• 제목/요약/키워드: O-plasma treatment

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Polyimide 기판 위에 증착된 GZO 박막의 고밀도 $O_2$ 플라즈마 처리에 따른 전기적, 광학적 특성 변화 (The change of electric and optical properties by high density $O_2$ plasma treatment of deposited GZO Thin Film on Polyimide substrate)

  • 김병국;권순일;박승범;이석진;정태환;양계준;임동건;박재환;김명중
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.162-163
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    • 2008
  • 이 논문에서는 Polyimide 기판의 $O_2$ 플라즈마 처리효과에 따른 GZO 박막의 구조적, 전기적, 광학적인 특성을 고찰하였다. ICP-RIE 방법을 이용하여 Polyimide 기판의 $O_2$ 플라즈마 처리의 변수로 RF power와 처리시간을 각 100 ~ 400 W, 120 ~ 600 초까지 조절하였다. RF 스퍼터링 방법으로 $O_2$ 플라즈마 처리효과에 따른 Polyimide 기판을 4인치의 GZO(ZnO : 95 wt%, $Ga_2O_3$ 5 wt%) 타겟을 사용하여 RF power 90 W, 공정압력 5 mTorr, Ar gas 20 sccm, 기판거리 5 cm, 박막두께 500nm, 상온의 조건으로 GZO 박막을 증착 하였다. Polyimide 기판에 $O_2$ 플라즈마 처리를 하지 않고 증착한 GZO 박막의 비저황은 $1.02\times10^{-2}\Omega$-cm 이었고 RF power 100W, 처리시간 120 초로 $O_2$ 플라즈마 처리 후에 증착한 GZO 박막의 비저항이 $1.89\times10^{-3}\Omega$-cm인 최적의 값이 측정되었으며 RF power가 증가할수록 투과도는 감소하였지만 처리시간의 변화에 따라서는 투과도 변화가 거의 없었다.

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질소 상압플라즈마를 이용한 TiO2 박막의 표면개질 및 광활성 평가 (Surface Modification of TiO2 Thin Films by N2 Atmospheric Plasma and Evaluation of Photocatalytic Activity)

  • 임경택;김경환;박준;김경석;박유정;송선정;김종호;조동련
    • 공업화학
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    • 제20권4호
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    • pp.402-406
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    • 2009
  • 상압플라즈마 공정을 이용하여 $TiO_2$ 박막의 표면을 개질하고 광촉매 활성을 평가하였다. $TiO_2$ 박막은 $TiO_2$ 졸-겔 용액에서 유리판에 dip-coating법으로 코팅한 후 소성 온도와 소성 시간을 변화시켜 가면서 제조하였다. 표면 개질에 사용된 플라즈마는 질소 플라즈마였으며, 방전전력, 처리시간 등의 공정변수를 변화시키면서 실험을 수행하였다. 광촉매 활성은 UV-A와 형광등 하에서의 메틸렌 블루 분해효율을 바탕으로 평가하였다. XPS 분석 결과, 박막의 표면에 소량의 질소가 도핑되었음을 알 수 있었으며, 광촉매 효율은 UV-A와 형광등 하에서 모두 증가하였고, 특히 형광등 하에서 좀 더 증가하였다.

유전체 방벽 방전 콜드 플라즈마 기술을 이용한 양파 분말 미생물 안전성 향상 및 품질 보존 (Helium dielectric barrier discharge-cold plasma treatment for microbiological safety and preservation of onion powder)

