Influence of Oxygen Flow Ratio on the Properties of In2O3 Thin Films Grown by RF Reactive Magnetron Sputtering (라디오파 반응성 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 In2O3 박막의 특성에 산소 유량비의 변화가 미치는 효과)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.19 no.3
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- pp.224-229
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- 2010