteristics and Crystal Quality of InGaP Epilayers (GaAs 기판표면의 Tilt각도가 InGaP 에피막의 탄성특성 및 결정질에 미치는 영향)
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- Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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- v.6 no.1
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- pp.1-10
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- 1999