  • 원미연;최하영;이광식;민세철
    • 한국식품과학회지
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    • 제48권5호
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    • pp.486-491
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    • 2016
  • DBD 방식의 콜드 플라즈마 처리는 양파 분말에 접종된 E. coli O157:H7, S. Enteritidis, L. monocytogenes를 효과적으로 저해시켰다. 콜드 플라즈마 처리에 의한 식중독균 억제 효과는 콜드 플라즈마 전압 증가에 따른 유의적인 차이를 보이지 않았지만, 콜드플라즈마 처리 시간에 따라 억제 효과가 유의적으로 증가함을 알 수 있었다. 또한, 양파 분말의 수분활성도가 높은 것과 입자 크기가 큰 것이 콜드 플라즈마를 이용하여 미생물을 억제 시키는데 유리하다는 것을 규명하였다. 본 연구에서 사용된 처리 조건에서의 DBD-CPT는 처리 시간과 관계없이 양파 분말의 비타민C 함량, 쿼세틴 함량, 그리고 색도에 영향을 주지 않았다. 따라서 DBD-CPT는 양파 분말의 이화학적 특성에 영향을 미치지 않으면서 CP 처리 시간, 양파 분말의 수분활성도와 크기 조절을 통해 식중독균을 효과적으로 억제 시킬 수 있음을 알 수 있었고 이로써 DBD-CPT가 양파 분말 식중독균 저감화에 사용 될 수 있는 비가열 살균 기술임을 확인 할 수 있었다.

Influence of high energy electron beam treatment on the photocatalytic activity of $TiO_2$ nanoaparticles on carbon fiber

  • 심채원;김명주;서현욱;김광대;닐로이 쿠마르 데;김동운;남종원;정명근;이병철;박지현;김영독
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.441-441
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    • 2011
  • $TiO_2$ nanoparticles were grown on carbon fiber by atomic later deposition (ALD) with TTIP $(Ti(OCH(CH_3)_2)_4$ and $H_2O$ precusors. After sampe surfaces were treated by electron beam (1 MeV, 5 KGy), an improvement in the photocatalytic reacitivity of $TiO_2$ nanoparticles on carbon fiber was observed. An increase in the population of hydroxyl group on $TiO_2$ particles and the oxidation of carbon fiber were found upon e-beam exposure, whereas there was no noticeable changes of their morphology. It implies that those changes in O and C 1s state of $TiO_2$ particles/carbon fiber induced by e-beam treatment could be related to the enhancement of the photocatalytic activity. In contrast, when carbon fiber fully covered with $TiO_2$ thick films was treated with high-energy electron beam under same conditions, the improvement of photocatalytic activity as well as any changes in XPS spectra (Ti 2p, O 1s and C 1s) could not be found.

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Preferential Killing of Human Lung Cancer Cell Lines with Mitochondrial Dysfunction by Non-Thermal Dbd Plasma

  • Panngom, Kamonporn;Baik, Ku Youn;Nam, Min-Kyung;Rhim, Hyang-Shuk;Choi, Eun Ha
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.199-199
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    • 2013
  • The distinctive cellular and mitochondrial dysfunctions of a human epithelial lung cancer cell line (H460) from a human lung fibroblastic normal cell line (MRC5) have been studied by dielectric barrier discharge (DBD) plasma treatment. The DBD plasma device have generated large amount of H2O2 and NOx in culture media which is dependent on plasma exposure time. It is found that the cell number of lung cancer cell H460 has been reduced more than the lung normal cell MRC5 as being increased exposure and incubation time. Also these both cell lines have showed mitochondria fragmentation under 5 minutes' plasma exposure, which is a clue of apoptosis. It is noted in this study that AnnexinV staining has showed not only early apoptosis, but also late apoptosis in lung cancer cell H460. Mitochondria enzyme activity and ATP generation have been also much reduced in lung cancer cell H460. Their mitochondrial membrane potential (${\Delta}{\psi}m$) has been found to be reduced in magnitude and shifted to the induced-potential level of cccp, while MRC5 mitochondrial membrane potential has been shifted slightly to that. These distinctively selective responses of lung cancer cell H460 from lung normal cell MRC5 gives us possibility of applying plasma to cancer therapy.

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플라즈마 산질화처리 조건이 강의 내식성에 미치는 영향 (The Characteristics of Corrosion Resistance during Plasma Oxinitrocarburising for Carbon Steel)

  • 이구현;남기석;이상로;조효석;신평우;박율민
    • 열처리공학회지
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    • 제14권2호
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    • pp.103-109
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    • 2001
  • Plasma nitrocarburising and post oxidation were performed on SM45C steel using a plasma nitriding unit. Nitrocarburising was carried out with various methane gas compositions with 4 torr gas pressure at $570^{\circ}C$ for 3 hours and post oxidation was carried out with 100% oxygen gas atmosphere with 4 torr at different temperatures for various times. It was found that the compound layer produced by plasma nitrocarburising consisted of predominantly ${\varepsilon}-Fe_{2-3}(N,C)$ and a small proportion of ${\gamma}-Fe_4(N,C)$. With increasing methane content in the gas mixture, ${\varepsilon}$ phase compound layer was favoured. In addition, when the methane content was further increased, cementite was observed in the compound layer. The very thin oxide layer on top of the compound layer was obtained by post oxidation. The formation of Oxide phase was initially started from the magnetite($Fe_3O_4$) and with increasing oxidation time, the oxide phase was increased. With increasing oxidation temperature, oxide phase was increased. However the oxide layer was split from the compound layer at high temperature. Corrosion resistance was slightly influenced by oxidation times and temperatures.

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Thermal Phenomenon of $BaMgAl_{10}O_{17}$:$Eu^{2+}$ Blue Phosphor by XANES and Rietveld Method

  • Kim, Kwang-Bok;Koo, Kyung-Wan;Chun, Hui-Gon
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2002년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.210-213
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    • 2002
  • The blue phosphor, $BaMgAl_{10}O_{17}$:$Eu^{2+}$, showing a blue emission band at about 450 nm were prepared by solid state reaction of BaC $O_3$, A $l_2$ $O_3$, MgO and E $u_2$ $O_3$ with Al $F_3$ as a flux. The thermal quenching of BaMgAl $O_{17}$:E $u^{2+}$ phosphor significantly reduces the intensity of the blue emission. It is reduced by an amount of 50% after heating at around 800$^{\circ}C$ for 1 hr. The red emission in the 580∼720 nm region of $^{5}$ $D_{0}$\longrightarro $w^{7}$ $F_1$ and $^{5}$ $D_{0}$\longrightarro $w^{7}$ $F_2$ transition of $Eu^{3+}$ is produced from the phosphor heated above 1,100$^{\circ}C$. The EPR spectrum also reveals that some part of E $u^{2+}$ ions are oxidized to trivalent ions above 1,100$^{\circ}C$ at around 90 and 140mT. This oxidation evidence is also detected from XANES absorption spectra for $L_{III}$ shell of Eu ions: an absorption peak is at 6,977eV of E $u^{2+}$ and 6,984eV of $Eu^{3+}$. The combined X-ray and neutron data suggests that the new phase of EuMgA $l_{11}$ $O_{19}$ magnetoplumbite structure may be formed by heat treatment.eat treatment.tment.eat treatment.tment.t.

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그래핀-금속 접촉 저항을 줄이기 위한 SiO2 기판 플라즈마 처리의 최적화 연구 (Study on Finding Optimum Condition of Plasma Treatment on SiO2 Substrates to Reduce Contact Resistance at Graphene-Metal Interface)

  • 강사랑;라창호;이대영;유원종
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.96-96
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    • 2013
  • 그래핀과 금속 결합에서 발생하는 접촉 저항을 줄이기 위한 목적으로, 소자 제작에 사용되는 $SiO_2$ 기판의 표면을 플라즈마를 사용하여 에칭하는 최적의 조건에 대해 연구하였다. 기존에 발표된 연구 결과에 따라 $SF_6$$O_2$를 섞어 플라즈마 처리를 하였고, 플라즈마 방전에 사용 된 두 가스의 혼합 비율을 조절함으로써 소자 제작에 적합한 조건을 찾고자 하였다. 플라즈마 처리 전후의 $SiO_2$ 기판의 표면 측정은 AFM (Atomic Force Microscope)을 사용하였고, 단면은 SEM(Scanning Electron Microscope)을 통해 확인하였다.

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Antihyperglycemic and lipid lowering effect of Tectona grandis in alloxan induced diabetic rats

  • Ghaisas, M.M.;Navghare, V.V.;Takawale, A.R.;Zope, V.S.;Tanwar, M.B.;Phanse, M.A.
    • Advances in Traditional Medicine
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    • 제10권2호
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    • pp.59-65
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    • 2010
  • In India, Tectona grandis is traditionally used in the treatment of diabetes mellitus and lipid disorder. In the present study, the antihyperglycemic and lipid lowering effect of ethanolic extract of bark of Tectona grandis (TG) was evaluated using alloxan induced diabetes in rats. Alloxan was given at the dose of 140 mg/kg, i.p. After induction of diabetes, TG was administered for 42 days p. o. and simultaneously different biochemical parameters like plasma glucose, liver glycogen content, serum triglyceride, cholesterol, LDL-cholesterol and HDL-cholesterol were estimated. Diabetic control showed significant increase (P < 0.01) in plasma glucose, serum triglyceride, cholesterol, LDL-cholesterol and significant decrease (P < 0.01) in serum HDL-cholesterol and liver glycogen content. Treatment with TG showed significant reduction (P < 0.01) in plasma glucose when compared with diabetic control. The elevated levels of serum triglyceride and cholesterol levels were significantly reduced (P < 0.01) by TG. TG treatment for 42 days showed significant decrease in serum LDL-cholesterol (P < 0.01) and significant increase in serum HDL-cholesterol level (P < 0.01). Moreover, diabetic control there was significant decrease in liver glycogen content which was significantly increased (P < 0.05) by treatment with TG. Hence, from the result obtained in the present study it can be concluded that Tectona grandis has the potential to treat diabetes condition and associated lipid disorder.

Gd3+/Li+ 부활성제가 첨가된 구형의 Zn2SiO4:Mn 형광체 입자 (Spherical-shaped Zn2SiO4:Mn Phosphor Particles with Gd3+/Li+ Codopant)

  • 노현숙;이창희;윤호신;강윤찬;박희동;박승빈
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제40권6호
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    • pp.752-756
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    • 2002
  • PDP(Plasma Display Panel)용 녹색 형광체인 $Zn_2SiO_4:Mn$ 형광체의 제조에 있어 콜로이드 분무 열분해법을 도입하고, $Zn_2SiO_4$ wellimite 결정의 $Si^{4+}$ 자리를 치환하는 $Gd^{3+}/Li^+$ 부활성제를 첨가하여 형광체의 발광특성을 향상시키고자 하였다. 14 nm 크기의 fumed silica 입자를 규소 전구체로 도입한 콜로이드 분무열분해법에 의해서 제조되어진 $Zn_2SiO_4:Mn$ 입자는 응집이 없는 구형의 형상, 작은 입자 크기 및 좁은 입도 분포를 가졌다. $Gd^{3+}/Li^+$ 함량은 $Zn_2SiO_4:Mn$ 형광체 입자의 발광특성에 영향을 끼쳤으며, 적정한 함량의 $Gd^{3+}/Li^+$ 부활성제를 첨가함으로써 진공 자외선하에서 형광체의 발광휘도를 향상시키고, 잔광시간을 크게 줄일 수 있었다. 분무 열분해법에 의한 $Gd^{3+}/Li^+$이 코도핑된 $Zn_2SiO_4:Mn$ 형광체 입자의 제조에 있어서 후열처리 온도는 형광체의 발광특성을 결정짓는 주요한 인자이다. 0.1 mol%의 $Gd^{3+}/Li^+$ 부활제를 포함하고 $1,145^{\circ}C$ 온도에서 소결된 $Zn_2SiO_4:Mn$ 형광체 입자는 상업용 형광체에 비해 5% 높은 발광 휘도과 5.7 ms의 잔광시간을 가졌다.